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本实用新型公开了刻蚀设备电极表面检测装置，包括：主体；封盖，所述封盖设置于主体的底端；卡块结构，所述卡块结构均位于封盖两侧的顶端；第一空腔，所述第一空腔开设于主体内部的底端；固定板，所述固定板安装于第一空腔内部的底端；调节结构，所述调节结构...
该专利属于苏州利尔威半导体技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州利尔威半导体技术有限公司授权不得商用。

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