一种用于半导体机器人的后置偏心装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种用于半导体机器人的后置偏心装置，包括支撑座，固定在支撑座上的θ轴，位于θ轴上的机械下臂和机械上臂，固定在机械上臂末端的翻转机构，其中，机械下臂的一端固定在θ轴上，另一端固定在机械上臂的一端，机械上臂的另一端固定连接翻转机构；所述翻转机构包括翻转底座，电机和翻转轴，其中，翻转轴的一端连接固定在翻转底座前端，另一端固定连接末端执行器，末端执行为中空心结构，且末端执行器内部包含气路，末端执行器的下端包含均匀分布且与气路相通的吸盘，气路的另一端连接真空泵。本实用新型专利技术可以消除现有技术中的晶圆与机械下臂或框架触碰的问题，同时使得末端执行器采用真空吸附晶圆的同时能够随意翻转。翻转。翻转。

【技术实现步骤摘要】
一种用于半导体机器人的后置偏心装置


[0001]本技术属于半导体领域，具体属于一种用于半导体机器人的后置偏心装置。

技术介绍

[0002]主流晶圆搬运机器人采用前置偏心结构，在前置偏心结构中，连接翻转机构的机械臂的中心位于所述支撑座中心和晶圆圆心之间，如附图1所述，前置的偏心距大于0，在这种前置偏心结构中，翻转机构固定在机械臂的末端，机械臂固定在支撑座上，支撑座位于框架内部。在尺寸有限的环境内，搬运且翻转尺寸较大的晶圆时，会和机械下臂或者框架有干涉。为了解决该问题，需要更改机器人结构或者翻转机构，费时费力。
[0003]主流的翻转机构采用夹持式，气管和电缆走线由于不涉及到末端执行器(夹爪)内部，较为简单。对于真空式末端执行器，由于气路需要贯穿到末端执行器内部，走线较为麻烦；且真空式末端执行器翻转时需要考虑气管的缠绕问题，传统的真空式中末端执行器的气路在侧面，很难实现翻转。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是提供一种用于半导体机器人的后置偏心装置，可以消除现有技术中的晶圆与机械下臂或框架触碰的问题，同时使得末端执行器采用本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于半导体机器人的后置偏心装置，采用机器人带动翻转机构，其特征在于，包括支撑座，固定在支撑座上的θ轴，位于θ轴上的机械下臂、位于机械下臂上端的机械上臂，固定在机械上臂末端的翻转机构，其中，所述机械下臂的一端可翻转地固定在θ轴上，另一端可翻转地固定在机械上臂的一端，所述机械上臂的另一端固定连接翻转机构；所述翻转机构包括翻转底座，位于翻转底座上的电机和翻转轴，其中，所述翻转轴的一端连接固定在翻转底座前端，另一端固定连接末端执行器，所述末端执行为中空心结构，且所述末端执行器内部包含气路，所述末端执行器的上端包含均匀分布且与气路相通的吸盘，所述气路的另一端连接真空泵；所述晶圆放置在末端执行器上时，真空泵抽真空使得吸盘吸住晶圆；所述晶圆需要翻转时，所述支撑座的中心位于晶圆圆心和所述机械上臂的末端中心之间；所述电机通过翻转轴带动末端执行器上的晶圆进行翻转。2.根据权利要求1所述的一种用于半导体机器人的后置偏心装置，其特征在于，所述吸盘为三...

【专利技术属性】
技术研发人员：曲泉铀，古市昌稔，刘洋，
申请(专利权)人：上海广川科技有限公司，
类型：新型
国别省市：