一种防止真空管道倒流的真空管路系统技术方案

本实用新型专利技术涉及真空管路技术领域，具体为一种防止真空管道倒流的真空管路系统。包括制程反应腔、第一管路、主泵、第二管路和废气处理设备，第一管路靠近制程反应腔位置安装有真空阀组，真空阀组通过导线与主泵电性连接，真空阀组还通过导线连接有报警器。在原有真空系统中加装实时响应的真空阀组，此时若主泵因为各种问题停机时，停机信号会及时反馈给真空阀组，真空阀组第一时间关闭，阻断制程腔与下游段的真空管路系统，其次信号会反馈到报警器，告知现场人员情况并及时处理，从而延长真空系统的运行寿命。统的运行寿命。统的运行寿命。

【技术实现步骤摘要】
一种防止真空管道倒流的真空管路系统


[0001]本技术涉及真空管路
，具体为一种防止真空管道倒流的真空管路系统。

技术介绍

[0002]原真空系统制程反应腔内的废气会被下游的泵抽吸然后排放到废气处理设备进行处理，这个过程中，泵有时会因为各种问题出现停机的状况，此时制程反应腔处于真空状态，若泵停止运转，整个真空管路系统内部的气流会裹挟着废气以及粉尘倒灌进制程腔，污染腔室，重新清洁耽误时间额外长。

技术实现思路

[0003](一)解决的技术问题
[0004]为了解决现有技术的上述问题，本技术提供一种防止真空管道倒流的真空管路系统，在原有真空系统中加装实时响应的真空阀组，此时若主泵因为各种问题停机时，停机信号会及时反馈给真空阀组，真空阀组第一时间关闭，阻断制程腔与下游段的真空管路系统，其次信号会反馈到报警器，告知现场人员情况并及时处理，从而延长真空系统的运行寿命。
[0005](二)技术方案
[0006]为了达到上述目的，本技术采用的主要技术方案：包括制程反应腔、第一管路、主泵、第二管路和废气处理设备，所述第一管路靠近制程反应腔位置安装有真空阀组，所述真空阀组通过导线与主泵电性连接，所述真空阀组还通过导线连接有报警器。
[0007]优选的，还包括副泵，所述副泵通过导管安装在真空阀组下游。
[0008]优选的，所述真空阀组还通过导线与副泵连接。
[0009]优选的，还包括与真空阀组电性连接的控制器。
[0010](三)有益效果
[0011]本技术提供了一种防止真空管道倒流的真空管路系统。具备以下有益效果：
[0012](1)、若主泵因为各种问题停机时，停机信号会及时反馈给真空阀组，真空阀组第一时间关闭，阻断制程腔与下游段的真空管路系统，其次信号会反馈到报警器，告知现场人员情况并及时处理，从而延长真空系统的运行寿命。
[0013](2)、在真空阀组切断的情况下，启动股泵，实现第一管路与第二管路的畅通，能够把第一管路与第二管路内部残留的废气及时吹入到废气处理设备内，避免粉尘在第一管路和第二管路内壁凝结，导致第一管路或第二管路堵塞。
附图说明
[0014]图1为本技术真空管路系统图。
[0015]图中：1、制程反应腔；2、第一管路；3、主泵；4、第二管路；5、废气处理设备；6、真空
阀组；7、报警器；8、副泵；9、控制器。
具体实施方式
[0016]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0017]如图1所示，本实施例的防止真空管道倒流的真空管路系统，包括制程反应腔1、第一管路2、主泵3、第二管路4和废气处理设备5，第一管路2靠近制程反应腔1位置安装有真空阀组6，真空阀组6通过导线与主泵3电性连接，真空阀组6还通过导线连接有报警器7。若主泵3因为各种问题停机时，停机信号会及时反馈给真空阀组6，真空阀组6第一时间关闭，阻断制程腔与下游段的真空管路系统，其次信号会反馈到报警器7，告知现场人员情况并及时处理，从而延长真空系统的运行寿命。
[0018]进一步的，还包括副泵8，副泵8通过导管安装在真空阀组6下游。在真空阀组6切断的情况下，启动副泵8，实现第一管路2与第二管路4的畅通，能够把第一管路2与第二管路4内部残留的废气及时吹入到废气处理设备5内，避免粉尘在第一管路2和第二管4路内壁凝结，导致第一管路2或第二管路4堵塞。
[0019]进一步的，真空阀组6还通过导线与副泵8连接。
[0020]进一步的，还包括与真空阀组6电性连接的控制器9。
[0021]工作原理：若主泵3因为各种问题停机时，停机信号会及时反馈给真空阀组6，真空阀组6第一时间关闭，阻断制程腔与下游段的真空管路系统，其次信号会反馈到报警器7，告知现场人员情况并及时处理，从而延长真空系统的运行寿命。在真空阀组6切断的情况下，启动副泵8，实现第一管路2与第二管路4的畅通，能够把第一管路2与第二管路4内部残留的废气及时吹入到废气处理设备5内，避免粉尘在第一管路2和第二管4路内壁凝结，导致第一管路2或第二管路4堵塞。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种防止真空管道倒流的真空管路系统，包括制程反应腔(1)、第一管路(2)、主泵(3)、第二管路(4)和废气处理设备(5)，其特征在于：所述第一管路(2)靠近制程反应腔(1)位置安装有真空阀组(6)，所述真空阀组(6)通过导线与主泵(3)电性连接，所述真空阀组(6)还通过导线连接有报警器(7)。2.根据权利要求1所述的一种防止真空管道倒流...

【专利技术属性】
技术研发人员：项健，方刚，赵德静，李品鑫，张丹，
申请(专利权)人：合肥亚笙半导体设备科技有限公司，
类型：新型
国别省市：