一种用于超低频水下声学信号检测的声学测量单元及装置制造方法及图纸

本发明专利技术属于声学信号检测技术领域，具体公开了一种用于超低频水下声学信号检测的声学测量单元及装置。其中，声学测量单元包括由下向上依次设置的SOI基座、下电极层、压电层以及上电极层；SOI基座、下电极层、压电层以及上电极层均为圆形；SOI基座包括由下向上依次设置的下硅层、二氧化硅层以及上硅层；SOI基座的底部设置空腔，该空腔在上下方向上贯穿下硅层；在由空腔位置向上正投影到上电极层的区域范围内形成有多个悬臂梁；其中，各个所述悬臂梁均为大小相等的扇形结构，且沿着同一个圆周方向顺序排布；任意相邻两个悬臂梁之间通过一条刻蚀沟槽隔开，且所有悬臂梁均与上电极层连接。本发明专利技术利于实现对超低频声音信号的感测，同时提高检测灵敏度。同时提高检测灵敏度。同时提高检测灵敏度。

【技术实现步骤摘要】
一种用于超低频水下声学信号检测的声学测量单元及装置


[0001]本专利技术属于声学信号检测
，特别涉及一种用于超低频水下声学信号检测的声学测量单元及装置。

技术介绍

[0002]由于海水介质的衰减作用，使得声波相较于光波和电磁波而言，更适合作为水下信息长距离传播的载体。现阶段对于水下声信号的探测，主要的实现方式为：通过声纳发射与接收声波信号，实现对水面船只、水下舰艇和鱼雷的探测。
[0003]此种探测方式需要将声纳搭载于测量船或潜艇上，运营成本较高，且无法满足特殊海况下长周期探测的目的。此外，声纳需要实现较大的阵列组合，布放的成本较高。
[0004]现阶段，使用压电工作原理的声信号检测装置，大多采用压电陶瓷材料，但此类声信号检测装置加工工艺过程复杂，且需求较高，且无法与COMS工艺兼容。
[0005]随着MEMS技术的发展，给声信号检测装置提供了新的方法和行业思路，为声音信号检测装置的小型化和制备过程简化提供了新的解决方案。
[0006]现有MEMS声音信号检测装置谐振频率较高，在超低频甚至低频信号的接收上本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于超低频水下声学信号检测的声学测量单元，其特征在于，包括由下向上依次设置的SOI基座、下电极层、压电层以及上电极层；其中，SOI基座、下电极层、压电层以及上电极层均为圆形；下电极层以及上电极层均采用Mo电极，压电层采用AIN；所述SOI基座包括由下向上依次设置的下硅层、二氧化硅层以及上硅层；所述SOI基座的底部设置空腔，该空腔在上下方向上贯穿整个所述下硅层；在由所述空腔位置向上正投影到上电极层的区域范围内形成有多个悬臂梁；其中，各个所述悬臂梁均为大小相等的扇形结构，且沿着同一个圆周方向顺序排布；任意相邻两个悬臂梁之间通过一条刻蚀沟槽隔开，且所有悬臂梁均与上电极层连接；其中，各个刻蚀沟槽均是利用刻蚀工艺由下向上依次刻蚀所述二氧化硅层、上硅层、下电极层以及压电层所形成的；各个悬臂梁的组成结构相同，且均是由处于该悬臂梁所在的两条刻蚀沟槽之间，且由下而上依次布置的二氧化硅层、上硅层、下电极层以及压电层的扇形区域组成。2.根据权利要求1所述的用于超低频水下声学信号检测的声学测量单元，其特征在于，所述悬臂梁以及刻蚀沟槽的数量均有四个，每个...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨华，孙斐，陈杰，张浩，
申请(专利权)人：青岛国数信息科技有限公司，
类型：发明
国别省市：