下载一种用于半导体加工的清洗装置的技术资料

文档序号:32785492

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本实用新型公开一种用于半导体加工的清洗装置,包括工作台,工作台内部设置PLC控制系统,工作台的表面分别设置待位区、清洗槽、风干箱和出料区,四者成十字形分布,且四者的中心设置旋转起吊机构,待位区放置吊篮,吊篮内放置半导体原料,待位区连接输入输...
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