一种气体净化设备制造技术

本发明专利技术涉及气体处理设备技术领域，具体为一种气体净化设备。包括洗涤室，洗涤室中部位置通过隔离板分割为位于左侧位置的第一洗涤室和位于右侧位置的第二洗涤室，隔离板上安装有用于连通第二洗涤室和第一洗涤室的溢流管，第一洗涤室内腔和第二洗涤室内腔位置均分别安装有第一隔板和第二隔板，第一隔板和第二隔板底部固定安装在洗涤室内腔，顶部与洗涤室内壁之间均存在间隙，第一洗涤室左侧上部位置安装有进气管，进气管上还安装有第一混合机，第一隔板与隔离板之间底部位置安装有第一循环管，提升了废气处理能力，无需填充PallRing，即可保证处理能力。可保证处理能力。可保证处理能力。

【技术实现步骤摘要】
一种气体净化设备


[0001]本专利技术涉及气体处理设备
，具体为一种气体净化设备。

技术介绍

[0002]生产制造半导体器件需要各种生产设备和制造工程的,因制造半导体器件工程中,根据WetEtch工程的特点,常用工程气体是腐蚀性,有毒性(CHF3,Cl2,BCl3)，如果将半导体生产过程中产生的有害气体不经任何处理直接排放到大气中，将对大气和人类生态环境造成严重污染。所以，所有的半导体生产线上都专门设计了处理废气的工程，使生产过程中产生的有害气体通过净化处理达到允许的浓度后再排放到大气中。
[0003]现有的气体净化设备处理能力有限，无法满足工厂废气处理能力，同时结构复杂，加工工艺复杂，加工难度大，生产过程中产品返修、报废率高，整机成本高昂。

技术实现思路

[0004](一)解决的技术问题
[0005]为了解决现有技术的上述问题，本专利技术提供一种气体净化设备，提升了废气处理能力，无需填充PallRing，即可保证处理能力。
[0006](二)技术方案
[0007]为了达到上述目的，本专利技术采用的主要技术方案：包括洗涤室，所述洗涤室中部位置通过隔离板分割为位于左侧位置的第一洗涤室和位于右侧位置的第二洗涤室，所述隔离板上安装有用于连通第二洗涤室和第一洗涤室的溢流管，所述第一洗涤室内腔和第二洗涤室内腔位置均分别安装有第一隔板和第二隔板，所述第一隔板和第二隔板底部固定安装在洗涤室内腔，顶部与洗涤室内壁之间均存在间隙，所述第一洗涤室左侧上部位置安装有进气管，所述进气管上还安装有第一混合机，所述第一隔板与隔离板之间底部位置安装有第一循环管，所述第一循环管另外一端与第一混合机的进料口连通，所述第一循环管上还安装有第一循环泵和排水管，所述隔离板与第二隔板之间底部位置安装有第二循环管，所述第二循环管另外一端与第二洗涤室右侧上部连通，所述第二循环管上安装有进水管，所述第二循环管上还安装有第二混合机和第二循环泵，所述第一洗涤室顶部位于第一隔板与隔离板之间通过导管与第二混合机进料口连通，所述第二洗涤室位于隔离板和第二隔板之间上部位置安装有排气管。
[0008]优选的，所述溢流管右侧一端高于左侧一端。
[0009]优选的，所述进气管、溢流管较低的一端均位于液面以下，所述第二循环管位于第二洗涤室内腔右侧上部一端位于液面以下。
[0010]优选的，所述洗涤室内腔且位于第一隔板左侧位置设置有过滤网，所述过滤网外圈位置设置有浮圈，所述进气管底部一端贯穿过滤网，延伸至过滤网底部，所述第一隔板左侧顶部位置固定设置有限位板。
[0011](三)有益效果
[0012]本专利技术提供了一种气体净化设备。具备以下有益效果：
[0013](1)、采用混合设备能够充分的把废气和洗涤液进行混合洗涤，提升了净化效果，废气中雾和粉末的数量大大减少。
[0014](2)、能够分段进行洗涤，节约洗涤用水。
[0015](3)、进气管设置在过滤网下部，过滤网通过浮圈漂浮在洗涤室内腔且位于第一隔板左侧，并通过限位板限位，水流进入到洗涤室内腔且位于第一隔板左侧位置时，能够对气体中附着的粉尘进行过滤，过滤的杂质始终位于洗涤室内腔且位于第一隔板左侧位置，方便对杂质进行清理。
附图说明
[0016]图1为本专利技术结构图。
[0017]图中：2、隔离板；3、第一洗涤室；4、第二洗涤室；5、溢流管；6、第一隔板；7、第二隔板；8、进气管；9、第一混合机；10、第一循环管；11、第一循环泵；12、排水管；13、第二循环管；14、进水管；15、第二混合机；16、第二循环泵；17、排气管；18、过滤网；19、浮圈；20、限位板。
具体实施方式
[0018]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0019]如图1所示，本实施例的气体净化设备，包括洗涤室，洗涤室中部位置通过隔离板2分割为位于左侧位置的第一洗涤室3和位于右侧位置的第二洗涤室4，隔离板2上安装有用于连通第二洗涤室4和第一洗涤室3的溢流管5，第一洗涤室3内腔和第二洗涤室4内腔位置均分别安装有第一隔板6和第二隔板7，第一隔板6和第二隔板7底部固定安装在洗涤室内腔，顶部与洗涤室内壁之间均存在间隙，第一洗涤室3左侧上部位置安装有进气管8，进气管8上还安装有第一混合机9，第一隔板6与隔离板2之间底部位置安装有第一循环管10，第一循环管10另外一端与第一混合机9的进料口连通，第一循环管10上还安装有第一循环泵11和排水管12，隔离板2与第二隔板7之间底部位置安装有第二循环管13，第二循环管13另外一端与第二洗涤室4右侧上部连通，第二循环管13上安装有进水管14，第二循环管13上还安装有第二混合机15和第二循环泵16，第一洗涤室3顶部位于第一隔板6与隔离板2之间通过导管与第二混合机15进料口连通，第二洗涤室4位于隔离板2和第二隔板7之间上部位置安装有排气管17。经过进气管进入的废气首先会在第一混合机9内于经过第一循环泵11和第一循环管10抽出的洗涤液进行混合洗涤，然后注入到第一洗涤室3，净化后的空气经过导管进入到第二混合机15与第二循环泵16经过第二循环管13抽取的洗涤液进行二次混合注入，二次混合注入后的空气经过第二隔板7右侧的洗涤液进行清洗，最终经过排气管17排出，第二隔板7左侧的洗涤液经过溢水管5补充到第一洗涤室4内，第一洗涤室4内经过两次洗涤的洗涤液经过排水管12排出。
[0020]进一步的，溢流管5右侧一端高于左侧一端。
[0021]进一步的，进气管8、溢流管5较低的一端均位于液面以下，第二循环管13位于第二
洗涤室4内腔右侧上部一端位于液面以下。
[0022]进一步的，所述洗涤室内腔且位于第一隔板6左侧位置设置有过滤网18，所述过滤网18外圈位置设置有浮圈19，所述进气管8底部一端贯穿过滤网18，延伸至过滤网18底部，所述第一隔板6左侧顶部位置固定设置有限位板20。
[0023]工作原理：经过进气管进入的废气首先会在第一混合机9内于经过第一循环泵11和第一循环管10抽出的洗涤液进行混合洗涤，然后注入到第一洗涤室3，净化后的空气经过导管进入到第二混合机15与第二循环泵16经过第二循环管13抽取的洗涤液进行二次混合注入，二次混合注入后的空气经过第二隔板7右侧的洗涤液进行清洗，最终经过排气管17排出，第二隔板7左侧的洗涤液经过溢水管5补充到第一洗涤室4内，第一洗涤室4内经过两次洗涤的洗涤液经过排水管12排出。进气管8设置在过滤网18下部，过滤网18通过浮圈19漂浮在洗涤室内腔且位于第一隔板6左侧，并通过限位板20限位，水流进入到洗涤室内腔且位于第一隔板6左侧位置时，能够对气体中附着的粉尘进行过滤，过滤的杂质始终位于洗涤室内腔且位于第一隔板6左侧位置，方便对杂质进行清理(本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种气体净化设备，包括洗涤室，其特征在于：所述洗涤室中部位置通过隔离板(2)分割为位于左侧位置的第一洗涤室(3)和位于右侧位置的第二洗涤室(4)，所述隔离板(2)上安装有用于连通第二洗涤室(4)和第一洗涤室(3)的溢流管(5)，所述第一洗涤室(3)内腔和第二洗涤室(4)内腔位置均分别安装有第一隔板(6)和第二隔板(7)，所述第一隔板(6)和第二隔板(7)底部固定安装在洗涤室内腔，顶部与洗涤室内壁之间均存在间隙，所述第一洗涤室(3)左侧上部位置安装有进气管(8)，所述进气管(8)上还安装有第一混合机(9)，所述第一隔板(6)与隔离板(2)之间底部位置安装有第一循环管(10)，所述第一循环管(10)另外一端与第一混合机(9)的进料口连通，所述第一循环管(10)上还安装有第一循环泵(11)和排水管(12)，所述隔离板(2)与第二隔板(7)之间底部位置安装有第二循环管(13)，所述第二循环管(13)另外一端与第二洗涤室(4)右侧上部连通，所述第二循环管(1...

【专利技术属性】
技术研发人员：张丹，王虎成，陈俊，汪敏，沈蓉，
申请(专利权)人：合肥亚笙半导体设备科技有限公司，
类型：发明
国别省市：