【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及石英坩埚制备，具体为一种石英坩埚的制备方法。
技术介绍
1、公知的,石英坩埚作为拉制大直径单晶硅是一种必不可少的设备之一,目前的石英坩埚在1450度以下使用,大致分为透明和不透明两种。用电弧法制的半透明石英坩埚是拉制大直径单晶硅,发展大规模集成电路必不可少的基础材料。当今,世界半导体工业发达国家已用此坩埚取代了小的透明石英坩埚。他具有高纯度、耐温性强、尺寸大精度高、保温性好、节约能源、质量稳定等优点。
2、国内常用拉制单晶硅用石英坩埚18英寸和20英寸也有厂家使用22及以上的坩埚。目前国内坩埚生产厂家生产的18和20英寸坩埚技术都比较成熟。其生产使用原料石英砂主要由美国进口。国内产的石英砂纯度都达不到其要求。其原料里杂质在生产时高温熔制过程中产生黑点气泡等对拉制单晶硅时其稳定性都有一定影响。
3、目前坩埚生产涂层技术已被大多数厂家使用就是在普通石英砂溶制的坩埚表面涂上一层高纯度石英砂使其形成致密层,其致密层能阻止单晶硅高温拉制过程中硅与石英坩埚反应提高成晶率。
4、现有技术中，公开号为c...
【技术保护点】
1.一种石英坩埚的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的一种石英坩埚的制备方法，其特征在于，所述内模部件包括盖体(12)，所述盖体(12)的顶面固定安装有一组T形导杆a(13)，每个所述T形导杆a(13)均与升降架(11)滑动连接，每个所述T形导杆a(13)上且对应升降架(11)两侧的位置均套设有限位弹簧(14)，所述盖体(12)上固定安装有内筒体(15)，所述外筒体(6)和内筒体(15)的内部均安装有电热丝(16)，所述内筒体(15)上转动连接有内模具(17)，所述内模具(17)与外模具(7)之间设有成型模腔，所述盖体(12)的表...
【技术特征摘要】
1.一种石英坩埚的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的一种石英坩埚的制备方法，其特征在于，所述内模部件包括盖体(12)，所述盖体(12)的顶面固定安装有一组t形导杆a(13)，每个所述t形导杆a(13)均与升降架(11)滑动连接，每个所述t形导杆a(13)上且对应升降架(11)两侧的位置均套设有限位弹簧(14)，所述盖体(12)上固定安装有内筒体(15)，所述外筒体(6)和内筒体(15)的内部均安装有电热丝(16)，所述内筒体(15)上转动连接有内模具(17)，所述内模具(17)与外模具(7)之间设有成型模腔，所述盖体(12)的表面安装有第二电机(18)，所述第二电机(18)的输出轴端通过皮带与内模具(17)传动连接，所述盖体(12)上安装有辅助组件。
3.根据权利要求2所述的一种石英坩埚的制备方法，其特征在于，所述辅助组件包括安装于盖体(12)顶面的真空泵(19)，所述盖体(12)上固定连通有真空发生管(20)，所述真空泵(19)的真空发生端口与真空发生管(20)固定连通，所述真空发生管(20)上固定安装有气压探头(21)，所述盖体(12)上固定连通有与成型模腔配合的注料阀(22)，所述内筒体(15)的轴线位置固定开设有散热腔(23)，所述内筒体(15)的顶面固定安装有与散热腔(23)连通的通风阀(24)，所述散热腔(23)的内壁固定安装有轴流散热风机(26)，所述旋框(9)上安装有单片机(27)，所述气压探头(21)的数据端与单片机(27)数据连接。
4.根据权利要求3所述的一种石英坩埚的制备方法，其特征在于，所述导振模组包括与外筒体(6)固定连接的振架(28)，所述振架(28)的内壁转动连接有通过导动轴杆(3)驱动的下轴套(29)，所述下轴套(29)通过链条与外模具(7)传动连接，所述升降台(5)上转动连接有上轴套(30)和侧轴(31)，所述导动轴杆(3)上且对应下轴套(29)和上轴套(30)之间的位置套设有复位弹簧(32)，所述上轴套(30)通过导动轴杆(3)驱动，所述上轴套(30)和侧轴(31)上均安装有差速锥齿，两个所述差速锥齿相互啮合，所述侧轴(31)上固定安装有半面齿轮(33)，所述振架(28)上固定安装有与半面齿轮(33)传动连接的联动齿板(34)，所述振架(28)上固定安装有t形导...
【专利技术属性】
技术研发人员：张松，邢耀文，陈勋，高强，马亚细，
申请(专利权)人：新沂市中鑫光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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