大口径光学元件的抛光设备制造技术

本发明专利技术公开了一种大口径光学元件的抛光设备，包括：转运架，在转运架中设置有升降架、定位工装及真空罐，定位工装搁置在升降架上，在定位工装上设置有T型挂钩，在转运架中设置有万向转运平板车及水平转运天车，在水平转运天车上设置有T型槽扣；所述真空罐包括：罐体，在罐体的顶壁设置有进料口，在罐体中设置有顶升机构，在顶升机构上设置有定位块，在罐体中设置有三轴运动系统，在三轴运动系统上设置有离子束发生器，在位于罐体上方的转运架上设置有吊框，在吊框上向下连接有密封盖，在罐体上连接有真空泵。本发明专利技术的优点能够对直径超过1500mm的光学元件进行装夹、定位、运输及抛光。运输及抛光。运输及抛光。

【技术实现步骤摘要】
大口径光学元件的抛光设备


[0001]本专利技术涉及大口径光学元件的抛光设备。

技术介绍

[0002]随着光学行业的发展，对光学元件的需求也越来越大，需求也从小直径往大直径发展，但该领域的加工设备几乎被国外垄断。随着国内近几年
的突破，目前国内对小直径光学元件的抛光加工已趋于成熟，但对大直径或超大直径领域的光学元件离子束抛光加工还处于空白。目前国内现有的设备能够加工直径在1500mm以内的光学元件，对于直径超过1500mm的大口径光学元件，目前国内还没有设备可以进行加工。其主要原因在于，目前国内现有的光学元件升降转运机构只适用于最大直径小于1500mm的光学元件，对直径大于1500mm的大口径光学元件还没有升降转运机构可以进行无损装夹转运，而且市面上的真空罐大多适用于直径小于1500mm的光学元件，由于目前市面上的真空罐的进料口开设在侧壁上，若进料口开设较大，则需要增大真空罐的体积，这样才能保证真空罐的侧壁强度，而且安装在进料口上的铰链门也会很大，铰链门体积增大后重量就会变大，不仅开合比较费力，而且铰链门在经过长时间使用后容易受到重力影响而产生变形，影响真空罐的密封效果，所以一般的真空罐无法满足直径超过1500mm的大口径光学元件，。

技术实现思路

[0003]本专利技术的目的是提供一种能够对直径超过1500mm的光学元件进行离子束抛光的大口径光学元件的抛光设备，以解决大口径光学元件的装夹、转运问题以及真空罐强度问题。
[0004]为实现上述目的，本专利技术所采用的技术方案是：大口径光学元件的抛光设备，包括：转运架，在转运架中设置有升降架、定位工装及真空罐，升降架通过第一升降机构设置在转运架中，所述定位工装设置在升降架中，所述定位工装包括：保护框及受力吊框，在保护框上沿着保护框的周边均布有四个基座定位块，四个基座定位块搁置在升降架上，在基座定位块的底部外侧壁上设置有梯形台阶，在基座定位块上向上设置有支撑调节杆，在支撑调节杆上设置有外螺纹，在支撑调节杆的外螺纹上螺纹连接有支撑螺母，在各支撑调节杆的顶部均设置有一个T型挂钩，所述受力吊框包括：中心座及四根连接臂，四根连接臂与中心座相连后形成十字形形状，四根连接臂分别套装在四个支撑调节杆上，支撑调节杆上的支撑螺母支撑住连接臂，在各连接臂上分别滑动设置有一个定位支架，在连接臂上均匀间隔设置有若干吊装孔，在每根连接臂上的任意一个吊装孔中穿设有一个能够与光学元件相连的吊杆，吊杆向上伸出于连接臂后螺纹连接有锁紧螺母；在位于保护框下方的转运架中设置有万向转运平板车，在位于受力吊框上方的转运架中设置有两条相互平行的导轨，在两条导轨上滑动设置有水平转运天车，在水平转运天车上向下设置有四个T型槽扣，水平转运天车上的四个T型槽扣分别与四个支撑调节杆上的T型挂钩一一适配；两条导轨延伸至真空罐上方的转运架上，所述真空罐包括：罐体，在罐体的顶壁设置有进料口，在罐体的顶
壁上设置有密封圈，在罐体中设置有四个顶升机构，在顶升机构上设置有定位块，在四个定位块上分别设置有一个第一梯形槽，四个定位块上的第一梯形槽分别与四个基座定位块上的梯形台阶一一适配，在罐体中设置有三轴运动系统，在三轴运动系统上设置有离子束发生器，在位于罐体上方的转运架上设置有吊框，吊框通过第二升降机构设置在转运架中，在吊框上向下连接有密封盖，密封盖向下与罐体的进料口相对齐，在罐体上连接有真空泵。
[0005]进一步的，前述的大口径光学元件的抛光设备，其中，所述第一升降机构包括：第一螺杆、第一减速电机及第一螺母，在位于升降架四周的转运架上转动设置有四根第一螺杆，在四根第一螺杆上分别连接有一个第一减速电机，在四根第一螺杆上分别螺纹连接有一个第一螺母，升降架与四个第一螺母相连。
[0006]进一步的，前述的大口径光学元件的抛光设备，其中，所述顶升机构为升降气缸，定位块设置在升降气缸的活塞杆上。
[0007]进一步的，前述的大口径光学元件的抛光设备，其中，所述第二升降机构包括：第二螺杆、第二减速电机及第二螺母，在位于吊框四周的转运架上转动设置有四根第二螺杆，在四根第二螺杆上分别连接有一个第二减速电机，在四根第二螺杆上分别螺纹连接有一个第二螺母，吊框与四个第二螺母相连。
[0008]进一步的，前述的大口径光学元件的抛光设备，其中，基座定位块与升降架之间的连接结构为：在升降架上设置有四个与基座定位块一一对齐的固定板，在固定板上设置有与梯形台阶相适配的第二梯形槽，基座定位块上的梯形台阶卡入到固定板上的第二梯形槽中。
[0009]进一步的，前述的大口径光学元件的抛光设备，其中，在连接臂上设置有宽于连接臂的滑板，在定位支架上设置有能够卡设在滑板上的滑槽，定位支架上的滑槽与滑板相适配，在定位支架上设置有若干螺纹通孔，螺纹通孔与滑槽相连通，在螺纹通孔中螺纹连接有紧定螺栓，紧定螺栓穿过螺纹通孔后抵靠在滑板上。
[0010]进一步的，前述的大口径光学元件的抛光设备，其中，在定位支架上设置有橡胶垫。
[0011]进一步的，前述的大口径光学元件的抛光设备，其中，在吊装孔中固定设置有保护套。
[0012]进一步的，前述的大口径光学元件的抛光设备，其中，在罐体的侧壁上设置有检修孔，在检修孔上设置有铰链门。
[0013]进一步的，前述的大口径光学元件的抛光设备，其中，在位于铰链门一侧的罐体侧壁上设置有阶梯。
[0014]本专利技术的优点在于：能够对直径超过1500mm的光学元件进行装夹、定位、运输及抛光，先用万向转运平板车配合定位工装可以对大口径光学元件进行快速装夹定位，用升降架能够将定位工装与水平转运天车进行对接，然后用水平运转天车能够将定位工装及固定在定位工装上的大口径光学元件输送到真空罐中进行抛光，利用万向转运平板车、定位工装、升降架及水平转运天车之间的配合工作就能解决现有技术中大口径光学元件的装夹、定位、转运困难的问题；将真空罐的进料口设置在罐体的顶壁上，既能与水平转运天车进行配合将定位工装及大口径光学元件顺利输送到真空罐内，又不需要增大罐体体积来保证罐体的强度，将密封盖设置成可升降的结构就方便操控密封盖与罐体上的进料口进行密封，
提高了工作效率。
附图说明
[0015]图1是本专利技术所述的大口径光学元件的抛光设备的立体结构示意图。
[0016]图2是图1中A方向的结构示意图。
[0017]图3是图2中B方向去掉定位工装及真空罐后的部分结构示意图。
[0018]图4是图2中C
‑
C方向去掉水平转运天车及真空罐后的部分剖视结构示意图。
[0019]图5是本专利技术所述的大口径光学元件的抛光设备中真空罐的剖视结构示意图。
[0020]图6是图1中定位工装的立体结构示意图。
具体实施方式
[0021]下面结合附图及优选实施例对本专利技术所述的技术方案作进一步说明。
[0022]如图1、图2、图3、图4、图5、图6所示，本专利技术所述的大口径光学元件的抛光设备，包括：转运架1，在转运架1中设置有升降架11、定位工本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.大口径光学元件的抛光设备，包括：转运架，其特征在于：在转运架中设置有升降架、定位工装及真空罐，升降架通过第一升降机构设置在转运架中，所述定位工装设置在升降架中，所述定位工装包括：保护框及受力吊框，在保护框上沿着保护框的周边均布有四个基座定位块，四个基座定位块搁置在升降架上，在基座定位块的底部外侧壁上设置有梯形台阶，在基座定位块上向上设置有支撑调节杆，在支撑调节杆上设置有外螺纹，在支撑调节杆的外螺纹上螺纹连接有支撑螺母，在各支撑调节杆的顶部均设置有一个T型挂钩，所述受力吊框包括：中心座及四根连接臂，四根连接臂与中心座相连后形成十字形形状，四根连接臂分别套装在四个支撑调节杆上，支撑调节杆上的支撑螺母支撑住连接臂，在各连接臂上分别滑动设置有一个定位支架，在连接臂上均匀间隔设置有若干吊装孔，在每根连接臂上的任意一个吊装孔中穿设有一个能够与光学元件相连的吊杆，吊杆向上伸出于连接臂后螺纹连接有锁紧螺母；在位于保护框下方的转运架中设置有万向转运平板车，在位于受力吊框上方的转运架中设置有两条相互平行的导轨，在两条导轨上滑动设置有水平转运天车，在水平转运天车上向下设置有四个T型槽扣，水平转运天车上的四个T型槽扣分别与四个支撑调节杆上的T型挂钩一一适配；两条导轨延伸至真空罐上方的转运架上，所述真空罐包括：罐体，在罐体的顶壁设置有进料口，在罐体的顶壁上设置有密封圈，在罐体中设置有四个顶升机构，在顶升机构上设置有定位块，在四个定位块上分别设置有一个第一梯形槽，四个定位块上的第一梯形槽分别与四个基座定位块上的梯形台阶一一适配，在罐体中设置有三轴运动系统，在三轴运动系统上设置有离子束发生器，在位于罐体上方的转运架上设置有吊框，吊框通过第二升降机构设置在转运架中，在吊框上向下连接有密封盖，密封盖向下与罐体的进料口相对齐，在罐体上连接有真空泵。2.根据权利要求1所述的大口径光学元件的抛光设备，其特征在于：所述第一升降机构...

【专利技术属性】
技术研发人员：施春燕，袁贤荘，白亚飞，张振宇，高志雄，
申请(专利权)人：苏州至臻精密光学有限公司，
类型：发明
国别省市：