一种石英坩埚打磨设备制造技术

技术编号:32684672 阅读:90 留言:0更新日期:2022-03-17 11:44
本发明专利技术公开了一种石英坩埚打磨设备,包括传输装置、石英坩埚主体,传输装置由传输部件和动力装置组成,动力装置带动传输部件进行移动;传输装置的传输部件上形成有多组限位口,且石英坩埚主体放置在限位口内通过传输装置进行传输,传输装置的传输部件两侧还形成有外凸的抵压凸块;传输装置下部设置有支撑台,且支撑台上还固定有一个限位套,限位套与限位口直径相等;支撑台两侧处均设置有抵压条,抵压条是通过以连接架为圆心在支撑台上进行转动,并且抵压条的上端部可与抵压凸块摩擦碰触。通过设计有抵压条、夹持机构,从而可通过传输装置中的动力自动对其下落的石英坩埚主体进行夹持,并随后通过打磨机构对其石英坩埚主体进行打磨。行打磨。行打磨。

【技术实现步骤摘要】
一种石英坩埚打磨设备


[0001]本专利技术涉及石英坩埚加工打磨领域,具体涉及一种石英坩埚打磨设备。

技术介绍

[0002]石英坩埚,具有高纯度、耐温性强、尺寸大精度高、保温性好、节约能源、质量稳定等优点,应用越来越广泛,石英坩埚的检测工作是一个十分重要的环节,当今,世界半导体工业发达国家已用此坩埚取代了小的透明石英坩埚,它具有高纯度、耐温性强、尺寸大精度高、保温性好、节约能源、质量稳定等优点,在坩埚的生产过程中,打磨是十分重要的工艺,现有的打磨装置在对石英坩埚的底边进行打磨时,通常采用的液压杆、电动伸缩杆之类的夹持机构对其进行夹持,虽然效果较为稳定,但是有容易损坏造价成本过高等缺陷。因此,本领域技术人员提供了一种石英坩埚打磨设备,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。

技术实现思路

[0003]为解决上述技术问题,本专利技术提供一种石英坩埚打磨设备,包括传输装置、石英坩埚主体,所述传输装置由传输部件和动力装置组成,所述动力装置带动传输部件进行移动,所述传输装置的所述传输部件上形成有多组限位口,且所述石英坩埚主体放置在所述限位口内通过本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种石英坩埚打磨设备,包括传输装置(1)、石英坩埚主体(3),所述传输装置(1)由传输部件和动力装置组成,所述动力装置带动传输部件进行移动,其特征在于,所述传输装置(1)的所述传输部件上形成有多组限位口(102),且所述石英坩埚主体(3)放置在所述限位口(102)内通过所述传输装置(1)进行传输,所述传输装置(1)的传输部件两侧还形成有外凸的抵压凸块(101);所述传输装置(1)下部设置有支撑台(2),且所述支撑台(2)上还固定有一个限位套(201),所述支撑台(2)两侧处均设置有抵压条(7),并且抵压条(7)上安装有可对其所述石英坩埚主体(3)进行抵压夹持的夹持机构(6);所述支撑台(2)下方还设置有可以对所述石英坩埚主体(3)进行打磨的打磨机构(5)。2.根据权利要求1所述的一种石英坩埚打磨设备,其特征在于,所述抵压条(7)是通过以连接架(202)为圆心在支撑台(2)上进行转动,并且所述抵压条(7)的上端部可与所述抵压凸块(101)摩擦碰触。3.根据权利要求1所述的一种石英坩埚打磨设备,其特征在于,所述限位套(201)与所述限位口(102)直径相等。4.根据权利要求1所述的一种石英坩埚打磨设备,其特征在于,所述夹持机构(6)包括有衔接杆(601)、架体一(603)、架体二(604)、滑竿(605)、压缩弹簧(606),且所述架体二(604)通过所述滑竿(605)在所述架体一(603)上进行穿插滑动,并且所述压缩弹簧(606)套设在所述滑竿(605)上,而衔接杆(601)与所述抵压条(7)连接。5.根据权利要求4所述的一种石英坩埚打磨设备,其特征在于,所述夹持机构(6)还包括有动力部(602),且所述动力部(602)的输出端与所述衔接杆(601)连接,所述连接杆(601)通过所述动力部(602)的驱动在所述抵压条(7)上进行转动。6.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员:嵇文
申请(专利权)人:新沂市中鑫光电科技有限公司
类型:发明
国别省市:

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