真空系统及其作业控制方法、装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种真空系统及其作业控制方法、装置，属于真空系统技术领域。采用本发明专利技术的技术方案，设置真空检测组件，分别检测前级泵与分子泵之间的真空度，和，前级泵与工件预留口之间的真空度，使得前级泵开启后，当真空检测组件检测到任一真空度至少小于第一真空阈值时，向控制器发送触发信号，从而使得控制器控制管路控制器和分子泵在第二位置的管路关闭，第一位置和第三位置的管路开启时，控制分子泵启动，使得真空系统对工件预留口接入的工件进行抽真空作业，真空系统利用真空检测组件和控制器的相互配合，实现了在满足分子泵开启条件时，自动控制分子泵开启的功能，无需人为监控管路真空度以及控制分子泵开启，节约了时间，提升了工作效率。提升了工作效率。提升了工作效率。

【技术实现步骤摘要】
真空系统及其作业控制方法、装置


[0001]本专利技术涉及真空系统
，具体涉及一种真空系统及其作业控制方法、装置。

技术介绍

[0002]真空系统通常包括以下设备：前级泵、分子泵、分子泵控制器和真空计。其中，前级泵用于保护分子泵；分子泵控制器用于控制分子泵的启动和关闭；真空计用于测量真空度或气压数值。真空系统在应用时，首先通过按压前级泵的启动按钮，启动前级泵，再通过按压真空计，启动真空计，持续监测到分子泵真空度达到真空度阈值时，按压分子泵控制器从而启动分子泵；而在换工件时，需要先触发分子泵停机，直到分子泵安全停机后，再对真空系统放气，放气完成后，才能完成换件工作。
[0003]在真空系统的应用过程中，需要多次人为控制，实现对前级泵、真空计以及分子泵的开启及关闭，操作繁琐、耗费时间，影响工作效率。

技术实现思路

[0004]有鉴于此，本专利技术的目的在于提供一种真空系统及其作业控制方法、装置，以至少解决现有技术中真空系统应用过程中需要多次人为控制，操作繁琐、耗费时间，影响工作效率的问题。
[0005]为实现以本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空系统，其特征在于，包括：前级泵、分子泵、工件预留口、控制器、真空检测组件和管路控制组件；其中，所述真空检测组件，用于检测第一位置和第二位置的真空度，在当所述第一位置和/或第二位置的真空度至少小于第一真空阈值时，向所述控制器发送第一触发信号；所述第一位置位于所述前级泵与所述分子泵之间，所述第二位置位于所述前级泵与所述工件预留口之间，第三位置位于所述分子泵与所述工件预留口之间；所述管路控制组件，用于根据所述控制器的控制指令，控制所述第一位置、第二位置和第三位置的管路开闭状态；所述控制器，用于在接收到所述第一触发信号时，向所述管路控制组件和所述分子泵发送第一控制信号，以使在当所述第二位置的管路关闭，所述第一位置和所述第三位置的管路开启时，控制所述分子泵启动。2.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述控制器还用于在接收到换件指令时，向所述管路控制组件发送第二控制信号，以使所述第三位置的管路关闭。3.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述真空检测组件，还用于检测第三位置的真空度，在当所述第三位置的真空度小于第二真空阈值时，向所述控制器发送第二触发信号；所述控制器，还用于在接收到所述第二触发信号时，向所述管路控制组件发送第三控制信号，以使所述第三位置的管路关闭。4.根据权利要求2
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3任一所述的系统，其特征在于，所述控制器还用于在接收到预抽指令时，向所述管路控制组件发送第四控制信号，以使所述第二位置的管路打开，以实现对更换后的工件进行预抽；所述真空检测组件，还用于在当所述第一位置和/或第二位置的真空度至少小于所述第一真空阈值时，向所述控制器发送第三触发信号；所述控制器，还用于在接收到所述第三触发信号时，向所述管路控制组件发送第五控制信号，以使当所述第二位置的管路关闭。5.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述真空检测组件，还用于间隔预设换件时长，向所述控制器发送第四触发信号；所述控制器，还用于在收到所述第四触发信号时，向所述管路控制组件发送第六控制信号，以使所述第二位置的管路打开、第三位置的管路关闭；所述真空检测组件，还用于在所述第二位置的真空度小于第二真空阈值时，向所述控制器发送第五触发信号；所述控制器还用于在收到所述第五触发信号时，向所述管路控制组件发送第七控制信号，以使第二位置的管路关闭、第三位置的管路打开。6.根据权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：张利静，胡艳娟，王欣，
申请(专利权)人：苏州中科科美科技有限公司，
类型：发明
国别省市：