一种用于半导体加工的清洗装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开一种用于半导体加工的清洗装置，包括工作台，工作台内部设置PLC控制系统，工作台的表面分别设置待位区、清洗槽、风干箱和出料区，四者成十字形分布，且四者的中心设置旋转起吊机构，待位区放置吊篮，吊篮内放置半导体原料，待位区连接输入输送带，出料区连接输出输送带；旋转起吊机构包括步进电机，步进电机的输出轴顶部固定设置安装板，安装板上固定设置电动推杆，电动推杆的活塞杆端部设置十字架，且十字架的下端分别设置四个气爪，气爪能够抓住吊篮。本实用新型专利技术采用旋转起吊机构能够将吊篮分别进入清洗槽内清洗、进入风干箱内风干、从输出输送线输出，提高了工作效率，减少工人的劳动强度，节约人力成本，保证产品质量。质量。质量。

【技术实现步骤摘要】
一种用于半导体加工的清洗装置


[0001]本技术涉及半导体生产加工
，具体涉及一种用于半导体加工的清洗装置。

技术介绍

[0002]然而传统的半导体生产过程中需要对原料进行清洗，清洗一般需要人工将物料运到清洗池通过水冲洗，这样效率效果一般，清洗较为费时费力，因此，有必要解决上述技术问题。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于针对现有技术的缺陷和不足，提供一种用于半导体加工的清洗装置。
[0004]为实现上述目的，本技术采用的技术方案是：一种用于半导体加工的清洗装置，包括工作台，所述工作台内部设置PLC控制系统，其创新点在于：所述工作台的表面分别设置待位区、清洗槽、风干箱和出料区，四者成十字形分布，且四者的中心设置旋转起吊机构，所述待位区放置吊篮，所述吊篮内放置半导体原料，所述待位区连接输入输送带，所述出料区连接输出输送带；所述旋转起吊机构包括步进电机，所述步进电机的输出轴顶部固定设置安装板，所述安装板上固定设置电动推杆，所述电动推杆的活塞杆端部设置十字架，且十字架的下端分别设置四个气爪，所述气爪能够抓住吊篮。
[0005]进一步的，所述清洗槽内部注入清洗液，且采用超声波进行清洗。
[0006]进一步的，所述风干箱四壁设置风机。
[0007]进一步的，所述工作台上开设矩形槽用于放置输入输送带和输出输送带。
[0008]采用上述结构后，本技术有益效果为：
[0009]本技术结构简单，方便实用；采用旋转起吊机构能够将吊篮分别进入清洗槽内进行清洗、进入风干箱内进行风干、最后从输出输送线输出，提高了清洗工作效率，减少了工人的劳动强度，节约人力成本，保证了产品质量。
附图说明
[0010]图1为本技术的俯视图；
[0011]图2为本技术的主视图。
[0012]附图标记说明：
[0013]1工作台、2待位区、3清洗槽、4风干箱、5出料区、6旋转起吊机构、61步进电机、62安装板、63电动推杆、64十字架、65气爪、7吊篮、8输入输送带、9输出输送带、10矩形槽。
具体实施方式
[0014]下面结合附图对本技术作进一步的说明。
[0015]为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及具体实施方式，对本技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施方式仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。
[0016]参看图1
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2，一种用于半导体加工的清洗装置，包括工作台1，工作台1内部设置PLC控制系统，工作台1的表面分别设置待位区2、清洗槽3、风干箱4和出料区5，四者成十字形分布，且四者的中心设置旋转起吊机构6，待位区2放置吊篮7，吊篮7内放置半导体原料，待位区2连接输入输送带8，出料区5连接输出输送带9；旋转起吊机构6包括步进电机61，步进电机61的输出轴顶部固定设置安装板62，安装板62上固定设置电动推杆63，电动推杆63的活塞杆端部设置十字架64，且十字架64的下端分别设置四个气爪65，气爪65能够抓住吊篮7。具体的，输入输送带8将装有半导体原料的吊篮输送至待位区2，然后电动推杆63下降，气爪65抓住吊篮7，电动推杆63上升，步进电机61旋转，将吊篮7旋转至清洗槽3上方，电动推杆63下降，将吊篮7放置在清洗槽3进行清洗，清洗完成后，再上升并旋转至风干箱4上方，并降至风干箱4内进行风干，然后再上升并旋转至输出输送带9排出；在第一个吊篮风干式，第二个吊篮在清洗，第三个吊篮就位于待位区，以此类推，从而实现自动化的清洗烘干；待位区2采用凹槽设置，用于对吊篮7进行定位；PLC控制系统与各机构进行电性连接，对其进行设置和控制。
[0017]本实施例中，清洗槽3内部注入清洗液，且采用超声波进行清洗。超声波清洗为现有技术，本申请中不再阐述其具体结构和工作原理。
[0018]本实施例中，风干箱4四壁设置风机。风干箱4顶部开口，用于进行吊篮的升降，四个风机同时对吊篮内的半导体原料进行风干，提高风干效率。
[0019]本实施例中，工作台1上开设矩形槽10用于放置输入输送带和输出输送带，从而使得输入输送带和输出输送带更加能够与待位区2及出料区5顺利对接。
[0020]以上所述，仅用以说明本技术的技术方案而非限制，本领域普通技术人员对本技术的技术方案所做的其它修改或者等同替换，只要不脱离本技术技术方案的精神和范围，均应涵盖在本技术的权利要求范围当中。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于半导体加工的清洗装置，包括工作台，所述工作台内部设置PLC控制系统，其特征在于：所述工作台的表面分别设置待位区、清洗槽、风干箱和出料区，四者成十字形分布，且四者的中心设置旋转起吊机构，所述待位区放置吊篮，所述吊篮内放置半导体原料，所述待位区连接输入输送带，所述出料区连接输出输送带；所述旋转起吊机构包括步进电机，所述步进电机的输出轴顶部固定设置安装板，所述安装板上固定设置电动推杆，所述电动推杆的活...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈磊，施剑，
申请(专利权)人：南通国尚精密机械有限公司，
类型：新型
国别省市：