本发明专利技术涉及坩埚生产技术领域，且公开了一种用于制备高纯石英坩埚透明层的装置，包括加热罐和盖板，所述盖板的一侧设有动力机构，所述加热罐的一侧内壁开设有多个通风槽，所述加热罐的底部内壁固定连接有内罐，所述加热罐的底部内壁固定连接有电热器，所述内罐的一侧内壁固定连接有安装架，安装架的一侧活动连接有传动轴。本发明专利技术不仅能够将堆积在内罐底部的石英原料抬升至内罐的中部并向外侧翻动，从而均匀的对原料进行搅拌混合，提高产品的质量，还能够对翻向外侧的石英原料进行搅拌，减少原料内的气泡含量，并且使得内罐内部的温度更加均匀，降低了内罐从中心到边部的温度梯度，提高产品的合格率，还能够提高装置的稳定性。还能够提高装置的稳定性。还能够提高装置的稳定性。
【技术实现步骤摘要】
一种用于制备高纯石英坩埚透明层的装置
[0001]本专利技术涉及坩埚生产
，具体为一种用于制备高纯石英坩埚透明层的装置。
技术介绍
[0002]石英坩埚是拉制大直径单晶硅、发展大规模集成电路必不可少的基础材料，其用于在单晶硅拉制时盛放原料，常规的拉单晶用电弧石英坩埚由内外两层结构构成，内层为透明层，其气泡含量较低，外层为气泡复合层，其气泡含量较高，其作用是支撑坩埚的变形强度。
[0003]常规生产石英坩埚的石英砂均为天然石英砂，石英砂的杂质含量和石英砂里的气液包裹体含量或数量就成为了影响石英坩埚使用寿命的关键影响因素，然而目前市场上的高纯石英坩埚透明层制备装置在对石英原料进行熔炼时搅拌不够均匀，从而导致制备的石英坩埚透明层气泡含量过高，为此，我们提出一种用于制备高纯石英坩埚透明层的装置。
技术实现思路
[0004](一)解决的技术问题
[0005]针对现有技术的不足，本专利技术提供了一种用于制备高纯石英坩埚透明层的装置，主要为解决石英原料进行熔炼时搅拌不够均匀，从而导致制备的石英坩埚透明层气泡含量过高的问题。
[0006](二)技术方案
[0007]为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：
[0008]一种用于制备高纯石英坩埚透明层的装置，包括加热罐和盖板，所述盖板的一侧设有动力机构，所述加热罐的一侧内壁开设有多个通风槽，所述加热罐的底部内壁固定连接有内罐，所述加热罐的底部内壁固定连接有电热器，所述内罐的一侧内壁固定连接有安装架，安装架的一侧活动连接有传动轴，传动轴的顶端固定连接有拨动杆，所述传动轴的一侧固定连接有螺旋片，且螺旋片位于安装架的下方，所述传动轴的一侧固定连接有连接板，连接板的一端活动连接有搅拌辊，搅拌辊的一端固定连接有圆盘齿轮，所述内罐的一侧内壁固定连接有齿环，且齿环与圆盘齿轮活动连接。
[0009]进一步的，所述动力机构包括有电机，且电机与盖板固定连接，所述电机输出轴的一端固定连接有第二连接杆，第二连接杆的一侧固定连接有连接块，连接块的一侧开设有滑槽，所述连接块的一侧固定连接有两个固定块，固定块的一侧固定连接有滑杆，滑杆的一侧活动连接有两个夹块，且夹块与滑槽活动连接，所述夹块的一侧固定连接有拉力弹簧。
[0010]在前述方案的基础上，所述传动轴的一侧固定连接有棘轮，且棘轮位于安装架的上方，所述安装架的上表面活动连接有棘爪，棘爪的底部固定连接有扭力弹簧，且扭力弹簧的另一端与安装架固定连接。
[0011]作为本专利技术再进一步的方案，所述盖板的上表面固定连接有温度传感器，所述盖
板的上表面开设有通孔，通孔内设有泄压阀，所述盖板的上表面固定连接有两个吊耳。
[0012]进一步的，所述盖板的底部固定连接有橡胶垫，所述盖板的底部固定连接有两个第一连接杆，第一连接杆的底端固定连接有橡胶座。
[0013]在前述方案的基础上，所述盖板的一侧固定连接有多个卡块，所述加热罐的一侧固定连接有多个弹簧卡，且弹簧卡与卡块活动连接。
[0014]作为本专利技术再进一步的方案，所述盖板的一侧开设有两个卡槽，所述加热罐的上表面固定连接有两个定位块，且定位块与卡槽活动连接。
[0015]进一步的，所述加热罐的底部固定连接有多个支撑柱，支撑柱的底端固定连接有地脚。
[0016]在前述方案的基础上，所述加热罐和内罐的底部均开设有排料口，排料口内活动连接有排料管，排料管的一端活动连接有控制阀。
[0017](三)有益效果
[0018]与现有技术相比，本专利技术提供了一种用于制备高纯石英坩埚透明层的装置，具备以下有益效果：
[0019]1、通过传动轴的转动能够带动螺旋片旋转的设置，使得螺旋片能够将堆积在内罐底部的石英原料抬升至内罐的中部并向外侧翻动，从而均匀的对原料进行搅拌混合，提高了产品的质量。
[0020]2、通过传动轴的转动能够推动圆盘齿轮与齿环啮合的设置，使得圆盘齿轮能够带动搅拌辊在绕传动轴公转的同时实现自转的功能，从而对翻向外侧的石英原料进行搅拌，减少了原料内的气泡含量。
[0021]3、通过在加热罐的内部开设多个通风槽，使得加热器产生的热空气能够均匀的散步在内罐的外侧，使得内罐内部的温度更加均匀，从而降低了内罐从中心到边部的温度梯度，提高了产品的合格率。
[0022]4、通过电机输出轴的转动能够推动连接块与拨动杆接触，使得拨动杆能够挤压夹块拉伸拉力弹簧并沿滑杆向两侧滑动，从而使得夹块将拨动杆卡接并带动传动轴稳定转动，提高了装置的稳定性。
附图说明
[0023]图1为本专利技术提出的一种用于制备高纯石英坩埚透明层的装置的立体结构示意图；
[0024]图2为本专利技术提出的一种用于制备高纯石英坩埚透明层的装置的局部剖视结构示意图；
[0025]图3为本专利技术提出的一种用于制备高纯石英坩埚透明层的装置的A部放大结构示意图；
[0026]图4为本专利技术提出的一种用于制备高纯石英坩埚透明层的装置的盖板结构示意图；
[0027]图5为本专利技术提出的一种用于制备高纯石英坩埚透明层的装置的卡合机构结构示意图。
[0028]图中：1、温度传感器；2、吊耳；3、加热罐；4、支撑柱；5、地脚；6、电机；7、卡槽；8、盖
板；9、弹簧卡；10、定位块；11、排料管；12、拨动杆；13、安装架；14、连接板；15、圆盘齿轮；16、搅拌辊；17、齿环；18、传动轴；19、控制阀；20、螺旋片；21、电热器；22、内罐；23、橡胶垫；24、棘爪；25、扭力弹簧；26、棘轮；27、连接块；28、泄压阀；29、第一连接杆；30、橡胶座；31、第二连接杆；32、滑杆；33、拉力弹簧；34、夹块；35、卡块。
具体实施方式
[0029]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0030]参照图1
‑
5，一种用于制备高纯石英坩埚透明层的装置，包括加热罐3和盖板8，盖板8的一侧设有动力机构，加热罐3的一侧内壁开设有多个通风槽，加热罐3的底部内壁通过螺栓固定有内罐22，加热罐3的底部内壁通过螺栓固定有电热器21，电热器21能够对加热罐3内部的空气加热，热空气通过通风槽能够均匀的散布在内罐22的外侧，从而使得内罐22内部的温度更加均匀，降低了内罐22从中心到边部的温度梯度，提高了产品的合格率，内罐22的一侧内壁通过螺栓固定有安装架13，安装架13的一侧转动连接有传动轴18，传动轴18的顶端通过螺栓固定有拨动杆12，传动轴18的一侧通过螺栓固定有螺旋片20，且螺旋片20位于安装架13的下方，传动轴18的转动能够带动螺旋片20旋转，使得螺旋片20能够将堆积在内罐22底部的石英原料抬升至内罐22的中部并向外侧翻动，从而均匀的对原料进行搅拌混合，提本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于制备高纯石英坩埚透明层的装置，包括加热罐(3)和盖板(8)，其特征在于，所述盖板(8)的一侧设有动力机构，所述加热罐(3)的一侧内壁开设有多个通风槽，所述加热罐(3)的底部内壁固定连接有内罐(22)，所述加热罐(3)的底部内壁固定连接有电热器(21)，所述内罐(22)的一侧内壁固定连接有安装架(13)，安装架(13)的一侧活动连接有传动轴(18)，传动轴(18)的顶端固定连接有拨动杆(12)，所述传动轴(18)的一侧固定连接有螺旋片(20)，且螺旋片(20)位于安装架(13)的下方，所述传动轴(18)的一侧固定连接有连接板(14)，连接板(14)的一端活动连接有搅拌辊(16)，搅拌辊(16)的一端固定连接有圆盘齿轮(15)，所述内罐(22)的一侧内壁固定连接有齿环(17)，且齿环(17)与圆盘齿轮(15)活动连接。2.根据权利要求1所述的一种用于制备高纯石英坩埚透明层的装置，其特征在于：所述动力机构包括有电机(6)，且电机(6)与盖板(8)固定连接，所述电机(6)输出轴的一端固定连接有第二连接杆(31)，第二连接杆(31)的一侧固定连接有连接块(27)，连接块(27)的一侧开设有滑槽，所述连接块(27)的一侧固定连接有两个固定块，固定块的一侧固定连接有滑杆(32)，滑杆(32)的一侧活动连接有两个夹块(34)，且夹块(34)与滑槽活动连接，所述夹块(34)的一侧固定连接有拉力弹簧(33)。3.根据权利要求1所述的一种用于制备高纯石英坩埚透明层的装置，其特征在于：所述传动轴(18)的一侧固定连接有棘轮(26)，且棘轮(26)位于安装架(13)的上方，所述安装架(...
【专利技术属性】
技术研发人员：嵇亚明，
申请(专利权)人：新沂市中鑫光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。