取棒车制造技术

技术编号:32579057 阅读:14 留言:0更新日期:2022-03-09 17:09
本实用新型专利技术提供了一种取棒车。取棒车包括:底座;以及夹紧结构,夹紧结构设在底座上,且夹紧结构在竖直平面内可转动地设置;其中,夹紧结构包括固定夹和活动夹,固定夹和活动夹限定出用于放置晶棒的夹持腔,活动夹相对于固定夹可移动地设置,以调节夹持腔的大小。本实用新型专利技术的技术方案中,取棒车能够取多种规格的晶棒,降低设备投资成本。降低设备投资成本。降低设备投资成本。

【技术实现步骤摘要】
取棒车


[0001]本技术涉及工装
,具体而言,涉及一种取棒车。

技术介绍

[0002]现有的取棒工装或小车,只能取一种规格的晶棒,如果需要取多种规格的晶棒,则需要配备多辆取棒工装或小车,设备投资成本较高。

技术实现思路

[0003]本技术的主要目的在于提供一种取棒车,能够取多种规格的晶棒,降低设备投资成本。
[0004]为了实现上述目的,本技术提供了一种取棒车,包括:底座;以及夹紧结构,夹紧结构设在底座上,且夹紧结构在竖直平面内可转动地设置;其中,夹紧结构包括固定夹和活动夹,固定夹和活动夹限定出用于放置晶棒的夹持腔,活动夹相对于固定夹可移动地设置,以调节夹持腔的大小。
[0005]进一步地,取棒车还包括:驱动组件,驱动组件固定在固定夹上,驱动组件的输出端与活动夹连接,以驱动活动夹相对于固定夹移动。
[0006]进一步地,驱动组件包括第一驱动机构和第一传动机构,第一传动机构的输入端与第一驱动机构的输出端连接,第一传动机构的输出端与活动夹连接。
[0007]进一步地,第一驱动机构为驱动电机,第一传动机构为滚珠丝杠,滚珠丝杠包括螺杆和滑块,螺杆可转动地设置在固定夹上,滑块固定在活动夹上,滑块设置在螺杆的外周并与螺杆螺纹配合,驱动电机与螺杆驱动连接,以将螺杆和滑块之间的旋转运动转化为滑块的直线运动。
[0008]进一步地,夹紧结构还包括第一卡块,第一卡块设置在活动夹上,滑块上设有卡槽,第一卡块卡设在卡槽内;或者,夹紧结构还包括第一卡块,第一卡块设置在活动夹上,滑块限定出卡槽和螺纹孔,螺纹孔与卡槽连通,至少部分第一卡块位于卡槽内,取棒车还包括压紧件,压紧件穿设在螺纹孔内并与螺纹孔螺纹配合,压紧件的一端伸入卡槽内并与第一卡块的外壁面抵接。
[0009]进一步地,取棒车还包括第一导向结构,第一导向结构用于对活动夹相对于固定夹的移动进行导向。
[0010]进一步地,第一导向结构包括固定部和活动部,固定部设置在固定夹上,活动部设置在活动夹上,且固定部与活动部滑动配合。
[0011]进一步地,固定夹包括:限位部,沿竖直方向延伸;支撑部,可拆卸地安装在限位部的底部,支撑部上设有用于避让晶棒的端部的长条孔。
[0012]进一步地,取棒车还包括设置在活动夹上的第一衬板,第一衬板位于活动夹的朝向夹持腔的一侧,在第一衬板的宽度方向上,第一衬板的至少一侧凸出于活动夹。
[0013]进一步地,取棒车还包括第二驱动机构和第二传动机构,第二驱动机构和第二传
动机构均固定在底座上,第二驱动机构的输出端与第二传动机构的输入端连接,第二传动机构的输出端与夹紧结构驱动连接,以驱动夹紧结构相对于底座上下移动。
[0014]应用本技术的技术方案,固定夹和活动夹共同作用将晶棒夹持在夹持腔中,由于在垂直于夹持腔的轴线的方向上,活动夹相对于固定夹可移动,因此,可以通过移动活动夹对夹持腔的大小进行调节,从而使固定夹和活动夹可以将不同规格的晶棒夹持在夹持腔中,进而使取棒车能够取多种规格的晶棒,通过本申请的技术方案,仅需配备一辆取棒车,即可实现取多种规格的晶棒的目的,能够降低设备投资成本。
附图说明
[0015]构成本申请的一部分的说明书附图用来提供对本技术的进一步理解,本技术的示意性实施例及其说明用于解释本技术,并不构成对本技术的不当限定。在附图中:
[0016]图1示出了根据本技术的取棒车的实施例的一个角度的立体结构示意图;
[0017]图2示出了图1的取棒车的另一个角度的立体结构示意图;
[0018]图3示出了图2的取棒车的俯视图;
[0019]图4示出了图3的取棒车的部分结构示意图;
[0020]图5示出了图1的取棒车的侧视图;
[0021]图6示出了图5的A处的局部放大图;以及
[0022]图7示出了图1的取棒车的夹紧结构的部分结构和第一衬板的结构示意图。
[0023]其中,上述附图包括以下附图标记:
[0024]10、底座;
[0025]11、板体;12、架体;13、避让空间;
[0026]20、夹紧结构;
[0027]21、固定夹;22、活动夹;221、夹持段;23、夹持腔;24、活动主体;25、第一卡块;27、限位部;271、卡槽;28、支撑部;281、长条孔;282、第二卡块;29、转辊;
[0028]30、第一驱动机构;
[0029]40、第一传动机构;
[0030]41、螺杆;42、滑块;
[0031]50、第一导向结构;
[0032]51、固定部;52、活动部;
[0033]60、压紧件;
[0034]70、第一衬板;
[0035]71、衬板段;
[0036]80、第二驱动机构;
[0037]90、第二导向结构;
[0038]91、导向凹槽;92、滑动件;
[0039]110、第三传动机构;
[0040]120、行走部;
[0041]130、第一安装支架;
[0042]140、第二安装支架;
[0043]150、第三安装支架;
[0044]160、第四安装支架;
[0045]170、把手;
[0046]180、罩体;
[0047]190、链轮;
[0048]200、驱动组件。
具体实施方式
[0049]需要说明的是,在不冲突的情况下,本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本技术。
[0050]需要指出的是,除非另有指明,本申请使用的所有技术和科学术语具有与本申请所属
的普通技术人员通常理解的相同含义。
[0051]在本技术中,在未作相反说明的情况下,使用的方位词如“上、下、顶、底”通常是针对附图所示的方向而言的,或者是针对部件本身在竖直、垂直或重力方向上而言的;同样地,为便于理解和描述,“内、外”是指相对于各部件本身的轮廓的内、外,但上述方位词并不用于限制本技术。
[0052]单晶炉在完成拉制晶棒的任务后,需要把晶棒从单晶炉的副室内取出。首先要旋转副室到取棒位置,然后将晶棒下降到其上部的籽晶露出副室的下法兰,再剪断晶棒的籽晶部分,在下面放置合适的工装接住晶棒,工装带着晶棒移走,即完成取棒工作。
[0053]现有的晶棒规格基本有两种即8吋和12吋。相应的取棒工装或小车也有两种,即取8吋或12吋晶棒,很少有能取两种规格晶棒的取棒工装或小车。
[0054]也就是说,现有的取棒工装或小车,只能取一种规格的晶棒,即尺寸为8吋或12吋的晶棒。如果需要取多种规格的晶棒,则需要配备多辆取棒工装或小车,设备投资成本较高,并且难以适应拉晶工厂实际的生产需求。
[0055]为了解决上述问题,本技术及本技术的技术方案提供了一种取棒车。
[本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种取棒车,其特征在于,包括:底座(10);以及夹紧结构(20),所述夹紧结构(20)设在所述底座(10)上,且所述夹紧结构(20)在竖直平面内可转动地设置;其中,所述夹紧结构(20)包括固定夹(21)和活动夹(22),所述固定夹(21)和所述活动夹(22)限定出用于放置晶棒的夹持腔(23),所述活动夹(22)相对于所述固定夹(21)可移动地设置,以调节所述夹持腔(23)的大小。2.根据权利要求1所述的取棒车,其特征在于,所述取棒车还包括:驱动组件(200),所述驱动组件(200)固定在所述固定夹(21)上,所述驱动组件(200)的输出端与所述活动夹(22)连接,以驱动所述活动夹(22)相对于所述固定夹(21)移动。3.根据权利要求2所述的取棒车,其特征在于,所述驱动组件(200)包括第一驱动机构(30)和第一传动机构(40),所述第一传动机构(40)的输入端与所述第一驱动机构(30)的输出端连接,所述第一传动机构(40)的输出端与所述活动夹(22)连接。4.根据权利要求3所述的取棒车,其特征在于,所述第一驱动机构(30)为驱动电机,所述第一传动机构(40)为滚珠丝杠,所述滚珠丝杠包括螺杆(41)和滑块(42),所述螺杆(41)可转动地设置在所述固定夹(21)上,所述滑块(42)固定在所述活动夹(22)上,所述滑块(42)设置在所述螺杆(41)的外周并与所述螺杆(41)螺纹配合,所述驱动电机与所述螺杆(41)驱动连接,以将所述螺杆(41)和所述滑块(42)之间的旋转运动转化为所述滑块(42)的直线运动。5.根据权利要求4所述的取棒车,其特征在于,所述夹紧结构(20)还包括第一卡块(25),所述第一卡块(25)设置在所述活动夹(22)上,所述滑块(42)上设有卡槽,所述第一卡块(25)卡设在所述卡槽内;或者,所述夹紧结构(20)还包括第一卡块(25),所述第一卡块(25)设置在所述活动夹...

【专利技术属性】
技术研发人员:张龙飞
申请(专利权)人:徐州鑫晶半导体科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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