一种化学试剂储存柜制造技术

本实用新型专利技术涉及半导体加工领域，公开了一种化学试剂储存柜，包括柜体、柜门以及柜门把手，柜体的底部设置有接液抽屉，柜体的内壁上设置有两条滑轨，接液抽屉的两侧设置有滑条；柜体两侧的内壁上安装有放置板，放置板上开设有多个通孔；柜体的背面开设有多个排风口，柜体的顶部设置有多个通风管，每个通风管的轴向上设置有多个出风口，出风口的朝向朝下，柜体远离柜门一侧的外壁上设置有多个分流管以及PLC控制器，每个分流管的一端与通风管连通，另一端与气泵的出气管连通，每个分流管上安装有电磁阀，多个电磁阀均与PLC控制器电连接，PLC控制器与气泵电连接，可用来解决试剂瓶上残留的水分，导致储存柜中的湿度增加，不利于化学试剂保存的问题。试剂保存的问题。试剂保存的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种化学试剂储存柜


[0001]本技术属于半导体加工
，具体涉及一种化学试剂储存柜。

技术介绍

[0002]在研磨晶片过程中，人们利用几种强酸强碱的化学试剂配置形成腐蚀试剂，利用腐蚀试剂对晶片进行清洗腐蚀，将晶片表面平整度进行提高，提高晶片的光泽度。在使用化学试剂配置腐蚀试剂时，试剂瓶本身很容易沾有化学试剂，人们往往使用去离子水清洗瓶身，因此导致瓶身表面残留有水。当把试剂瓶放入储存柜中进行保存，试剂瓶表面残留的水分会导致储存柜里的湿度增加，不利于化学试剂的保存。并且化学试剂容易挥发，若是试剂瓶打开后，若柜体中不干燥，挥发后的化学试剂与空气中的水分结合，容易对储存柜进行腐蚀，导致储存柜发生受损。

技术实现思路

[0003]本技术的目的是提供一种化学试剂储存柜，用来解决试剂瓶上残留的水分，导致储存柜中的湿度增加，不利于化学试剂保存的问题。
[0004]为实现上述技术目的，本技术采用的技术方案如下：
[0005]一种化学试剂储存柜，包括柜体、与柜体连接的柜门以及设置在柜门上的柜门把手，其特征在于：柜体的底部设置有接液抽屉，柜体靠近接液抽屉的内壁上设置有两条滑轨，接液抽屉的两侧设置有滑条，所述滑条滑动的设置在滑轨上；柜体两侧的内壁上安装有放置板，放置板上开设有多个通孔；柜体远离柜门的一侧开设有多个排风口，柜体的顶部设置有多个通风管，每个通风管的轴向上设置有多个出风口，出风口的朝向朝下；所述柜体的一侧设置有气泵，柜体远离柜门一侧的外壁上设置有多个分流管以及PLC控制器，每个分流管的一端与通风管连通，另一端与气泵的出气管连通，每个分流管上安装有电磁阀，多个电磁阀均与PLC控制器电连接，PLC控制器与气泵电连接。
[0006]进一步，多个出风口分成两排设置在通风管上，每一排的出风口等距设置于在通风管上。每一排的出风口等距的设置可保证每个试剂瓶的每个地方所接受到的风是均匀的。
[0007]进一步，出风口与通风管的夹角为30度至60度，每排的出风口与通风管的夹角相同。通过此设计，可保证出风口吹出来的风均能吹在试剂瓶的表面。
[0008]进一步，放置板远离接液抽屉的一面上间隔设置有多个隔板，隔板与放置板垂直设置。隔板与放置板之间形成一个隔间，因此可将每瓶化学试剂单独放在每一个隔间，不仅防止化学试剂之间彼此污染，也可以防止化学试剂倾倒。
[0009]进一步，通风管与隔板上下平行设置。通风管与隔板上下平行设置可使得通风管上的两排出风口分别朝向不同试剂的一面，使得一排出风口吹向试剂瓶的一面，第二排出风口吹向相邻的试剂瓶的一面。
[0010]进一步，接液抽屉的一侧设置有抽屉把手。利用抽屉把手可将接液抽屉抽出，方便
对抽屉进行清洗。
[0011]采用上述技术方案的技术，具有如下优点：
[0012]1、通过利用PLC控制器控制电磁阀对通风管中的气体进行控制，将通风管设置在柜体顶部，出风口吹向残留在试剂瓶表面的液体，使其顺着试剂瓶表面从放置板的底部的通孔流入接液抽屉，通过出风口喷出气体加快水蒸气的流动，快速烘干试剂瓶表面的液体，增加液体的蒸发速度，保持柜子内部的干燥。
[0013]2、通过在柜体的内壁上设置排风口，可将柜子内部的有毒气体与水蒸气抽离，避免化学试剂中挥发的气体泄漏，可保持柜子中的气体保持流通，减少化学试剂中挥发气体的堆积。
[0014]3、柜体的两侧的内壁上设置有两条滑轨，接液抽屉的两侧设置有滑条，滑条滑动的设置在滑轨上。抽屉滑动，可以将接液抽屉抽出并进行清洗，减少柜中存在液体，保持柜体内部的干燥，并且接液抽屉可阻挡化学试剂瓶上的液体与柜子接触，避免腐蚀柜子。
[0015]4、通过PLC控制器提前设置好每一次相邻的两个电磁阀的开启时间和关闭时间，使得相邻的两个通风管的持续喷出气体的时间相同，PLC控制器控制电磁阀交替启动和关闭，从而使得柜体内持续有从通风管喷出的气体，可以使得柜体内持续加速空气流通，保持柜体内部的干燥，而且还可以节省气体流量，使得只需要功率较小的气泵就可以满足需求，减少噪音的产生。
附图说明
[0016]本技术可以通过附图给出的非限定性实施例进一步说明；
[0017]图1为本技术一种化学试剂储存柜整体的结构示意图；
[0018]图2为图1柜门打开后的结构示意图；
[0019]图3为图2中抽屉抽出的结构示意图；
[0020]图4为本技术一种化学试剂储存柜背面的结构示意图；
[0021]图5为本技术一种化学试剂储存柜通风管的结构示意图；
[0022]图6为本技术一种化学试剂储存柜接液抽屉的结构示意图。
[0023]主要元件符号说明如下：
[0024]柜体10、柜门11、柜门把手12、放置板13、隔板131、隔间132、第一隔间1321、接液抽屉14、抽屉把手141、排风口15、通风管16、第一通风管162、第二通风管163、第三通风管164、出风口161、分流管17、第一电磁阀171、第二电磁阀172、滑轨18、滑条19、气泵20、PLC控制器21。
具体实施方式
[0025]以下将结合附图和具体实施例对本技术进行详细说明，需要说明的是，在附图或说明书描述中，相似或相同的部分都使用相同的图号，附图中未绘示或描述的实现方式，为所属
中普通技术人员所知的形式。另外，实施例中提到的方向用语，例如“上”、“下”、“顶”、“底”、“左”、“右”、“前”、“后”等，仅是参考附图的方向，并非用来限制本技术的保护范围。
[0026]如图1～6所示，本技术的一种化学试剂储存柜，包括柜体10、与柜体转动连接
的柜门11以及安装在柜门上的柜门把手12，柜体10和柜门11主要的材料是铁，不但有利于节省制作成本，而且不透光，有利于化学试剂保存。
[0027]柜体10的底部上设置有接液抽屉14，柜体10靠近接液抽屉14的内壁上通过铆钉铆接有两条滑轨18，接液抽屉14的两侧安装有与滑轨18相匹配的滑条19，滑条19滑动设置在滑轨18上，使得接液抽屉14可以进行滑动，接液抽屉14的外侧设置有抽屉把手141，在柜体10两侧的内壁上安装有放置板13，放置板13上开设有多个通孔，放置板13上间隔设置有3个隔板131，每个隔板131均与放置板13垂直设置，每两个相邻隔板131与放置板13形成隔间132，如图3所示，从右至左依次形成第一隔间1321，第二隔间，第三隔间，第四隔间。
[0028]柜体10的背面开设有多个排风口15，柜体10的顶部设置有5个通风管16，每个通风管从右往左依次形成第一通风管162，第二通风管163，第三通风管164，第四通风管，第五通风管，每个通风管16与隔板131上下平行设置，每个通风管16的轴向设置有多个出风口161，每个出风口161的朝向朝下，多个出风口161分成两排设置在通风管16上，每排出风口161等距设置于在通风管16上，出风口161与通风管16的夹角为本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种化学试剂储存柜，包括柜体、与柜体连接的柜门以及设置在柜门上的柜门把手，其特征在于：所述柜体的底部设置有接液抽屉，所述柜体靠近接液抽屉的内壁上设置有两条滑轨，所述接液抽屉的两侧安装有滑条，所述滑条滑动的设置在滑轨上；所述柜体两侧的内壁上安装有放置板，所述放置板上开设有多个通孔；所述柜体远离柜门的一侧开设有多个排风口，所述柜体的顶部设置有多个通风管，每个所述通风管的轴向上设置有多个出风口，所述出风口的朝向朝下；所述柜体的一侧设置有气泵，所述柜体远离柜门一侧的外壁上安装有多个分流管以及PLC控制器，每个所述分流管的一端与通风管连通，另一端与气泵的出气管连通，每个所述分流管上安装有电磁阀，多个所述电磁阀均与PLC控制...

【专利技术属性】
技术研发人员：周一，毕洪伟，彭杰，
申请(专利权)人：威科赛乐微电子股份有限公司，
类型：新型
国别省市：