一种直拉法单晶硅生产中的保温装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种直拉法单晶硅生产中的保温装置，包括保温筒主体（1），保温筒主体（1）包括相互配合的外筒体（1a）和内筒体（1b），外筒体（1a）套设在内筒体（1b）的外部，且二者之间形成一个环形空腔（2），环形空腔（2）的底部连有一面相配合的环形底板（3），环形底板（3）上设有一组挡板排孔（4），每个挡板排孔（4）包括一组挡板孔（4a），每组挡板孔（4a）上对应连接一个竖直的挡板（5），挡板（5）的宽度与环形空腔（2）的厚度相配合。本实用新型专利技术的优点是能够有效的对炉内的温度进行保温，并且能够减小硅液中的温度梯度，对单晶生长营造良好的生长环境。对单晶生长营造良好的生长环境。对单晶生长营造良好的生长环境。

【技术实现步骤摘要】
一种直拉法单晶硅生产中的保温装置


[0001]本技术涉及直拉法生产单晶硅设备
，尤其涉及一种直拉法单晶硅生产中的保温装置。

技术介绍

[0002]在直拉法生产单晶硅工艺中，简要过程是先将原料装入单晶炉炉内的石英坩埚中，将炉体密闭后通入氩气，通过干泵将单晶炉炉内气体抽至单晶炉外，通过加热器将料块加热至1400℃左右熔化，经过引晶、放肩、转肩、等径、收尾等操作，完成晶体的生长过程，最后关闭加热器停炉冷却。
[0003]在拉晶的整个过程中，会有大量的热能通过热传导和热辐射的形式被炉体中的冷凝水带走，现有保温毡与保温筒一般通过捆卷形式固定成整体，因此热量通过热传递的形式进行散失，降低了热场保温性，浪费大量的热能，无法对炉内的温度进行保温，并且增加了硅液中的温度梯度，影响到单晶硅的正常生长。

技术实现思路

[0004]本技术目的就是为了解决现有单晶硅生产中热能浪费、无法保温、单晶硅生长易产生异常的问题，提供了一种直拉法单晶硅生产中的保温装置，能够有效的对炉内的温度进行保温，并且能够减小硅液中的温度梯度，对单晶生长营造良好的生长环本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种直拉法单晶硅生产中的保温装置，包括保温筒主体（1），其特征在于：保温筒主体（1）包括相互配合的外筒体（1a）和内筒体（1b），外筒体（1a）套设在内筒体（1b）的外部，且二者之间形成一个环形空腔（2），环形空腔（2）的底部连有一面相配合的环形底板（3），环形底板（3）上设有一组挡板排孔（4），每个挡板排孔（4）包括一组挡板孔（4a），每组挡板孔（4a）上对应连接一个竖直的挡板（5），挡板（5）的宽度与环形空腔（2）的厚度相配合。2.根据权利要求1所述的直拉法单晶硅生...

【专利技术属性】
技术研发人员：李国明，王艺澄，王军磊，
申请(专利权)人：包头美科硅能源有限公司，
类型：新型
国别省市：