F-θ物镜制造技术

本实用新型专利技术提供一种F

【技术实现步骤摘要】
F
‑
θ
物镜


[0001]本技术涉及一种用于高功率激光器的聚焦的F
‑
θ物镜，该F
‑
θ物镜例如可以在扫描设备中用于激光材料加工。

技术介绍

[0002]F
‑
θ物镜使围绕相对于该F
‑
θ物镜的光轴+/
‑
θ的扫描角度范围扫描而入射的激光束聚焦到一个平坦的成像区域(成像平面BE)中，其中在该扫描角度范围内，扫描角度与激光束的入射点的在该成像平面中与光轴的间距的关系遵循线性函数。即以恒定的角速度扫描的激光束在该成像平面中产生一个焦点，该焦点以恒定的速度移动。在此，在该成像平面中的每个位置处该焦点的大小应是恒定的。
[0003]焦点的大小依赖于激光材料加工的目的(例如标记、剥层或切割)来确定。
[0004]由于该激光束在穿过F
‑
θ物镜时依赖于波长的折射，为了实现高的焦点质量，将该F
‑
θ物镜对所使用的加工激光束的波长进行校正，即如下地计算该物镜：在针对预定的波长和预定的激光束直径的允许的温度容差范围内，该物镜针对预定大小的成像平面不具有或具有仅非常小的光学的成像失真，这些成像失真导致焦点的显著的大小变化。尤其针对在激光材料加工中的使用，该F
‑
θ物镜具有大的成像平面和大的总焦距。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于，提供一种用于高功率激光器的F
‑
θ物镜，其具有1064 nm的波长以及130mm至195mm的总焦距，该F
‑
θ物镜可以实现激光束的无反向反射的成像。这个目的通过具有以下特征的一种F
‑
θ物镜实现。
[0006]一种F
‑
θ物镜，其包括三个单透镜，具有：作为凹
‑
凹透镜的具有焦距f1的第一单透镜L1、作为凹
‑
凸透镜的具有焦距f2的第二单透镜L2、作为凸
‑
凸透镜L3的具有焦距f3的第三单透镜L3，以及该F
‑
θ物镜的总焦距f，其中这些焦距f1‑
f3与该总焦距f之比满足以下条件：
[0007]‑
0.50<f1/f<
‑
0.35
[0008]+0.75<f2/f<+1.10
[0009]+0.60<f3/f<+0.90。
[0010]其中，优选地，f1/f＝
‑
0.43、f2/f＝+0.90、f3/f＝+0.75；进一步优选地，该F
‑
θ物镜的入射光瞳EP以40.5mm的间距d1位于该第一单透镜L1之前。
附图说明
[0011]下面借助于附图详细说明本技术。在附图中：
[0012]图1用沿着光轴A且在最大的扫描角度下的光束走向的图示示出了根据本技术的物镜的几何光学示意图。
具体实施方式
[0013]根据本技术的F
‑
θ物镜具有在该F
‑
θ物镜前方安排的、间隔开的一个入射光瞳EP，该入射光瞳可以安排在一个平面中，一个扫描仪反射镜位于该平面中，或者当使用两个扫描仪反射镜时一个为此计算的代替平面位于该平面中；并且该物镜包括在一条共用的光轴A上安排的三个单透镜L1‑
L3。这三个单透镜L1‑
L3如下地构型：这些单透镜形成“负
‑
正
‑
正”的透镜顺序。即第一单透镜L1具有负焦距，而其他两个单透镜L2和L3具有正焦距。
[0014]在此，该第一透镜L1为凹
‑
凹透镜(双凹透镜)，该第二透镜L2为凹
‑
凸透镜，而该第三透镜L3为凸
‑
凸透镜(双凸透镜)。
[0015]这三个单透镜的焦距满足以下要求：
[0016]第一透镜L1的焦距f1与总焦距f的焦距比率为：
‑
0.50<f1/f<
‑
0.35。
[0017]第二透镜L2的焦距f2与总焦距f的焦距比率为：+0.75<f2/f<+1.10。
[0018]第三透镜L3的焦距f3与总焦距f的焦距比率为：+0.60<f3/f<+0.90。
[0019]可以在这三个单透镜L1‑
L3的后方安排一个保护玻璃SG。
[0020]用根据本技术的F
‑
θ物镜实现的有利的效果在于：用由石英玻璃构成的三个单透镜L1‑
L3产生适合于高功率激光器的、对1064nm的波长校正的F
‑
θ物镜，该 F
‑
θ物镜具有161mm的总焦距。该F
‑
θ物镜以其参数如下地构型：在这些透镜L1‑
L3的光学有效面积处以及在适当时在该保护玻璃SG处产生的反向反射不聚焦到这些透镜L1‑
L3的表面上或围绕该入射光瞳EP布置的反射镜上。该F
‑
θ物镜不具有在透镜的材料中的反向反射。在光学表面上不产生反向反射并且在建议的扫描仪位置处不产生反向反射。下面对此类F
‑
θ物镜的一个实施例的特定结构和参数进行说明。
[0021]该F
‑
θ物镜的入射光瞳EP以间距d1位于该第一透镜L1的前顶点之前，该第一透镜为具有厚度d2的凹
‑
凹透镜，其前表面具有半径r1并且其后表面具有半径r2。第二透镜L2以空气间距d3跟随该第一透镜L1，该第二透镜为具有厚度d4的凹
‑
凸透镜，其前表面具有半径r3并且其后表面具有半径r4。第三透镜L3以空气间距d5跟随，该第三透镜为具有厚度d6的凸
‑
凸透镜，其前表面具有半径r5并且其后表面具有半径r6。一个具有厚度d8的、平面平行的保护玻璃SG以空气间距d7跟随。该成像平面BE以相对于该保护玻璃SG的间距d9产生。作为材料，为所有单透镜L1‑
L3和保护玻璃SG 选择折射率为n的石英玻璃。
[0022]在下表中给出了这些单透镜L1‑
L3的半径、其厚度及其间距d。
[0023][0024]间距和厚度同样地标记为d并且以其沿着F
‑
θ物镜的光轴A的顺序在光束通过方向上连续编号并且在图1中示出为d1‑
d9。“前”和“后”表面的说明参照光束通过方向。这些半径r1‑
r8可以通过参照所涉及的透镜L1‑
L3和保护玻璃SG而毫无异义地进行关联并且因此为了良好的清晰性在图1中未给出。
[0025]依赖于这些单透镜L1‑
L3的依赖于材料的折射率n，这些单透镜L1‑
L3的厚度d2、 d4、d6与单透镜的曲率半径r本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种F
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θ物镜，其特征在于，F
‑
θ物镜包括三个单透镜，具有：作为凹
‑
凹透镜的具有焦距f1的第一单透镜L1、作为凹
‑
凸透镜的具有焦距f2的第二单透镜L2、作为凸
‑
凸透镜L3的具有焦距f3的第三单透镜L3，以及该F
‑
θ物镜的总焦距f，其中这些焦距f1‑
f3与该总焦距f之比满足以下条件：
‑
0.50<f1/f&a...

【专利技术属性】
技术研发人员：维伦娜，
申请(专利权)人：业纳光学系统有限公司，
类型：新型
国别省市：