一种LED晶圆的分选方法技术

本申请公开了一种LED晶圆的分选方法，包括：将LED晶圆分成若干个区块，所述区块上的LED晶粒分为保留晶粒和抓取晶粒，所述保留晶粒的光电性能和晶粒数量符合预设要求，所述抓取晶粒的光电性能和晶粒数量不符合预设要求，其中，所述保留晶粒的晶粒数量比所述抓取晶粒的晶粒数量多，同一个区块上的保留晶粒的光电性能在同一个等级，不同区块上的保留晶粒的光电性能在不同的等级；去除所述区块上的抓取晶粒；将所述区块上的保留晶粒转移形成成品方片。本申请的分选效率高，成本低，适用于大批量生成。生成。生成。

【技术实现步骤摘要】
一种LED晶圆的分选方法


[0001]本申请涉及发光二极管
，尤其涉及一种LED晶圆的分选方法。

技术介绍

[0002]LED晶圆在完成电性、光学特性测试后，分选设备根据待分选晶粒的等级来将LED晶圆上的晶粒一粒一粒地抓取至新的蓝膜上。具体的，待分选晶粒也是放置在蓝膜上的，分选设备在分选时，需要顶针将蓝膜上的待分选晶粒顶起来，然后通过抓取机构将待分选晶粒抓取至新的蓝膜上。其中，顶针每次只顶一颗晶粒。
[0003]但随着晶粒的尺寸越来越少，一般晶圆上的晶粒数量可高达150000颗，分选设备需要6
‑
7小时来完成分选，不利于大批量作业。
[0004]此外，由于相同尺寸晶圆上的晶粒数量变多，分选设备的顶针的顶起次数也增多，因此容易导致蓝膜被顶变形，而抓取机构则容易抓错晶粒。

技术实现思路

[0005]本申请所要解决的技术问题在于，提供一种LED晶圆的分选方法，分选效率高，成本低，适用于大批量生成。
[0006]本申请所要解决的技术问题在于，提供一种LED晶圆的分选方法，分选精度高，有效解决漏抓、错抓的问题。
[0007]本申请还要解决的技术问题在于，提供一种LED晶圆的分选方法，包括：
[0008]将LED晶圆分成若干个区块，所述区块上的LED晶粒分为保留晶粒和抓取晶粒，所述保留晶粒的光电性能和晶粒数量符合预设要求，所述抓取晶粒的光电性能和晶粒数量不符合预设要求，其中，所述保留晶粒的晶粒数量比所述抓取晶粒的晶粒数量多，同一个区块上的保留晶粒的光电性能在同一个等级，不同区块上的保留晶粒的光电性能在不同的等级；
[0009]去除所述区块上的抓取晶粒；
[0010]将所述区块上的保留晶粒转移，以形成成品方片。
[0011]作为上述方案的改进，将LED晶圆分成若干个区块的方法包括：
[0012]对所述LED晶圆上完成光电测试的LED晶粒进行分级，得到分选文档；
[0013]获取LED晶粒的位置信息；
[0014]根据所述分选文档和位置信息将所述LED晶圆进行分区以形成所述区块。
[0015]作为上述方案的改进，所述分选文档包括光电参数信息、等级分类信息和分选等级信息，所述光电参数信息至少包括LED晶粒的波长参数、电压参数和亮度参数，所述等级分类信息包括等级的数量和每个等级对应的LED晶粒数量；其中，
[0016]光电参数信息在同一个预设范围的LED晶粒分为同一个等级，所述LED晶粒有多个等级，不同等级的LED晶粒的光电参数信息在不同的预设范围；
[0017]同一个等级的LED晶粒的数量为若干颗。
[0018]作为上述方案的改进，根据LED晶粒的数量从多个等级中选出若干个保留等级，其中，为所述保留等级的LED晶粒的数量达到预设值，所述区块的数量等于保留等级的数量。
[0019]作为上述方案的改进，每个区块上只有一个保留等级，所述保留等级对应的LED晶粒为保留晶粒，其余的LED晶粒为抓取晶粒。
[0020]作为上述方案的改进，所述分选等级信息包括分BIN信息，其中，将保留等级的LED晶粒设置为151BIN或以上，将其他LED晶粒设置为1～150BIN中的任意一个或几个。
[0021]作为上述方案的改进，根据XY轴坐标设置所述LED晶粒的位置，以获得所述LED晶粒的位置信息。
[0022]作为上述方案的改进，去除所述区块上的抓取晶粒的方法包括：
[0023]通过分选设备将所述抓取晶粒抓取出来。
[0024]作为上述方案的改进，去除所述区块上的抓取晶粒后，将所述区块上的保留晶粒翻膜到基材上，以形成所述成品方片。
[0025]作为上述方案的改进，所述成品方片上的LED晶粒属于同一个等级。
[0026]实施本申请，具有如下有益效果：
[0027]本申请改变传统的分选方法，根据LED晶粒的光电性能和晶粒数量将LED晶圆分成若干个区块，将每个区块上光电性能不符合要求以及数量少的抓取晶粒挑走，将光电性能和数量多的保留晶粒保留下来，与一颗一颗将光电参数符合要求的LED晶粒抓取至新蓝膜上的方法相比，本申请分区后的保留晶粒可以直接转移至不同的蓝膜以形成成品方片，不需要抓取机构抓取排列至新蓝膜上，有效减少分选设备的抓取次数，提高分选效率。
[0028]本申请的分选方法是一种全新的分选方法，将一张LED晶圆分成若干份，可以同时将多种等级的LED晶粒作为保留晶粒保留下来，进一步提高分选效率和降低成本。
[0029]本申请将数量多的LED晶粒保留下来，抓取数量少的LED晶粒至新的蓝膜上，这样可以减少顶针的顶起次数，提高抓取机构的抓取精度，从而提高分选精度，解决漏抓、错抓的问题。
[0030]本申请的分选逻辑可以实现多种出货需求，实现快速流水，达到少分选设备，高产出的要求。
附图说明
[0031]图1是本申请实施例中LED晶圆的结构示意图；
[0032]图2是本申请实施例中LED晶圆的第一种区块划分示意图；
[0033]图3是本申请实施例中LED晶圆的第二种区块划分示意图；
[0034]图4是图2中的区块去除抓取晶粒后的示意图；
[0035]图5是图3中的区块去除抓取晶粒后的示意图。
具体实施方式
[0036]为使本申请的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本申请作进一步地详细描述。
[0037]本申请提供的一种LED晶圆的分选方法，包括以下步骤：
[0038]S1、将LED晶圆分成若干个区块，所述区块上的LED晶粒分为保留晶粒和抓取晶粒，
所述保留晶粒的光电性能和晶粒数量符合预设要求，所述抓取晶粒的光电性能和晶粒数量不符合预设要求，其中，所述保留晶粒的晶粒数量比所述抓取晶粒的晶粒数量多，同一个区块上的保留晶粒的光电性能在同一个等级，不同区块上的保留晶粒的光电性能在不同的等级；
[0039]具体的，将LED晶圆分成若干个区块的方法，包括以下步骤：
[0040]S11、对所述LED晶圆上完成光电测试的LED晶粒进行分级，得到分选文档；
[0041]所述分选文档包括光电参数信息、等级分类信息和分选等级信息，所述光电参数信息至少包括LED晶粒的波长参数、电压参数和亮度参数，所述等级分类信息包括等级的数量和每个等级对应的LED晶粒数量；其中，光电参数信息在同一个预设范围的LED晶粒分为同一个等级，所述LED晶粒有多个等级，不同等级的LED晶粒的光电参数信息在不同的预设范围；同一个等级的LED晶粒的数量为若干颗。
[0042]根据LED晶粒的数量从多个等级中选出若干个保留等级，其中，为所述保留等级的LED晶粒的数量达到预设值，所述区块的数量等于保留等级的数量。
[0043]具体的，每个区块上只有一个保留等级，所述保留等级对应的LED晶粒为保留晶粒，其余的LED晶粒为抓取晶粒。
[0044]所述分选等级信息包括分本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种LED晶圆的分选方法，其特征在于，包括：将LED晶圆分成若干个区块，所述区块上的LED晶粒分为保留晶粒和抓取晶粒，所述保留晶粒的光电性能和晶粒数量符合预设要求，所述抓取晶粒的光电性能和晶粒数量不符合预设要求，其中，所述保留晶粒的晶粒数量比所述抓取晶粒的晶粒数量多，同一个区块上的保留晶粒的光电性能在同一个等级，不同区块上的保留晶粒的光电性能在不同的等级；去除所述区块上的抓取晶粒；将所述区块上的保留晶粒转移，以形成成品方片。2.如权利要求1所述的LED晶圆的分选方法，其特征在于，将LED晶圆分成若干个区块的方法包括：对所述LED晶圆上完成光电测试的LED晶粒进行分级，得到分选文档；获取LED晶粒的位置信息；根据所述分选文档和位置信息将所述LED晶圆进行分区以形成所述区块。3.如权利要求2所述的LED晶圆的分选方法，其特征在于，所述分选文档包括光电参数信息、等级分类信息和分选等级信息，所述光电参数信息至少包括LED晶粒的波长参数、电压参数和亮度参数，所述等级分类信息包括等级的数量和每个等级对应的LED晶粒数量；其中，光电参数信息在同一个预设范围的LED晶粒分为同一个等级，所述LED晶粒有多个等级，不同等级的LED晶粒的光电参数信息在不同的预设范围；同一个等级的LE...

【专利技术属性】
技术研发人员：黎银英，邝浩彬，陈桂飞，陆绍坚，
申请(专利权)人：佛山市国星半导体技术有限公司，
类型：发明
国别省市：