【技术实现步骤摘要】
可变底孔直径的导流筒
[0001]本技术涉及热场零件，具体地说是涉及一种由碳/碳复合材料或石墨材料或耐高温金属材料或陶瓷材料制作、组装的可变底孔直径的导流筒。
技术介绍
[0002]在单晶硅的制作中，目前普遍采用直拉法(CZ法)，就是沿着垂直方向从熔体中拉制单晶的方法。在现有技术设备中，随着单晶硅生长的晶体直径越来越粗，相应的单晶炉的直径也越做越大，这样对热场的可靠性和安全性也要求越来越高；单晶硅拉制炉的热场系统，对单晶硅的整棒率及成品率、拉速、单晶硅棒质量影响很大，因此，热场系统设计和热场内关键元件的选材和使用备受关注。
[0003]在太阳能直拉单晶炉中有一个导流筒，也叫热屏，是用石墨或者碳/碳材料制作的，这个装置的主要作用是隔绝硅棒与热源的热量，以便形成温度梯度提高晶体生长速度，让硅由半熔界面形成结晶，提拉成硅棒；对高温硅熔体起保温作用，节约能源。
[0004]现有技术中，单晶硅拉制炉导流筒普遍由石墨件和碳毡组合制成，一种作法是用整块的石墨经过机加工制成整体的导流筒，还有的是，用石墨加工出内屏和外屏，将碳...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种可变底孔直径的导流筒，应用于热场，其特征在于，所述导流筒包括一筒体和一底环片，所述底环片设置在所述筒体的下端，所述底环片为一中间有通孔的片体；其中，所述筒体为一整体式筒体，所述底环片以紧固件连接所述筒体的下沿的下表面；或者是所述底环片设置在所述筒体的下沿的上表面，所述筒体的下沿的上表面包括一平面或一锥面，对应...
【专利技术属性】
技术研发人员：申富强，
申请(专利权)人：上海骐杰碳素材料有限公司，
类型：新型
国别省市：
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