一种用于质谱仪器在高真空环境下进出舱取放靶板的装置制造方法及图纸

技术编号:32555840 阅读:20 留言:0更新日期:2022-03-05 11:57
一种用于质谱仪器在高真空环境下进出舱取放靶板的装置,包括外设有真空泵的主腔体、波纹管、密封盖板、靶托机构、压管机构、泄压触发机构,波纹管一端套设于主腔体顶部开口内,另一端外露于主腔体,密封盖板用于密封波纹管另一端开口,靶托机构位于波纹管下方用于承托靶板,压管机构用于下压波纹管下端管压口使其与靶托机构紧密贴合;泄压触发机构包括分别设置于靶托机构上和靶托机构退到出舱位置上的一对常开触点,波纹管外露于主腔体一端设有泄压开关,泄压开关连通一泄压口,常开触点闭合触发泄压开关打开。相比现有技术,该装置可实现快速取放样品靶,结构简单、可靠和耐用,安装方便、密封性好。密封性好。密封性好。

【技术实现步骤摘要】
一种用于质谱仪器在高真空环境下进出舱取放靶板的装置


[0001]本技术涉及质谱检测
,尤其涉及一种用于质谱仪器在高真空环境下进出舱取放靶板的装置。

技术介绍

[0002]基质辅助激光解吸飞行时间质谱样品的离子化过程和样品的质谱检测过程都是在高真空的环境中进行的。将常温常压环境下的样品传递至真空系统和实现多通量样品的测试均需要一个可靠的传递机构和精确的定位移动机构来保证。在样品的传递过程中还要保证真空系统不能被破坏,所以样品靶的进出结构在该类仪器显得尤其重要。为实现基质辅助激光解析飞行时间质谱仪样品的传递和测试,目前已有很多类型的样品靶的进出结构,大部分都采用装有样品靶的靶槽经多级连杆机构传递来实现。该多连杆传递机构,结构复杂,因空间的原因连杆机构基本都采用铆接方式,装配困难,对人员要求高,且质量不一致,容易出现卡涩、铆接脱落等故障;造价昂贵;还有因装样品靶的靶槽在仪器的内部是处于没有固定连接的状态,在仪器的运输、搬运过程中可能发生靶槽脱落,从而造成故障。

技术实现思路

[0003]本技术旨在克服现有技术的不足,提供一种用于质谱仪器在高真空环境下进出舱取放靶板的装置。
[0004]为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:
[0005]一种用于质谱仪器在高真空环境下进出舱取放靶板的装置,包括外设有真空泵的主腔体、波纹管、密封盖板、靶托机构、压管机构、泄压触发机构,所述波纹管一端套设于所述主腔体顶部开口内,另一端外露于所述主腔体,所述密封盖板用于密封所述波纹管另一端开口,所述靶托机构位于所述波纹管下方用于承托靶板,所述压管机构用于下压所述波纹管下端管压口使其与所述靶托机构紧密贴合;所述泄压触发机构包括分别设置于所述靶托机构上和靶托机构退到出舱位置上的一对常开触点,所述波纹管外露于所述主腔体一端设有泄压开关,所述泄压开关连通一泄压口,所述常开触点闭合触发所述泄压开关打开。
[0006]进一步,所述波纹管下端管压口与所述主腔体内顶壁之间连接一弹性件。
[0007]进一步,所述压管机构包括固定轴、压杆、推杆,所述压杆和推杆传动连接并可绕所述固定轴转动,所述压杆一端抵接所述波纹管下端管压口,所述推杆一端位于所述靶托机构退到出舱位置的一侧。
[0008]进一步,所述压杆与推杆呈一预设夹角设置,所述预设夹角大于0
°
,小于180
°

[0009]进一步,所述预设夹角为100
°‑
120
°

[0010]进一步,所述密封盖板与所述波纹管上端管口之间、所述波纹管上端管口与所述主腔体顶部开口之间、所述波纹管下端管压口与所述靶托机构之间均设有密封圈进行密封。
[0011]进一步,所述所述靶托机构退到出舱位置的一端设有触点机构,所述一对常开触
点分别位于所述触点机构端面和主腔体内壁的对应位置上,所述靶托机构移动使触点机构推动推杆,同时压杆下压波纹管下端管压口,靶托机构继续移动到出舱位置,常开触点闭合触发泄压开关开启。
[0012]进一步,所述泄压开关为电磁阀感应开关。
[0013]进一步,所述波纹管材质为不锈钢,所述密封圈材质为全氟橡胶或耐高温氟橡胶。
[0014]本技术的有益效果:
[0015]本技术提供一种用于质谱仪器在高真空环境下进出舱取放靶板的装置,可实现快速取放样品靶,结构简单、可靠和耐用,安装方便、密封性好。
附图说明
[0016]图1为本技术一实施例的一种用于质谱仪器在高真空环境下进出舱取放靶板的装置的结构示意图。
[0017]图2为本技术另一实施例的一种用于质谱仪器在高真空环境下进出舱取放靶板的装置的局部结构示意图。
[0018]本技术目的的实现、功能特点及优点将结合实施例,参照附图做进一步说明。
具体实施方式
[0019]为使本技术实施方式的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合本技术实施方式中的附图,对本技术实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施方式是本技术一部分实施方式,而不是全部的实施方式。基于本技术中的实施方式,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式,都属于本技术保护的范围。因此,以下对在附图中提供的本技术的实施方式的详细描述并非旨在限制要求保护的本技术的范围,而是仅仅表示本技术的选定实施方式。基于本技术中的实施方式,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式,都属于本技术保护的范围。
[0020]在技术的描述中,需要说明的是,术语“上”、“下”、“内”、“外”、“前端”、“后端”、“两端”、“一端”、“另一端”、“一面”、“另一面”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本技术和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本技术的限制。此外,术语“第一”、“第二”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0021]在技术的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“设置”、“连接”等,应做广义理解,例如“连接”,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接连接,也可以是通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况具体理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0022]以下结合实施例详细阐述本技术的内容。
[0023]实施例1
[0024]请参阅图1,根据本技术的一种具体实施方式,提供一种用于质谱仪器在高真
空环境下进出舱取放靶板的装置,包括外设有真空泵的主腔体1、波纹管2、密封盖板3、靶托机构4、压管机构5、泄压触发机构6。所述波纹管2一端套设于所述主腔体1顶部开口内,另一端外露于所述主腔体1。所述密封盖板3用于密封所述波纹管另一端开口,所述靶托机构4位于所述波纹管2下方用于承托靶板7,所述压管机构5用于在需要出舱取出靶板的情况下压所述波纹管2下端管压口21使其与所述靶托机构4紧密贴合,实现与真空空间隔离。所述泄压触发机构6包括分别设置于所述靶托机构4上和靶托机构4退到出舱位置上的一对常开触点801和802,所述波纹管2外露于所述主腔体1一端设置有泄压开关8,所述泄压开关8连通一泄压口803,所述常开触点801和802闭合触发所述泄压开关8打开。具体的,靶托机构4可以在二维平面移动机构的驱动下在二维平面内移动。二维平面移动机构具体的可以是电机驱动丝杆转动,带动靶托机构4移动的驱动机构。所述波纹管2下端管压口21与所述主腔体1内顶壁之间连接一弹性件9。具体的,弹性件9可以是弹簧,用于使波纹管2复位。所述密封盖板3与所述波纹管2上端管口之间、所述波纹管2上端管口与所述主腔体1顶部开本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于质谱仪器在高真空环境下进出舱取放靶板的装置,其特征在于,包括外设有真空泵的主腔体、波纹管、密封盖板、靶托机构、压管机构、泄压触发机构,所述波纹管一端套设于所述主腔体顶部开口内,另一端外露于所述主腔体,所述密封盖板用于密封所述波纹管另一端开口,所述靶托机构位于所述波纹管下方用于承托靶板,所述压管机构用于下压所述波纹管下端管压口使其与所述靶托机构紧密贴合;所述泄压触发机构包括分别设置于所述靶托机构上和靶托机构退到出舱位置上的一对常开触点,所述波纹管外露于所述主腔体一端设有泄压开关,所述泄压开关连通一泄压口,所述常开触点闭合触发所述泄压开关打开。2.根据权利要求1所述的一种用于质谱仪器在高真空环境下进出舱取放靶板的装置,其特征在于,所述波纹管下端管压口与所述主腔体内顶壁之间连接一弹性件。3.根据权利要求2所述的一种用于质谱仪器在高真空环境下进出舱取放靶板的装置,其特征在于,所述压管机构包括固定轴、压杆、推杆,所述压杆和推杆传动连接并可绕所述固定轴转动,所述压杆一端抵接所述波纹管下端管压口,所述推杆一端位于所述靶托机构退到出舱位置的一侧。4.根据权利要求3所述的一种用于质谱仪器在高真空环境下进出舱取放靶板的装置,其特征在于,所述压杆与推杆呈一预设夹角设置,所述预设夹角大...

【专利技术属性】
技术研发人员:沈杰晖刘兰黄昊
申请(专利权)人:厦门金诺花生物技术有限公司
类型:新型
国别省市:

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