本发明专利技术涉及石英坩埚技术领域，且公开了一种高强高导热三层结构石英坩埚制备方法，包括以下步骤：S1：原料检测：对采购要求对原料进行抽样检测，检测项目包括原料直径、纯度、湿度，然后根据检测实际情况进行记录分析，原料不合格则禁止使用；S2：搅拌蒸发：将合格的原料加入球磨机中进行球磨，本发明专利技术还提出一种高强高导热三层结构石英坩埚，包括底盘和石英层，所述石英层的一侧外壁设有石墨层，石墨层的一侧外壁设有防护层。本发明专利技术不仅能够避免不合格原料混入原料中，提高了产品生产的质量，增加产品的成品率，同时能够使产品的强度加强，增加产品的使用能力，提高产品的使用寿命，还能够使产品快速加热，提高产品的导热能力。提高产品的导热能力。提高产品的导热能力。
【技术实现步骤摘要】
一种高强高导热三层结构石英坩埚及其制备方法
[0001]本专利技术涉及石英坩埚
，具体为一种高强高导热三层结构石英坩埚及其制备方法。
技术介绍
[0002]众所周知，石英坩埚，具有高纯度、耐温性强、尺寸大精度高、保温性好、节约能源、质量稳定等优点，应用越来越广泛，石英坩埚的检测工作是一个十分重要的环节，而且石英坩埚的检测朝向现场检测方向发展。
[0003]同时石英坩埚可在1450度以下使用，分透明和不透明两种，用电弧法制的半透明石英坩埚是拉制大直径单晶硅，发展大规模集成电路必不可少的基础材料，而市场上使用的石英坩埚在使用时多为单层结构，其强度和导热性均不理想，为此提出一种高强高导热三层结构石英坩埚及其制备方法。
技术实现思路
[0004](一)解决的技术问题
[0005]针对现有技术的不足，本专利技术提供了一种高强高导热三层结构石英坩埚及其制备方法，主要为解决现有单层石英坩埚强度及导热性不够理想的问题。
[0006](二)技术方案
[0007]为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：
[0008]一种高强高导热三层结构石英坩埚制备方法，包括以下步骤：
[0009]S1：原料检测：对采购要求对原料进行抽样检测，检测项目包括原料直径、纯度、湿度，然后根据检测实际情况进行记录分析，原料不合格则禁止使用；
[0010]S2：搅拌蒸发：将合格的原料加入球磨机中进行球磨，同时加入去离子水一起球磨，然后加入均化箱中进行蒸发搅拌成浆料，同时定期进行取样检测，直至浆料样品合格再进行使用；
[0011]S3：注浆成型：通过浇注罐将合格的浆料注入预先准备好的石膏模具中，同时将模具放置与恒温恒湿环境中等待浆料成型；
[0012]S4：脱模处理：将成型的产品取出模芯和模边，然后通过热风进行初步干燥处理；
[0013]S5：固化干燥：将初步处理后的产品转移至固化炉中进行快速固化，随后再转移至干燥箱或干燥炉中进行干燥，使产品干燥度达到操作标准；
[0014]S6：初次检测：使用灯光对干燥后的产品进行初步检查，并判断瑕疵产品是否进行修补，若无法进行修补则进行报废处理；
[0015]S7：产品煅烧：将合格的产品进行装窑煅烧，煅烧后的不合格产品同样进行报废处理；
[0016]S8：修边处理：将煅烧后的产品通过车床进行打磨倒角处理，使产品达到平整度及使用要求；
[0017]S9：终检包装：通过灯光和显色剂对产品进行最后检查，清洁干净后进行打包入库。
[0018]进一步的，所述S1中原料纯度为99.75％
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99.99％，湿度为0.1％
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0.8％。
[0019]在前述方案的基础上，所述S2中搅拌时间为24
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48小时，隔45
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65分钟进行取样。
[0020]作为本专利技术再进一步的方案，所述S3中注浆成型温度应为23℃
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26℃同时湿度为40％
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60％，同时注浆成型时间为6
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9小时。
[0021]进一步的，所述S5中干燥炉温度为110℃
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135℃，干燥时间为5
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8小时，使产品的含水量到达0.1％
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0.6％。
[0022]在前述方案的基础上，所述S7中煅烧窑中的温度保持1100℃
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1300℃并保持18
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24小时后使得煅烧成功。
[0023]本专利技术还提出一种高强高导热三层结构石英坩埚，包括底盘和石英层，所述石英层的一侧外壁设有石墨层，石墨层的一侧外壁设有防护层，所述石英层的底部一体成型有固定盘，且固定盘穿过石墨层和防护层，所述固定盘的底部一体成型有多个插孔，所述底盘的上表面固定连接有多个插杆，且插杆与插孔活动连接，所述石墨层和防护层的一侧均开设有多个导热孔。
[0024]进一步的，所述石英层的顶部设有顶盖，顶盖的顶部一体成型有球头和排气孔。
[0025]在前述方案的基础上，所述石英层的一侧一体成型有出料口，且出料口穿过石墨层和防护层。
[0026]作为本专利技术再进一步的方案，所述底盘的底部固定连接有支撑架，支撑架的底部固定连接有多个防滑垫，所述防护层的一侧开设有多个防滑纹。
[0027](三)有益效果
[0028]与现有技术相比，本专利技术提供了一种高强高导热三层结构石英坩埚及其制备方法，具备以下有益效果：
[0029]1、该高强高导热三层结构石英坩埚制备方法，通过对原料进行抽样检测步骤，使得不合格的产品能够提前被检查出来，避免不合格原料混入，提高了产品生产的质量，增加产品的成品率。
[0030]2、该高强高导热三层结构石英坩埚制备方法，通过增加对产品进行初步干燥，使得产品能够初步具有一定的硬度，避免半成品在转移时发生变形，提高产品的转移能力。
[0031]3、该一种高强高导热三层结构石英坩埚，通过石英层、石墨层和防护层，使得产品的强度能够加强，同时增加产品的使用能力，提高产品的使用寿命。
[0032]4、该一种高强高导热三层结构石英坩埚，通过在石墨层和防护层开设多个导热孔，使得产品在使用时能够快速被加热，减少能量的损耗，提高产品的导热能力。
附图说明
[0033]图1为本专利技术提出的一种高强高导热三层结构石英坩埚的主视结构示意图；
[0034]图2为本专利技术提出的一种高强高导热三层结构石英坩埚的后视结构示意图；
[0035]图3为本专利技术提出的一种高强高导热三层结构石英坩埚的剖视结构示意图；
[0036]图4为本专利技术提出的一种高强高导热三层结构石英坩埚的A点放大结构示意图；
[0037]图5为本专利技术提出的一种高强高导热三层结构石英坩埚制备方法的流程结构示意
图。
[0038]图中：1、底盘；2、支撑架；3、防滑垫；4、导热孔；5、防滑纹；6、球头；7、顶盖；8、出料口；9、防护层；10、排气孔；11、石英层；12、石墨层；13、插杆；14、固定盘。
具体实施方式
[0039]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0040]参照图1
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图5，一种高强高导热三层结构石英坩埚制备方法，包括以下步骤：
[0041]S1：原料检测：对采购要求对原料进行抽样检测，检测项目包括原料直径、纯度、湿度，然后根据检测实际情况进行记录分析，原料不合格则禁止使用；
[0042]S2：搅拌蒸发：将合格的原料加入球磨机中进行球磨，同时加入去离子水一起球磨，然后加入均化箱中进行蒸发搅拌成浆料，同时定期进行取样检测，直至浆料本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种高强高导热三层结构石英坩埚制备方法，其特征在于，包括以下步骤：S1：原料检测：对采购要求对原料进行抽样检测，检测项目包括原料直径、纯度、湿度，然后根据检测实际情况进行记录分析，原料不合格则禁止使用；S2：搅拌蒸发：将合格的原料加入球磨机中进行球磨，同时加入去离子水一起球磨，然后加入均化箱中进行蒸发搅拌成浆料，同时定期进行取样检测，直至浆料样品合格再进行使用；S3：注浆成型：通过浇注罐将合格的浆料注入预先准备好的石膏模具中，同时将模具放置与恒温恒湿环境中等待浆料成型；S4：脱模处理：将成型的产品取出模芯和模边，然后通过热风进行初步干燥处理；S5：固化干燥：将初步处理后的产品转移至固化炉中进行快速固化，随后再转移至干燥箱或干燥炉中进行干燥，使产品干燥度达到操作标准；S6：初次检测：使用灯光对干燥后的产品进行初步检查，并判断瑕疵产品是否进行修补，若无法进行修补则进行报废处理；S7：产品煅烧：将合格的产品进行装窑煅烧，煅烧后的不合格产品同样进行报废处理；S8：修边处理：将煅烧后的产品通过车床进行打磨倒角处理，使产品达到平整度及使用要求；S9：终检包装：通过灯光和显色剂对产品进行最后检查，清洁干净后进行打包入库。2.根据权利要求1所述的一种高强高导热三层结构石英坩埚制备方法，其特征在于：所述S1中原料纯度为99.75％
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99.99％，湿度为0.1％
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0.8％。3.根据权利要求1所述的一种高强高导热三层结构石英坩埚制备方法，其特征在于：所述S2中搅拌时间为24
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48小时，隔45
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65分钟进行取样。4.根据权利要求1所述的一种高强高导热三层结构石英坩埚制备方法，其特征在于：所述S3中注浆成型温度应为23℃
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26℃同时湿度为40％
【专利技术属性】
技术研发人员：嵇亚明，
申请(专利权)人：新沂市中鑫光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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