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本发明涉及一种真空系统及其作业控制方法、装置，属于真空系统技术领域。采用本发明的技术方案，设置真空检测组件，分别检测前级泵与分子泵之间的真空度，和，前级泵与工件预留口之间的真空度，使得前级泵开启后，当真空检测组件检测到任一真空度至少小于第一...
该专利属于苏州中科科美科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州中科科美科技有限公司授权不得商用。

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