一种用于半导体加工的清洗装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开一种用于半导体加工的清洗装置，包括工作台，工作台内部设置PLC控制系统，工作台的表面分别设置待位区、清洗槽、风干箱和出料区，四者成十字形分布，且四者的中心设置旋转起吊机构，待位区放置吊篮，吊篮内放置半导体原料，待位区连接输入输送带，出料区连接输出输送带；旋转起吊机构包括步进电机，步进电机的输出轴顶部固定设置安装板，安装板上固定设置电动推杆，电动推杆的活塞杆端部设置十字架，且十字架的下端分别设置四个气爪，气爪能够抓住吊篮。本实用新型专利技术采用旋转起吊机构能够将吊篮分别进入清洗槽内清洗、进入风干箱内风干、从输出输送线输出，提高了工作效率，减少工人的劳动强度，节约人力成本，保证产品质量。质量。质量。

【技术实现步骤摘要】
一种用于半导体加工的清洗装置


[0001]本技术涉及半导体生产加工
，具体涉及一种用于半导体加工的清洗装置。

技术介绍

[0002]然而传统的半导体生产过程中需要对原料进行清洗，清洗一般需要人工将物料运到清洗池通过水冲洗，这样效率效果一般，清洗较为费时费力，因此，有必要解决上述技术问题。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于针对现有技术的缺陷和不足，提供一种用于半导体加工的清洗装置。
[0004]为实现上述目的，本技术采用的技术方案是：一种用于半导体加工的清洗装置，包括工作台，所述工作台内部设置PLC控制系统，其创新点在于：所述工作台的表面分别设置待位区、清洗槽、风干箱和出料区，四者成十字形分布，且四者的中心设置旋转起吊机构，所述待位区放置吊篮，所述吊篮内放置半导体原料，所述待位区连接输入输送带，所述出料区连接输出输送带；所述旋转起吊机构包括步进电机，所述步进电机的输出轴顶部固定设置安装板，所述安装板上固定设置电动推杆，所述电动推杆的活塞杆端部设置十字架，且十字架的下端分别设置四个气爪，所述气爪能够抓住吊篮。...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于半导体加工的清洗装置，包括工作台，所述工作台内部设置PLC控制系统，其特征在于：所述工作台的表面分别设置待位区、清洗槽、风干箱和出料区，四者成十字形分布，且四者的中心设置旋转起吊机构，所述待位区放置吊篮，所述吊篮内放置半导体原料，所述待位区连接输入输送带，所述出料区连接输出输送带；所述旋转起吊机构包括步进电机，所述步进电机的输出轴顶部固定设置安装板，所述安装板上固定设置电动推杆，所述电动推杆的活...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈磊，施剑，
申请(专利权)人：南通国尚精密机械有限公司，
类型：新型
国别省市：