一种下部电极组件及面板蚀刻设备制造技术

本实用新型专利技术公开一种下部电极组件及面板蚀刻设备，下部电极组件包括电极本体和陶瓷件，电极本体具有支撑面板的第一端面，且面板的一部分伸出第一端面，陶瓷件设在电极本体上，陶瓷件的一部分位于面板的下方。陶瓷件位于面板的下方的部分设有收集槽，收集槽用于收集蚀刻面板时产生的异物。在实际蚀刻生产过程中，蚀刻产生的异物能够从缝隙内进入到收集槽内，并且沉积在收集槽底部，避免了陶瓷件和面板之间的缝隙内堆积过多异物的现象发生，避免了蚀刻过程中陶瓷件和面板之间的缝隙内的异物顶起面板，使得面板朝向陶瓷件的一端翘起的现象发生，从而降低了由于面板翘起造成的蚀刻误差，降低了面板蚀刻不良率，提升了面板蚀刻质量。质量。质量。

【技术实现步骤摘要】
一种下部电极组件及面板蚀刻设备


[0001]本技术涉及面板生产
，尤其涉及一种下部电极组件及面板蚀刻设备。

技术介绍

[0002]在面板制造过程中，蚀刻是一种常用的技术手段。在生产过程中，需要将面板放置在上电极组件和下部电极组件之间，两个电极组件之间产生的离子束就能够对面板进行蚀刻。
[0003]如图1所示，现有技术中，在生产过程中，面板3
’
放置在下电极1
’
的支撑面上，面板
’
的一端延伸出下电极1
’
的支撑面并悬空在陶瓷件2
’
的上方，陶瓷件2安装在下电极1
’
上，由于面板3
’
和陶瓷件2
’
之间具有缝隙，蚀刻过程中产生的杂物可能会堆积在这个缝隙内，当杂物较多时，填满缝隙后会顶起面板3
’
，使得面板3
’
翘起，从而降低生产良率。

技术实现思路

[0004]本技术的第一个目的在于提出一种下部电极组件，该下部电极组件上设有收集杂物的收集槽，能够避免蚀刻产生的杂物堆积在面板和陶瓷件的缝隙内，避免了面板翘起的现象发生，确保了生产良率。
[0005]本技术的第二个目的在于提出一种面板蚀刻设备，该面板蚀刻设备能够较好地避免蚀刻过程中面板翘起的现象发生，提升了生产良率。
[0006]为实现上述技术效果，本技术的技术方案如下：
[0007]一种下部电极组件，包括：电极本体，所述电极本体具有支撑面板的第一端面，且所述面板的一部分伸出所述第一端面；陶瓷件，所述陶瓷件设在所述电极本体上，所述陶瓷件的一部分位于所述面板的下方；其中：所述陶瓷件位于所述面板的下方的部分设有收集槽，所述收集槽用于收集蚀刻所述面板时产生的异物。
[0008]作为下部电极组件的一种优选方案，所述陶瓷件的上表面与所述第一端面之间的距离为d1，d1满足关系式：0.3mm≤d1≤0.5mm。
[0009]作为下部电极组件的一种优选方案，所述收集槽的横截面为圆形或者多边形；和/或，所述收集槽的长度沿所述面板位于所述陶瓷件上方的端面的长度方向延伸。
[0010]作为下部电极组件的一种优选方案，所述收集槽的深度为H，H满足关系式：4mm≤H≤6mm。
[0011]作为下部电极组件的一种优选方案，所述收集槽的宽度为d2，d2满足关系式：1.2mm≤d2≤1.5mm。
[0012]作为下部电极组件的一种优选方案，所述陶瓷件位于所述面板下方的部分长度为d3，d3满足关系式：1.7≤d3≤2mm。
[0013]作为下部电极组件的一种优选方案，所述收集槽的内侧壁上设有可更换的膜层，所述膜层能够收集蚀刻所述面板时产生的异物。
[0014]作为下部电极组件的一种优选方案，所述电极本体包括支撑部和安装部，所述支撑部和所述安装部垂直设置，所述支撑部用于支撑所述面板，所述安装部用于安装所述陶瓷件。
[0015]作为下部电极组件的一种优选方案，所述陶瓷件通过连接件固定在所述安装部上。
[0016]本技术还公开了一种面板蚀刻设备，包括前文所述的下部电极组件。
[0017]本技术实施例的下部电极组件的有益效果：由于陶瓷件位于面板的下方的部分设有收集槽，收集槽用于收集蚀刻面板时产生的异物，在实际蚀刻生产过程中，蚀刻产生的异物能够从缝隙内进入到收集槽内，并且沉积在收集槽底部，避免了陶瓷件和面板之间的缝隙内堆积过多异物的现象发生，避免了蚀刻过程中陶瓷件和面板之间的缝隙内的异物顶起面板，使得面板朝向陶瓷件的一端翘起的现象发生，从而降低了由于面板翘起造成的蚀刻误差，降低了面板蚀刻不良率，提升了面板蚀刻质量。
[0018]本技术的面板蚀刻设备的有益效果，由于具有前文所述的下部电极组件，该面板蚀刻设备能够较好地避免蚀刻过程中面板翘起的现象发生，提升了生产良率。
[0019]本技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本技术的实践了解到。
附图说明
[0020]图1是现有技术中的下部电极组件的结构示意图；
[0021]图2是本技术实施例的下部电极组件的结构示意图。
[0022]附图标记：
[0023]图1中：
[0024]1’
、下电极；2
’
、陶瓷件；3
’
、面板；
[0025]图2中：
[0026]1、电极本体；11、安装部；12、支撑部；
[0027]2、陶瓷件；21、收集槽；22、膜层；
[0028]3、面板。
具体实施方式
[0029]参考下面结合附图详细描述的实施例，本技术的优点和特征以及实现它们的方法将变得显而易见。然而，本技术不限于以下公开的实施例，而是可以以各种不同的形式来实现，提供本实施例仅仅是为了完成本技术的公开并且使本领域技术人员充分地了解本技术的范围，并且本技术仅由权利要求的范围限定。相同的附图标记在整个说明书中表示相同的构成要素。
[0030]以下，参照附图2来详细描述本技术的下部电极组件的具体结构。
[0031]本技术公开了一种下部电极组件，如图2所示，该下部电极组件包括电极本体1和陶瓷件2，电极本体1具有支撑面板3的第一端面，且面板3的一部分伸出第一端面，陶瓷件2设在电极本体1上，陶瓷件2的一部分位于面板3的下方。陶瓷件2位于面板3的下方的部分设有收集槽21，收集槽21用于收集蚀刻面板3时产生的异物。可以理解的是，在实际蚀刻
生产过程中，陶瓷件2和面板3之间具有缝隙，在缝隙的一端设置有收集槽21，蚀刻产生的异物能够从缝隙内进入到收集槽21内，并且沉积在收集槽21底部。由此，避免了陶瓷件2和面板3之间的缝隙内堆积过多异物的现象发生，避免了蚀刻过程中陶瓷件2和面板3之间的缝隙内的异物顶起面板3，使得面板3朝向陶瓷件2的一端翘起的现象发生，从而降低了由于面板3翘起造成的蚀刻误差，降低了面板3蚀刻不良率，提升了面板3蚀刻质量。
[0032]在一些实施例中，陶瓷件2的上表面与第一端面之间的距离为d1，d1满足关系式：0.3mm≤d1≤0.5mm。可以理解的是，陶瓷件2的上表面与第一端面的距离越小越不利于杂物穿过陶瓷件2与面板3之间的缝隙，也就是说，陶瓷件2的上表面与第一面板3的距离越小，越容易出现杂物堆积在陶瓷件2和面板3之间的缝隙内的现象。而陶瓷件2的上表面和第一端面的距离过远会导致面板3伸出下电极的一端容易出现下垂的现象，从而导致整个面板3朝向陶瓷件2倾斜。在本实施例中，将陶瓷件2的上表面与第一端面之间的距离控制在0.3mm
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0.5mm之间，一方面能够方便杂物穿过陶瓷件2与面板3之间的缝隙，避免杂物堆积在陶瓷件2和面板3之间的缝隙内的现象发生，另一方面避免面板3伸出下电极的一端容易出现下垂导致面板3本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种下部电极组件，其特征在于，包括：电极本体，所述电极本体具有支撑面板的第一端面，且所述面板的一部分伸出所述第一端面；陶瓷件，所述陶瓷件设在所述电极本体上，所述陶瓷件的一部分位于所述面板的下方；其中：所述陶瓷件位于所述面板的下方的部分设有收集槽，所述收集槽用于收集蚀刻所述面板时产生的异物。2.根据权利要求1所述的下部电极组件，其特征在于，所述陶瓷件的上表面与所述第一端面之间的距离为d1，d1满足关系式：0.3mm≤d1≤0.5mm。3.根据权利要求1所述的下部电极组件，其特征在于，所述收集槽的横截面为圆形或者多边形；和/或，所述收集槽的长度沿所述面板位于所述陶瓷件上方的端面的长度方向延伸。4.根据权利要求1所述的下部电极组件，其特征在于，所述收集槽的深度为H，H满足关系式：4mm≤H≤6mm。5.根据权利要求1所述的下部电极...

【专利技术属性】
技术研发人员：黎志恒，
申请(专利权)人：乐金显示光电科技中国有限公司，
类型：新型
国别省市：