改善多晶金刚石质量的可升降网状沉积预处理装置及方法制造方法及图纸

一种改善多晶金刚石质量的可升降网状沉积预处理装置及方法；该装置包括底座、转动平台、定位柱、衬底罩和筛网，转动平台安装在底座上，转动平台上分布有定位柱，定位柱上设置有挤压机构，转动平台上设置有衬底罩，衬底罩内设置有移动筛网。预处理方法是：将甩胶后的衬底涂胶面向上置于转动平台上并用衬底罩罩住，通过挤压机构压紧衬底罩，将金刚石微粉由筛网落在衬底表面，转动平台转动；或者是将装置置于盛有金刚石微粉的容器中，按压筛网至衬底上，对容器超声振荡处理。本发明专利技术可有效降低沉积多晶由中心到衬底边缘的成核速率差与沉积速率差，使整个衬底在沉积多晶金刚石的过程中沉积层中心到边缘的厚度保持一致，保证了沉积的多晶金刚石层由中心到边缘晶体质量统一，分布均匀。布均匀。布均匀。

【技术实现步骤摘要】
改善多晶金刚石质量的可升降网状沉积预处理装置及方法


[0001]本专利技术涉及一种应用于改善MPCVD多晶金刚石质量的预处理装置，配合使用微米级金刚石微粉对沉积衬底进行预处理，辅以沉积过程中变压力调节的生长工艺，以用于制备工业级高质量大尺寸多晶金刚石，属于多晶金刚石外延沉积


技术介绍

[0002]金刚石有两种存在形态：单晶金刚石和多晶金刚石。单晶金刚石属等轴晶系同极键四面体型构造，空间结构为稳定的正四面体交替链接而成，金刚石具有超高的硬度、高热导率、高热稳定性和超宽的禁带宽度且广域透光等优异的理化性能，被称为“终极半导体材料”与单晶金刚石相比，多晶金刚石具有特殊的性能和较大的尺寸，在工业上有着极高的应用价值，作为精密磨料，用于蓝宝石、磁头、硬盘、硬质玻璃和晶体、陶瓷以及硬质合金的超精密研磨和抛光，如用于LED蓝宝石的减薄。作为镀膜添加剂，用于金属模具、工具、部件等的镀膜，能够大大提高表面耐磨性、表面硬度、延长使用寿命。用于研磨，一般配制成研磨液来使用。也可用于制作刀具，切割时不容易产生崩裂。
[0003]现阶段主要研究应用于半本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种改善多晶金刚石质量的可升降网状沉积预处理装置，其特征是，包括底座、转动平台、定位柱、衬底罩和筛网，转动平台安装在底座上并与电机连接，电机固定安装在底座上，转动平台上分布有定位柱，定位柱上设置有挤压机构，转动平台上在各定位柱围成的空间内设置有衬底罩，衬底罩内设置有能够移动的筛网。2.根据权利要求1所述的改善多晶金刚石质量的可升降网状沉积预处理装置，其特征是，所述电机以及电机与转动平台的连接处通过密封外罩密封。3.根据权利要求1所述的改善多晶金刚石质量的可升降网状沉积预处理装置，其特征是，所述挤压机构，包括滑块、上杆和下杆，滑块套装在定位柱上，上杆的一端与滑块铰接，上杆的另一端与下杆的一端铰接，下杆的另一端铰接在定位柱的下部。4.根据权利要求1所述的改善多晶金刚石质量的可升降网状沉积预处理装置，其特征是，所述筛网的壁度为0.1
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10mm，网孔的目数
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孔径为1500
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150000。5.根据权利要求1所述的改善多晶金刚石质量的可升降网状沉积预处理装置，其特...

【专利技术属性】
技术研发人员：王希玮，彭燕，曹振忠，刘长江，王笃福，徐现刚，
申请(专利权)人：山东大学，
类型：发明
国别省市：