多级除湿装置、废气处理系统及除湿控制方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及半导体技术领域，尤其涉及一种多级除湿装置、废气处理系统及除湿控制方法，多级除湿装置包括壳体和位于壳体内部且沿壳体内的气体流向依次设置的第一风扇、换热组件和第二风扇，第一风扇、换热组件和第二风扇同轴设置。气体在换热组件处遇冷降温，气体中的水分冷凝，第一风扇与第二风扇增强气体流动的对流效果，加速气体的降温干燥，对气体达到除湿效果，使排出气体的达到温湿度要求。本发明专利技术的多级除湿装置可在不影响负压的情况下，直接安装在废气处理系统内，达到除湿效果，方便现有设备改造，降低厂务除湿需求更换机台成本。解决半导体制造过程中对温湿度方面的要求，提升设备除湿能力，降低厂务端酸排管路积水跌落，高危砸伤风险。高危砸伤风险。高危砸伤风险。

【技术实现步骤摘要】
多级除湿装置、废气处理系统及除湿控制方法


[0001]本专利技术涉及半导体
，尤其涉及一种多级除湿装置、废气处理系统及除湿控制方法。

技术介绍

[0002]泛半导体制程废气中含有大量有毒有害气体，伴随制程工艺不同，粉尘量也不同，尤其是金属制成粉尘含量较高，所以废气处理设备基本采用高温裂解或反应，再加水洗喷淋冷却的处理方式以消除废气中的有毒物质和降低粉尘，对温湿度的要求是生产工艺无温湿度要求时，控制温度为20～26℃，相对湿度低于70％。因此在废气处理过程中存在的以下一些问题：
[0003]1、废气处理系统排放到厂务端时，相对湿度RH90％，造成厂务端酸排管路积水、高危砸伤等问题；
[0004]2、机台数量成倍增加，废气处理系统的单台负压降低，设备内压损严重容易宕机，影响生产效率；
[0005]3、相关技术中常用的除湿设备体积较大，又无法满足半导体安全等性能要求；
[0006]4、增加相关多级除湿装置，现有机台更换成本高，除湿效果并不明显；
[0007]5、吸附式除湿方式，效率低、效果差，洗水后容易造成致密影响负压，且固废处理问题容易引起二次污染。

技术实现思路

[0008]本专利技术提供一种多级除湿装置、废气处理系统及除湿控制方法，用以解决相关技术中除湿装置更换成本高，除湿效果并不明显，厂务端酸排管路积水跌落，高危砸伤风险的缺陷，实现气体在换热组件处遇冷降温，气体中的水分冷凝，第一风扇与第二风扇增强气体流动的对流效果，加速气体的降温干燥，以此对气体达到除湿效果，最终使排出气体的达到温湿度要求效果。
[0009]本专利技术提供一种多级除湿装置，包括壳体和位于所述壳体内部且沿所述壳体内的气体流向依次设置的第一风扇、换热组件和第二风扇，所述第一风扇、所述换热组件和所述第二风扇同轴设置。
[0010]根据本专利技术提供的一种多级除湿装置，所述换热组件包括冷端换热件和热端换热件，所述第一风扇、所述冷端换热件、所述热端换热件与所述第二风扇沿所述气体流向依次设置。
[0011]根据本专利技术提供的一种多级除湿装置，所述冷端换热件包括冷端换热器与冷端翅片，所述热端换热件包括热端换热器与热端翅片，所述冷端翅片沿所述冷端换热器的周向环绕设置于所述冷端换热器的外侧，所述热端翅片沿所述热端换热器的周向环绕设置于所述热端换热器的外侧。
[0012]根据本专利技术提供的一种多级除湿装置，还包括设置于所述壳体内部的吸附件，所
述第一风扇、所述换热组件、所述第二风扇和所述吸附件沿所述气体流向依次设置，所述吸附件在所述壳体的横截面上填充。
[0013]根据本专利技术提供的一种多级除湿装置，所述吸附件包括有色硅胶和/或鲍尔环。
[0014]根据本专利技术提供的一种多级除湿装置，还包括设置于所述壳体内部的第一湿度传感器、第二湿度传感器和温度传感器，所述第二风扇、所述第一湿度传感器、所述吸附件、所述第二湿度传感器和所述温度传感器沿所述气体流向依次设置。
[0015]本专利技术还提供一种废气处理系统，包括水洗塔和如上所述的多级除湿装置，所述水洗塔的内部设有喷头，所述水洗塔的出口与所述壳体的进口连通。
[0016]根据本专利技术提供的一种废气处理系统，所述温度传感器的检测温度其中Q为所述喷头的流量，n1为所述第二风扇的转速，n2为所述第一风扇的转速，a与b均为常数。
[0017]根据本专利技术提供的一种废气处理系统，所述第二湿度传感器的检测湿度其中m为所述吸附件的质量，Q为所述喷头的流量，n1为所述第二风扇的转速，n2为所述第一风扇的转速，c为常数，d为所述吸附件相对湿度条件下的吸附率。
[0018]本专利技术提供一种除湿控制方法，应用于如上所述的废气处理系统进行除湿控制，包括：
[0019]当所述第一湿度传感器的检测湿度小于RH80％且所述第二湿度传感器的检测湿度大于RH80％时，所述第一风扇与所述第二风扇均不启动，调节所述喷头的流量和所述吸附件的质量，使所述温度传感器的检测温度f(T3)＝bf(Q)，使所述第二湿度传感器的检测湿度f(RH2)＝cf(Q)
‑
df(m)；
[0020]当所述第一湿度传感器的检测湿度小于RH85％且所述第二湿度传感器的检测湿度大于RH85％时，所述第一风扇启动，所述第二风扇不启动，调节所述喷头的流量、所述吸附件的质量和所述第一风扇的转速，使所述温度传感器的检测温度使所述第二湿度传感器的检测湿度
[0021]当所述第一湿度传感器的检测湿度等于所述第二湿度传感器时，所述第一风扇与所述第二风扇均启动，调节所述喷头的流量、所述吸附件的质量、所述第一风扇和所述第二风扇的转速，使所述温度传感器的检测温度使所述第二湿度传感器的检测湿度
[0022]本专利技术提供的多级除湿装置，壳体设有进口和出口，气体由进口进入壳体内部，由出口排出，壳体内部设置换热组件，换热组件靠近进口的一端为冷端，靠近出口的一端为热端，第一风扇设置于进口与冷端之间，第二风扇设置于热端与出口之间，即进入壳体的气体依次经过第一风扇、换热组件和第二风扇。气体在换热组件处遇冷降温，气体中的水分冷
凝，第一风扇与第二风扇增强气体流动的对流效果，加速气体的降温干燥，以此对气体达到除湿效果，最终使排出气体的达到温湿度要求。
[0023]本专利技术的多级除湿装置可在不影响负压的情况下，直接安装在废气处理系统内，达到除湿效果，方便现有设备改造，降低厂务除湿需求更换机台成本。解决半导体制造过程中对温湿度方面的要求，提升设备除湿能力，降低厂务端酸排管路积水跌落，高危砸伤风险。通过控制第一风扇与第二风扇的启停和转速，还可满足气体在不同流量、不同程度含水量等多类型多条件下的除湿需求。
[0024]除了上面所描述的本专利技术解决的技术问题、构成的技术方案的技术特征以及有这些技术方案的技术特征所带来的优点之外，本专利技术的其他技术特征及这些技术特征带来的优点，将结合附图作出进一步说明，或通过本专利技术的实践了解到。
附图说明
[0025]为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0026]图1是本专利技术提供的废气处理系统的结构示意图；
[0027]图2是本专利技术提供的多级除湿装置的结构示意图；
[0028]附图标记：
[0029]100、壳体；110、第一湿度传感器；120、第二湿度传感器；130、温度传感器；
[0030]200、第一风扇；
[0031]300、换热组件；310、冷端换热件；320、热端换热件；311、冷端翅片；321、热端翅片；
[0032]400、第二风扇；500、吸附件；
[0033]600、水洗塔；610、喷头；620、鲍尔环；
[0034]710、第一循环本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种多级除湿装置，其特征在于：包括壳体和位于所述壳体内部且沿所述壳体内的气体流向依次设置的第一风扇、换热组件和第二风扇，所述第一风扇、所述换热组件和所述第二风扇同轴设置。2.根据权利要求1所述的多级除湿装置，其特征在于：所述换热组件包括冷端换热件和热端换热件，所述第一风扇、所述冷端换热件、所述热端换热件与所述第二风扇沿所述气体流向依次设置。3.根据权利要求2所述的多级除湿装置，其特征在于：所述冷端换热件包括冷端换热器与冷端翅片，所述热端换热件包括热端换热器与热端翅片，所述冷端翅片沿所述冷端换热器的周向环绕设置于所述冷端换热器的外侧，所述热端翅片沿所述热端换热器的周向环绕设置于所述热端换热器的外侧。4.根据权利要求1至3任意一项所述的多级除湿装置，其特征在于：还包括设置于所述壳体内部的吸附件，所述第一风扇、所述换热组件、所述第二风扇和所述吸附件沿所述气体流向依次设置，所述吸附件在所述壳体的横截面上填充。5.根据权利要求4所述的多级除湿装置，其特征在于：所述吸附件包括有色硅胶和/或鲍尔环。6.根据权利要求4所述的多级除湿装置，其特征在于：还包括设置于所述壳体内部的第一湿度传感器、第二湿度传感器和温度传感器，所述第二风扇、所述第一湿度传感器、所述吸附件、所述第二湿度传感器和所述温度传感器沿所述气体流向依次设置。7.一种废气处理系统，其特征在于：包括水洗塔和权利要求6所述的多级除湿装置，所述水洗塔的内部设有喷头，所述水洗塔的出口与所述壳体的进口连通。8.根据...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨春水，宁腾飞，章文军，张坤，陈彦岗，杨春涛，王继飞，席涛涛，闫潇，
申请(专利权)人：北京京仪自动化装备技术股份有限公司，
类型：发明
国别省市：