下载一种砷化镓基LED的管芯结构的制作方法的技术资料

文档序号:32650969

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本发明涉及一种砷化镓基LED的管芯结构的制作方法,包括:(1)在砷化镓衬底上依次生长外延层、电流扩展层;(2)N面金属电极制作;(3)P面金属膜层制作;(4)管芯切割;(5)P面金属电极图形制作:将粘性膜贴附在LED晶片正面,并将粘性膜撕掉...
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