一种半导体级超高纯度气体输送用不锈钢管吹扫工装制造技术

本实用新型专利技术公开了一种半导体级超高纯度气体输送用不锈钢管吹扫工装，包括固定筒、固定环、弹性环、吹气管、输气管、通气管、主密封盖、辅助密封盖、气体输送装置，所述固定筒的内壁上设有两个固定环，不锈钢管穿过两个固定环，不锈钢管的两端超出固定筒的两端，所述固定环的内壁上固定有弹性环，两个弹性环套住不锈钢管，所述固定筒的侧壁上设有一根通气管，通气管与固定筒内部相连通，通气管位于两个固定环之间，固定环上设有若干个贯穿固定环两端的通气孔。本实用新型专利技术通过将主密封盖、第一辅助密封盖相配合，使得不锈钢管吹扫完成后可及时与外界隔离，不易造成二次污染。不易造成二次污染。不易造成二次污染。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体级超高纯度气体输送用不锈钢管吹扫工装


[0001]本技术涉及不锈钢管的
，特别是吹扫工装的


技术介绍

[0002]在现代半导体工业中，芯片特征线宽已经达到了纳米级别。因此半导体工业的工艺气体输送必须使用具备超高纯净度的316L不锈钢管。钢管内壁必须经过高质量的电解抛光，内表面粗糙度须达到Ra 0.25微米甚至更低，否则极微量的颗粒或者不纯物质污染即可造成芯片的良率大幅下降。在电解抛光完成后需要经过冲洗和吹扫。现有的吹扫工装在吹扫完成后不锈钢管仍然处于暴露状态，容易造成二次污染。

技术实现思路

[0003]本技术的目的就是解决现有技术中的问题，提出一种半导体级超高纯度气体输送用不锈钢管吹扫工装，能够使不锈钢管吹扫完成后可及时的与外界隔离，避免了二次污染。
[0004]为实现上述目的，本技术提出了一种半导体级超高纯度气体输送用不锈钢管吹扫工装，包括固定筒、固定环、弹性环、吹气管、输气管、通气管、主密封盖、第一辅助密封盖、气体输送装置，所述固定筒的内壁上设有两个固定环，不锈钢管穿过两个固定环，不锈钢管的两端超出固定筒的两端，所述固定环的内壁上固定有弹性环，两个弹性环套住不锈钢管，所述固定筒的侧壁上设有一根通气管，通气管与固定筒内部相连通，通气管位于两个固定环之间，固定环上设有若干个贯穿固定环两端的通气孔，所述气体输送装置输出的是经过过滤和加热的高纯度氮气，气体输气装置有两个出气端，一个出气端与一根吹气管相连，另一个出气端与一根输气管相连，所述吹气管穿过不锈钢管，吹气管的末端密闭，位于不锈钢管内部的吹气管上设有若干个吹气孔，所述输气管末端与通气管相连，所述通气管与输气管分离后在通气管上拧上第一辅助密封盖，吹气管从不锈钢管内抽出后在固定筒的两端拧上主密封盖。
[0005]作为优选，所述固定筒内的两个固定环分别靠近固定筒的两端。
[0006]作为优选，所述主密封盖内固定有一块海绵，海绵抵住不锈钢管的端部。
[0007]作为优选，所述固定筒上设有两个与主密封盖一一对应的限位环，主密封盖的开口端设有密封垫，密封垫紧压限位环。
[0008]作为优选，所述固定筒上设有一根排气管，辅助管上拧有一个第二辅助密封盖。
[0009]本技术的有益效果：本技术通过将主密封盖、第一辅助密封盖相配合，使得不锈钢管吹扫完成后可及时与外界隔离，不易造成二次污染；排气管与通气管相配合，使得固定筒拧上主密封盖后可在固定筒内部充满氮气，使得不锈钢管得到有效的气氛保护。
[0010]本技术的特征及优点将通过实施例结合附图进行详细说明。
【附图说明】
[0011]图1是本技术一种半导体级超高纯度气体输送用不锈钢管吹扫工装的吹扫状体主视图；
[0012]图2是本技术一种半导体级超高纯度气体输送用不锈钢管吹扫工装的吹扫完成后主视图。
[0013]图中：1
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固定筒、2
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气体输送装置、3
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主密封盖、4
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不锈钢管、10
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通气孔、11
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固定环、12
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弹性环、15
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通气管、16
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排气管、17
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第一辅助密封盖、18
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第二辅助密封盖、19
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限位环、21
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吹气管、22
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输气管、30
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海绵、31
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密封垫。
【具体实施方式】
[0014]参阅图1、图2，本技术一种半导体级超高纯度气体输送用不锈钢管吹扫工装，包括固定筒1、固定环11、弹性环12、吹气管21、输气管22、通气管15、主密封盖3、第一辅助密封盖17、气体输送装置2，所述固定筒1的内壁上设有两个固定环11，不锈钢管4穿过两个固定环11，不锈钢管4的两端超出固定筒1的两端，所述固定环11的内壁上固定有弹性环12，两个弹性环12套住不锈钢管4，所述固定筒1的侧壁上设有一根通气管15，通气管15与固定筒1内部相连通，通气管15位于两个固定环11之间，固定环11上设有若干个贯穿固定环11两端的通气孔10，所述气体输送装置2输出的是经过过滤和加热的高纯度氮气，气体输气装置有两个出气端，一个出气端与一根吹气管21相连，另一个出气端与一根输气管22相连，所述吹气管21穿过不锈钢管4，吹气管21的末端密闭，位于不锈钢管4内部的吹气管21上设有若干个吹气孔，所述输气管22末端与通气管15相连，所述通气管15与输气管22分离后在通气管15上拧上第一辅助密封盖17，吹气管21从不锈钢管4内抽出后在固定筒1的两端拧上主密封盖3，所述固定筒1内的两个固定环11分别靠近固定筒1的两端，所述主密封盖3内固定有一块海绵30，海绵30抵住不锈钢管4的端部，所述固定筒1上设有两个与主密封盖3一一对应的限位环19，主密封盖3的开口端设有密封垫31，密封垫31紧压限位环19，所述固定筒1上设有一根排气管16，辅助管上拧有一个第二辅助密封盖18。
[0015]本技术工作过程：
[0016]本技术一种半导体级超高纯度气体输送用不锈钢管吹扫工装在工作过程中，主密封盖3、第一辅助密封盖17相配合，使得不锈钢管4吹扫完成后可及时与外界隔离，不易造成二次污染；排气管16与通气管15相配合，使得固定筒1拧上主密封盖3后可在固定筒1内部充满氮气，使得不锈钢管4得到有效的气氛保护。
[0017]上述实施例是对本技术的说明，不是对本技术的限定，任何对本技术简单变换后的方案均属于本技术的保护范围。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体级超高纯度气体输送用不锈钢管吹扫工装，其特征在于：包括固定筒(1)、固定环(11)、弹性环(12)、吹气管(21)、输气管(22)、通气管(15)、主密封盖(3)、第一辅助密封盖(17)、气体输送装置(2)，所述固定筒(1)的内壁上设有两个固定环(11)，不锈钢管(4)穿过两个固定环(11)，不锈钢管(4)的两端超出固定筒(1)的两端，所述固定环(11)的内壁上固定有弹性环(12)，两个弹性环(12)套住不锈钢管(4)，所述固定筒(1)的侧壁上设有一根通气管(15)，通气管(15)与固定筒(1)内部相连通，通气管(15)位于两个固定环(11)之间，固定环(11)上设有若干个贯穿固定环(11)两端的通气孔(10)，所述气体输送装置(2)输出的是经过过滤和加热的高纯度氮气，气体输气装置有两个出气端，一个出气端与一根吹气管(21)相连，另一个出气端与一根输气管(22)相连，所述吹气管(21)穿过不锈钢管(4)，吹气管(21)的末端密闭，位于不锈钢管(4)内部的吹气管(21)上设有若干个吹气孔，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：姚德坤，杨松江，胡海波，沈平，宋志勤，魏峰，李明星，平浪，
申请(专利权)人：威莱克半导体材料浙江有限责任公司，
类型：新型
国别省市：