一种砷化镓基LED的管芯结构的制作方法技术

本发明专利技术涉及一种砷化镓基LED的管芯结构的制作方法，包括：(1)在砷化镓衬底上依次生长外延层、电流扩展层；(2)N面金属电极制作；(3)P面金属膜层制作；(4)管芯切割；(5)P面金属电极图形制作：将粘性膜贴附在LED晶片正面，并将粘性膜撕掉，从而剥离掉P面电极表面的切割碎屑；再将粘性膜贴附在LED晶片正面，第二次将粘性膜撕掉，从而剥离掉LED晶片正面除P面金属电极图形区域外其它金属，得到完整的P面金属电极图形；(6)去胶清洗。本发明专利技术提供制作方法简单、易操作，整个管芯的制作效率提升10％以上，不使用切割保护液，同时降低了电极剥离过程中有机溶剂和去胶液的使用，节约材料成本30％以上。节约材料成本30％以上。节约材料成本30％以上。

【技术实现步骤摘要】
一种砷化镓基LED的管芯结构的制作方法


[0001]本专利技术涉及一种砷化镓基LED的管芯结构的制作方法，属于半导体加工


技术介绍

[0002]LED(Light Emitting Diode)，发光二极管，和普通二极管一样，均是由P-N节组成，它能够将电能转换为光能，从而进行发光。LED被称为第四代照明光源或绿色光源，具有节能、环保、寿命长、体积小等特点，广泛应用于各种指示、显示、装饰、背光源、普通照明和城市夜景等领域。根据使用功能的不同，可以将其划分为信息显示、信号灯、车用灯具、液晶屏背光源、通用照明五大类。
[0003]砷化镓基LED管芯结构的制作通常按照如下工艺进行，衬底表面生长外延结构，外延层上生长电流扩展层，电流扩展层上制作P电极，对衬底进行减薄处理，衬底背面生长N面电极结构，通过在发光区涂覆切割保护液，将整个晶片切割成单个管芯，整个制作过程完成。
[0004]LED金属电极的制作，最常用的工艺方法主要有两种。一种是湿法腐蚀制作出金属电极图形，该方法首先在晶片表面制作出整个构成电极的金属膜层，然后在金属膜层本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种砷化镓基LED的管芯结构的制作方法，其特征在于，包括：(1)LED管芯前期制作：在砷化镓衬底上依次生长外延层、电流扩展层，并将衬底的背面进行减薄；(2)N面金属电极制作：通过蒸镀或者溅射的方法在衬底的背面制作N面金属电极；(3)P面金属膜层制作：使用负性光刻胶在步骤(2)制备的LED晶片正面制作出电极掩膜图形；再通过蒸镀或者溅射的方法，在电极掩膜图形表面制作整面P面金属膜层，且不进行剥离操作；(4)管芯切割：将粘性膜贴附LED晶片背面上，从LED晶片正面进行切割，将LED晶片切割成单个管芯；(5)P面金属电极图形制作：将粘性膜贴附在LED晶片正面，第一次将粘性膜撕掉，从而剥离掉P面金属膜层表面的切割碎屑；再将粘性膜贴附在LED晶片正面，第二次将粘性膜撕掉，从而剥离掉LED晶片正面除P面金属电极图形区域外其它金属，得到完整的P面金属电极图形；(6)去胶清洗：使用去胶液清洗LED晶片正面残留的光刻胶，再将LED晶片放入清洗机中清洗。2.根据权利要求1所述的一种砷化镓基LED的管芯结构的制作方法，其特征在于，步骤(5)中，第一次撕掉粘贴膜的力度小于第二次撕掉粘贴膜的力度，且第二次撕掉粘贴膜的力度小于将粘性膜从LED晶片背面撕掉的力度。3.根据权利要求1所述的一种砷化镓基LED的管芯结构的制作方法，其特征在于，步骤(4)和步骤(5)中使用的粘性膜为蓝膜或者白膜；进一步优选的，蓝膜的型号为S...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐晓强，程昌辉，吴向龙，闫宝华，徐现刚，
申请(专利权)人：山东浪潮华光光电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：