一种在真空烘干机构中的密封槽体装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及半导体及太阳能清洗设备真空烘干技术领域，具体是一种在真空烘干机构中的密封槽体装置。其包括抽真空设备、密封闭合板、加热组件、切水组件、密封槽体、破真空组件、连接固定机构，密封闭合板上开有凹进去的槽，嵌有氟橡胶密封圈可以更加贴合密封闭合装置；本实用新型专利技术的有益效果是：真空烘干槽体装置在加热的同时对槽体产生负压环境；将物料处于真空条件下，降低了水的沸点，让被烘干的物料可以做到低温烘干。不受环境条件影响，能够显著提高操作的可靠性，同时此装置反应灵敏，能及时对异常做出反应，有效降低因异常带来的损害。损害。损害。

【技术实现步骤摘要】
一种在真空烘干机构中的密封槽体装置


[0001]本技术涉及半导体及太阳能清洗设备
，具体是一种在真空烘干机构中的密封槽体装置。

技术介绍

[0002]光伏设备行业作为光伏产业的支撑行业而存在，我国作为全球最大的太阳能电池生产国，太阳能电池行业发展带动了光伏产业的整体兴起，进而催生了我国的光伏设备行业。而凭借在半导体设备制造领域丰富的技术经验积累，我国企业在光伏设备领域很快实现突破。在米粒大的硅片上，已能集成16万个晶体管，这是科学技术进步的又一个里程碑。由于硅元素是地壳中储量最丰富的元素之一，对太阳能电池这样注定要进入大规模市场的产品而言，储量的优势也是硅成为光伏主要材料的原因之一。制绒，光伏行业术语，处理太阳能级硅片的一种工艺方法，硅太阳能电池片生产的一道工序。
[0003]硅片在清洗工序后，可以进行烘干，此工序可以加快产品在清洗工序上所用的时间。提高产量，创造利益最大化。
[0004]真空烘干箱是在负压下工作，氧含量少，可以减少或杜绝氧化反应，这就需要烘箱的内胆能够与外界隔绝的，想要有真空度的要求，就需要有一些要求较高本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种在真空烘干机构中的密封槽体装置，包括抽真空设备(1)、密封闭合板(2)、加热组件(3)、切水组件(4)、密封槽体(5)、破真空组件(6)、连接固定机构(7)，所述密封闭合板(2)的凹槽中嵌入可耐高温的氟橡胶，与槽盖贴合，抽真空前由切水组件(4)吹风，使其腔体形成一个气体流动的环境。加热组件(3)可以使用普通金属加热管，也可以是市面上新型的红外辐射器对腔体进行加热。2.根据权利要求1所述的一种在真空烘干机构中的密封槽体装置，其特征在于，所述抽真空设备(1)与槽体连接，在工...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡玉龙，
申请(专利权)人：釜川无锡智能科技有限公司，
类型：新型
国别省市：