导流筒悬挂结构及单晶炉制造技术

本发明专利技术涉及单晶炉设备技术领域，提供一种导流筒悬挂结构及单晶炉，对称于导流筒中轴线设有两套，每套悬挂结构包括连接于水冷屏横杆上的挂块及用于悬挂导流筒的挂件，挂块上开设有第一卡槽、第一球形凹槽，第一卡槽自挂块的侧面向内延伸，第一球形凹槽与第一卡槽相交且自挂块的顶面向下沉设；挂件上具有球面凸出部，球面凸出部与第一球形凹槽铰接构成球铰结构。本发明专利技术通过球面凸出部与第一球形凹槽铰接构成的球铰结构，导流筒在位置发生偏移时可以利用自身重力实现自动纠偏，对中性好，从而提高定位精度，保证热场的一致性，能够降低对拉晶作业标准化的影响；同时，第一球形凹槽可以对挂件进行有效限位，进而防止导流筒发生脱钩造成安全事故。造成安全事故。造成安全事故。

【技术实现步骤摘要】
导流筒悬挂结构及单晶炉


[0001]本专利技术涉及单晶炉设备
，具体涉及一种导流筒悬挂结构及单晶炉。

技术介绍

[0002]单晶炉是一种在惰性气体环境中，用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化，并用直拉法生长无错位单晶硅的设备。单晶炉主要包括机架、坩埚驱动装置、主炉室、翻板阀、副炉室、籽晶提升机构、液压驱动装置、真空系统、冲氩气系统及水冷系统。其中主炉室上部与翻板阀密封连接，副炉室放在翻板阀上，主炉室是单晶炉的心脏部位，且热场系统安装在主炉室内。
[0003]单晶炉热场是由加热、保温系统及石墨元器件组成并形成一定温度分布的温度场。石墨元器件主要包括：加热器、保温筒、导流筒、炉底护盘、上保温盖等其他部件。导流筒由内导流筒、外导流筒、导流筒环毡及高纯钼连杆、导流筒支撑环等组成，装配好的导流筒悬挂于水冷屏上，随水冷屏升降移动。
[0004]目前，随着单晶炉炉型增大，投料量增多，对热场定位与炉台安全要求更高，现阶段所使用的热场定位方式已经不能满足大热场的需求，导流筒作为直拉单晶最有效的提高拉速手段，其定位准确性非常重要。但是，现有导流筒通过支撑环悬挂于水冷屏上，支撑环定位精度不高，需要另外增加限位件对导流筒进行定位，安装繁琐，而且安装后导流筒有位置偏移、对中性差，导致热场重复性（即一致性）很差，对拉晶作业标准化影响很大。

技术实现思路

[0005]针对现有技术的不足，本专利技术提供一种导流筒悬挂结构及单晶炉，以解决现有技术中导流筒容易发生位置偏移、定位精度低的问题。
[0006]为实现上述目的，本专利技术提供了以下技术方案：导流筒悬挂结构，对称于导流筒中轴线设有两套，每套悬挂结构包括：挂块，连接于水冷屏的横杆上；及挂件，用于悬挂所述导流筒；其中，所述挂块上开设有第一卡槽、第一球形凹槽，所述第一卡槽自所述挂块的侧面向内延伸，所述第一球形凹槽与所述第一卡槽相交且自所述挂块的顶面向下沉设；所述挂件上具有球面凸出部，所述球面凸出部与所述第一球形凹槽铰接构成球铰结构。
[0007]在本申请公开的一个实施例中，所述第一球形凹槽主要由位于所述第一卡槽两侧的挂块顶面开设的球楔缺口组成；所述球楔缺口的直径大于所述第一卡槽的宽度；所述球楔缺口的球心位于所述第一卡槽宽度方向的中垂面内。
[0008]在本申请公开的一个实施例中，所述挂件包括依次连接的柱头、柱段及柱套；所述球面凸出部设于所述柱头与柱段的连接处；所述柱段与所述第一卡槽卡接连接；
所述柱套与所述导流筒螺纹连接。
[0009]在本申请公开的一个实施例中，所述柱头背对所述柱段的一面开设有一字槽。
[0010]在本申请公开的一个实施例中，还包括带U型缺口的垫片，所述U型缺口自所述垫片边部向内延伸至其中部、其宽度与所述第一卡槽的宽度相等；所述U型缺口终止处的垫片上下两面分别设有球形内凹部、球形外凸部；所述球形内凹部与所述球面凸出部铰接构成球铰结构，所述球形外凸部与所述第一球形凹槽铰接构成球铰结构。
[0011]在本申请公开的一个实施例中，所述挂块上还开设有第二卡槽、第二球形凹槽；所述第二卡槽自所述挂块远离所述第一卡槽的侧面向内延伸，所述第二球形凹槽与所述第二卡槽相交且自所述挂块的顶面向下沉设；所述第二卡槽与所述第一卡槽沿所述横杆的长度方向错开设置，所述球面凸出部可与所述第二球形凹槽铰接构成球铰结构。
[0012]在本申请公开的一个实施例中，所述第二卡槽与第一卡槽均为圆弧卡槽，且与所述水冷屏同心。
[0013]在本申请公开的一个实施例中，所述第二卡槽到水冷屏中心的距离大于所述第一卡槽到水冷屏中心的距离。
[0014]在本申请公开的一个实施例中，所述挂块顶面两端分别设有向上凸起的挡条，所述挡条位于所述第一卡槽和第二卡槽所在侧面的上方、用于所述垫片的限位。
[0015]本专利技术提供的单晶炉，包括导流筒及水冷屏，所述导流筒通过以上所述的悬挂结构与所述水冷屏相连接。
[0016]与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：1、通过球面凸出部与第一球形凹槽铰接构成的球铰结构，导流筒在位置发生偏移时可以利用自身重力实现自动纠偏，对中性好，从而提高定位精度，保证热场的一致性，能够降低对拉晶作业标准化的影响；同时，第一球形凹槽可以对挂件进行有效限位，进而防止导流筒发生脱钩造成安全事故。
[0017]2、通过垫片上下两面分别设置的球形内凹部、球形外凸部，可在挂件与挂块之间构成两个球铰结构，在导流筒位置发生偏移时可以快速完成纠偏，从而提高定位精度，进一步保证热场的一致性。
[0018]3、通过设于挂块的第二卡槽、第二球形凹槽，可以悬挂不同规格（直径）的导流筒，提高了本悬挂结构的适用范围。
[0019]4、通过挡条和第一球形凹槽或挡条和第二球形凹槽对垫片形成双重限位，可避免挂件在第一卡槽或第二卡槽内沿其槽口方向滑动，从而防止导流筒发生轴向转动，进而防止导流筒脱钩，有效提高了本悬挂结构的安全性。
附图说明
[0020]为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0021]图1为本专利技术提供的单晶炉内部的结构示意图；图2为图1中局部A放大结构示意图；图3为水冷屏的立体结构示意图；图4为图3中局部B放大结构示意图；图5为挂件的立体结构示意图；图6为挂件另一角度下的立体结构示意图；图7为垫片的立体结构示意图；图8为垫片另一角度下的立体结构示意图。
具体实施方式
[0022]在下文中，仅简单地描述了某些示例性实施例。正如本领域技术人员可认识到的那样，在不脱离本专利技术的精神或范围的情况下，可通过各种不同方式修改所描述的实施例。因此，附图和描述被认为本质上是示例性的而非限制性的。
[0023]在本专利技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。
[0024]此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本专利技术的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
[0025]在本专利技术中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.导流筒悬挂结构，对称于导流筒中轴线设有两套，其特征在于，每套悬挂结构包括：挂块，连接于水冷屏的横杆上；及挂件，用于悬挂所述导流筒；其中，所述挂块上开设有第一卡槽、第一球形凹槽，所述第一卡槽自所述挂块的侧面向内延伸，所述第一球形凹槽与所述第一卡槽相交且自所述挂块的顶面向下沉设；所述挂件上具有球面凸出部，所述球面凸出部与所述第一球形凹槽铰接构成球铰结构。2.根据权利要求1所述的导流筒悬挂结构，其特征在于：所述第一球形凹槽主要由位于所述第一卡槽两侧的挂块顶面开设的球楔缺口组成；所述球楔缺口的直径大于所述第一卡槽的宽度；所述球楔缺口的球心位于所述第一卡槽宽度方向的中垂面内。3.根据权利要求1或2所述的导流筒悬挂结构，其特征在于：所述挂件包括依次连接的柱头、柱段及柱套；所述球面凸出部设于所述柱头与柱段的连接处；所述柱段与所述第一卡槽卡接连接；所述柱套与所述导流筒螺纹连接。4.根据权利要求3所述的导流筒悬挂结构，其特征在于，所述柱头背对所述柱段的一面开设有一字槽。5.根据权利要求1所述的导流筒悬挂结构，其特征在于：还包括带U型缺口的垫片，所述U型缺口自所述垫片边部向内延伸至其中部、其宽度与所述第一卡槽的宽...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘要普，陈浩，乃家旺，李国华，姚婉莹，张军，马自成，
申请(专利权)人：四川永祥光伏科技有限公司，
类型：发明
国别省市：