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一种用于超低频水下声学信号检测的声学测量单元及装置制造方法及图纸
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下载一种用于超低频水下声学信号检测的声学测量单元及装置的技术资料
文档序号:32503430
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本发明属于声学信号检测技术领域,具体公开了一种用于超低频水下声学信号检测的声学测量单元及装置。其中,声学测量单元包括由下向上依次设置的SOI基座、下电极层、压电层以及上电极层;SOI基座、下电极层、压电层以及上电极层均为圆形;SOI基座包括...
该专利属于青岛国数信息科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过青岛国数信息科技有限公司授权不得商用。
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