【技术实现步骤摘要】
一种防止真空管道倒流的真空管路系统
[0001]本技术涉及真空管路
，具体为一种防止真空管道倒流的真空管路系统。
技术介绍
[0002]原真空系统制程反应腔内的废气会被下游的泵抽吸然后排放到废气处理设备进行处理，这个过程中，泵有时会因为各种问题出现停机的状况，此时制程反应腔处于真空状态，若泵停止运转，整个真空管路系统内部的气流会裹挟着废气以及粉尘倒灌进制程腔，污染腔室，重新清洁耽误时间额外长。
技术实现思路
[0003](一)解决的技术问题
[0004]为了解决现有技术的上述问题，本技术提供一种防止真空管道倒流的真空管路系统，在原有真空系统中加装实时响应的真空阀组，此时若主泵因为各种问题停机时，停机信号会及时反馈给真空阀组，真空阀组第一时间关闭，阻断制程腔与下游段的真空管路系统，其次信号会反馈到报警器，告知现场人员情况并及时处理，从而延长真空系统的运行寿命。
[0005](二)技术方案
[0006]为了达到上述目的，本技术采用的主要技术方案：包括制程反应腔、第一管路、主泵、第二管路和...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种防止真空管道倒流的真空管路系统，包括制程反应腔(1)、第一管路(2)、主泵(3)、第二管路(4)和废气处理设备(5)，其特征在于：所述第一管路(2)靠近制程反应腔(1)位置安装有真空阀组(6)，所述真空阀组(6)通过导线与主泵(3)电性连接，所述真空阀组(6)还通过导线连接有报警器(7)。2.根据权利要求1所述的一种防止真空管道倒流...
【专利技术属性】
技术研发人员：项健，方刚，赵德静，李品鑫，张丹，
申请(专利权)人：合肥亚笙半导体设备科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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