一种太阳能单晶电池刻蚀工序所用行走滚轮的清洗方法技术

本发明专利技术提供了一种太阳能单晶电池刻蚀工序所用行走滚轮的清洗方法，所述清洗方法包括以下步骤：(1)将行走滚轮浸入纯水中，并加入清洗剂，浸泡第一时间段；(2)用纯水冲洗步骤(1)所得行走滚轮，浸入双氧水溶液中，浸泡第二时间段；(3)用纯水冲洗步骤(2)所得行走滚轮，浸入混酸溶液中，浸泡第三时间段；(4)将步骤(3)所得行走滚轮浸入纯水中，浸泡第四时间段；(5)用纯水冲洗步骤(4)所得行走滚轮，吹干并烘干后，得到清洗后的行走滚轮；其中，所述纯水具体为含盐量≤1mg/L的纯水。本发明专利技术提供的清洗方法提升了清洗效果和效率的同时，降低了清洗能耗和成本。耗和成本。

【技术实现步骤摘要】
一种太阳能单晶电池刻蚀工序所用行走滚轮的清洗方法


[0001]本专利技术属于太阳能单晶电池制造
，涉及一种清洗方法，尤其涉及一种太阳能单晶电池刻蚀工序所用行走滚轮的清洗方法。

技术介绍

[0002]太阳能单晶PERC电池技术是目前行业的主流技术，太阳能电池制造的刻蚀工序主要是去除扩散后硅片表面的部分PN结及磷硅玻璃(主要是SiO2、磷源及其它杂质)保护层，因此在日常运行过程中行走滚轮会累计大量的硅粉、脏污及各类杂质(如粉尘、碎屑)等污染物，特别是烘干槽体滚轮，更容易受到污染，从而影响电池产品质量和转换效率。
[0003]常规的滚轮清洗方法主要采用混酸清洗及水漂洗的方式进行，清洗时间长达10小时。采用这种清洗方式，对于滚轮表面存在的有机物及部分杂质的清洗效果并不理想，且在后续生产过程中需要通过跑大量假片的方式来达到下降EL污染比例的目的，导致清洗效率低，能耗高。
[0004]CN 204448693U公开了一种电池片清洗机滚轮的自动清洗装置，包括清洗槽、超声波发生器，所述清洗槽内注有DI纯水，所述超声波发生器设置在所述清洗槽本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种太阳能单晶电池刻蚀工序所用行走滚轮的清洗方法，其特征在于，所述清洗方法包括以下步骤：(1)将行走滚轮浸入纯水中，并加入清洗剂，浸泡第一时间段；(2)用纯水冲洗步骤(1)所得行走滚轮，浸入双氧水溶液中，浸泡第二时间段；(3)用纯水冲洗步骤(2)所得行走滚轮，浸入混酸溶液中，浸泡第三时间段；(4)将步骤(3)所得行走滚轮浸入纯水中，浸泡第四时间段；(5)用纯水冲洗步骤(4)所得行走滚轮，吹干并烘干后，得到清洗后的行走滚轮；其中，所述纯水具体为含盐量≤1mg/L的纯水。2.根据权利要求1所述的清洗方法，其特征在于，所述清洗方法在清洗槽中进行；优选地，所述清洗槽为耐酸碱腐蚀的槽体，且设置有槽盖与加热系统。3.根据权利要求2所述的清洗方法，其特征在于，步骤(1)在进行之前还包括用纯水冲洗清洗槽的内壁，并排空槽内液体；优选地，以质量份数计，步骤(1)所述清洗剂的组成为：优选地，所述泡沫剂包括十二烷基硫酸钠和/或脂肪醇聚氧乙烯醚硫酸钠。4.根据权利要求2或3所述的清洗方法，其特征在于，步骤(1)所述纯水的体积为清洗槽总容积的1/20
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1/5；优选地，步骤(1)所述清洗剂的加入量占槽内液体总质量的0.5％
‑
1.5％；优选地，步骤(1)所述清洗剂在加入后将清洗槽注满纯水；优选地，步骤(1)所述浸泡的温度为30
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50℃；优选地，步骤(1)所述第一时间段为1
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60min。5.根据权利要求1
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4任一项所述的清洗方法，其特征在于，步骤(2)所述双氧水溶液中双氧水与去离子水的体积比为1:(5
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15)；优选地，步骤(2)所述浸泡的温度为50
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60℃；优选地，步骤(2)所述第二时间段为1
‑
60min。6.根据权利要求1
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5任一项所述的清洗方法，其特征在于，步骤(3)所述混酸溶液中的酸种类包括氢氟酸和/或盐酸。7.根据权利要求6所述的清洗方法，其特征在于，步骤(3)所述混酸溶液中的酸种类为氢氟酸和盐酸；优选地，步骤(3)所述混酸溶液中氢氟酸、盐酸与去离子水的体积比为(0.3
‑
5):(0.3
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5):25；优选地，步骤(3)所述浸泡的温度为20
‑
30℃；优选地...

【专利技术属性】
技术研发人员：厉文斌，赵颖，周永安，何悦，任勇，
申请(专利权)人：横店集团东磁股份有限公司，
类型：发明
国别省市：