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本实用新型涉及半导体及太阳能清洗设备真空烘干技术领域，具体是一种在真空烘干机构中的密封槽体装置。其包括抽真空设备、密封闭合板、加热组件、切水组件、密封槽体、破真空组件、连接固定机构，密封闭合板上开有凹进去的槽，嵌有氟橡胶密封圈可以更加贴合密...
该专利属于釜川（无锡）智能科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过釜川（无锡）智能科技有限公司授权不得商用。

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