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本实用新型涉及真空管路技术领域，具体为一种防止真空管道倒流的真空管路系统。包括制程反应腔、第一管路、主泵、第二管路和废气处理设备，第一管路靠近制程反应腔位置安装有真空阀组，真空阀组通过导线与主泵电性连接，真空阀组还通过导线连接有报警器。在原...
该专利属于合肥亚笙半导体设备科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过合肥亚笙半导体设备科技有限公司授权不得商用。

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