刻蚀设备电极表面检测装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了刻蚀设备电极表面检测装置，包括：主体；封盖，所述封盖设置于主体的底端；卡块结构，所述卡块结构均位于封盖两侧的顶端；第一空腔，所述第一空腔开设于主体内部的底端；固定板，所述固定板安装于第一空腔内部的底端；调节结构，所述调节结构位于固定板的内部；警示灯，所述警示灯均安装于第一空腔内部后端的顶端；弹性接线，所述弹性接线均安装于警示灯的底端；固定接线，所述固定接线均安装于警示灯的顶端。本实用新型专利技术通过提供有旋钮，转动旋钮，通过旋钮带动双向螺杆转动，螺纹滑块即可在第二空腔的内部做横向的位移，且位移的方向相反，通过螺纹滑块调节检测触头之间的距离即可，该结构实现了对检测区域大小得到调节。到调节。到调节。

【技术实现步骤摘要】
刻蚀设备电极表面检测装置


[0001]本技术涉及检测装置
，具体为刻蚀设备电极表面检测装置。

技术介绍

[0002]刻蚀设备在投入使用之前，需要使用检测装置对其电极表面进行检测，防止出现电极短路的情况发生。
[0003]传统的检测装置在使用时，将检测用触头插入电极中进行检测，检测完毕后将触头裸露在外。
[0004]触头裸露在外以使其沾染灰尘，当进行下一次的检测时易发生灰尘的误触反应，使检测的效果不佳。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供刻蚀设备电极表面检测装置，以解决上述
技术介绍
中提出的触头易沾染灰尘的问题。
[0006]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：主体；
[0007]封盖，所述封盖设置于主体的底端；
[0008]卡块结构，所述卡块结构均位于封盖两侧的顶端；
[0009]第一空腔，所述第一空腔开设于主体内部的底端；
[0010]固定板，所述固定板安装于第一空腔内部的底端；
[0011]调节结构，所述调节结构位于固定板的内部；
[00本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.刻蚀设备电极表面检测装置，其特征在于，包括：主体；封盖，所述封盖设置于主体的底端；卡块结构，所述卡块结构均位于封盖两侧的顶端；第一空腔，所述第一空腔开设于主体内部的底端；固定板，所述固定板安装于第一空腔内部的底端；调节结构，所述调节结构位于固定板的内部；警示灯，所述警示灯均安装于第一空腔内部后端的顶端；弹性接线，所述弹性接线均安装于警示灯的底端；固定接线，所述固定接线均安装于警示灯的顶端；捏柄，所述捏柄均安装于主体的两侧；电池槽，所述电池槽开设于主体顶端的内部；所述调节结构包括检测触头、双向螺杆、螺纹滑块、第二空腔和旋钮，所述第二空腔开设于固定板的内部，且第二空腔内部的一侧通过转轴安装有双向螺杆，所述双向螺杆的外壁通过螺纹连接有两个螺纹滑块，且双向螺杆的一端安装有旋钮，所述螺纹滑块的底端均安装有检测触头。2.根据权利要求1所述的刻蚀设备电极表面检测装置，其特征在于：所述螺纹滑块的一端延伸至主体一侧的底端，且检测触头的底端均延伸至主体的下方。3.根据权利要求1所述的刻蚀设备电极表面检测装置，其特征在于：所述弹性接线的底端均延伸至第二空腔的内部，且弹性接线均安装于螺纹滑块的顶端。4.根据权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：盛宏，
申请(专利权)人：苏州利尔威半导体技术有限公司，
类型：新型
国别省市：