【技术实现步骤摘要】
一种在真空烘干机构中的密封槽体装置
[0001]本技术涉及半导体及太阳能清洗设备
,具体是一种在真空烘干机构中的密封槽体装置。
技术介绍
[0002]光伏设备行业作为光伏产业的支撑行业而存在,我国作为全球最大的太阳能电池生产国,太阳能电池行业发展带动了光伏产业的整体兴起,进而催生了我国的光伏设备行业。而凭借在半导体设备制造领域丰富的技术经验积累,我国企业在光伏设备领域很快实现突破。在米粒大的硅片上,已能集成16万个晶体管,这是科学技术进步的又一个里程碑。由于硅元素是地壳中储量最丰富的元素之一,对太阳能电池这样注定要进入大规模市场的产品而言,储量的优势也是硅成为光伏主要材料的原因之一。制绒,光伏行业术语,处理太阳能级硅片的一种工艺方法,硅太阳能电池片生产的一道工序。
[0003]硅片在清洗工序后,可以进行烘干,此工序可以加快产品在清洗工序上所用的时间。提高产量,创造利益最大化。
[0004]真空烘干箱是在负压下工作,氧含量少,可以减少或杜绝氧化反应,这就需要烘箱的内胆能够与外界隔绝的,想要有真空度的要求,就需要有一些要求较高的工艺来作为保障。
技术实现思路
[0005]本技术的目的在于提供一种在真空烘干机构中的密封槽体装置,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0006]为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:
[0007]一种在真空烘干机构中的密封槽体装置,其特征在于,所述连密封闭合板(2)的凹槽中嵌入可耐高温的氟橡胶,与槽盖贴合。抽真空前由切水组件(4)吹风,使其腔体 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种在真空烘干机构中的密封槽体装置,包括抽真空设备(1)、密封闭合板(2)、加热组件(3)、切水组件(4)、密封槽体(5)、破真空组件(6)、连接固定机构(7),所述密封闭合板(2)的凹槽中嵌入可耐高温的氟橡胶,与槽盖贴合,抽真空前由切水组件(4)吹风,使其腔体形成一个气体流动的环境。加热组件(3)可以使用普通金属加热管,也可以是市面上新型的红外辐射器对腔体进行加热。2.根据权利要求1所述的一种在真空烘干机构中的密封槽体装置,其特征在于,所述抽真空设备(1)与槽体连接,在工...
【专利技术属性】
技术研发人员:胡玉龙,
申请(专利权)人:釜川无锡智能科技有限公司,
类型:新型
国别省市:
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