一种用于表面微缺陷定位与识别的三光源显微系统装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种用于表面微缺陷定位与识别的三光源显微系统装置，解决了目前的检测方法无法一次获得在不同光源照射条件下的微缺陷图像，缺陷检测准确率低，可检测缺陷的尺寸范围小，光源安装占用空间大，采集的缺陷图像较为单一，难以准确、高效地识别表面微缺陷的问题，包括：背照光源、背照光源散射板、环形光源、同轴镜头、同轴光源和CCD相机，背照光源、背照光源散射板、环形光源、同轴镜头和CCD相机依次序同轴设置，同轴镜头上还安装有同轴光源，同轴光源的中心轴线垂直于同轴镜头的中心轴线，将光学元件置于背照光源散射板和环形光源之间，通过三光源显微系统装置对光学元件的表面缺陷进行定位和识别。表面缺陷进行定位和识别。表面缺陷进行定位和识别。

【技术实现步骤摘要】
一种用于表面微缺陷定位与识别的三光源显微系统装置


[0001]本专利技术涉及工程光学的
，尤其涉及一种用于表面微缺陷定位与识别的三光源显微系统装置。

技术介绍

[0002]大口径熔石英光学元件是高功率固体激光装置的终端光学组件中应用最为普遍的光学元器件，它是一种典型的硬脆材料，在冷加工过程中易产生微裂纹、凹坑等表层或亚表层微缺陷，尤其是在高功率固体激光系统中，当大口径熔石英光学元件在三倍频紫外强激光的辐照下，更易于产生微裂纹、微凹坑等烧蚀点微缺陷。当微裂纹或微凹坑等烧蚀点微缺陷出现时，光学元件的通光性能、热力学特性会被弱化，严重影响了强激光输出的能流密度及光学元件的使用寿命。微缺陷产生后需要采取激光微修复等措施，否则损伤点将呈指数性增长，最终导致整个光学元件损坏。在采取激光修复前，需要采用一定的方法将微缺陷检测出来。
[0003]目前，光学元件表面微缺陷检测采用的方法是图像识别检测法。该检测方法通过借助CCD相机，来采集光学元件表面图像，再经过图像处理以完成表面微缺陷的定位、真伪缺陷识别等工作，但该检测方法无法一次获得在不同光源照本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于表面微缺陷定位与识别的三光源显微系统装置，其特征在于，包括：背照光源(1)、背照光源散射板(3)、环形光源(5)、同轴镜头(6)、同轴光源(7)和CCD相机(8)，所述背照光源(1)、所述背照光源散射板(3)、所述环形光源(5)、所述同轴镜头(6)和所述CCD相机(8)依次序同轴设置，同轴镜头(6)的一端和所述环形光源(5)连接，同轴镜头(6)的另一端和所述CCD相机(8)连接，所述同轴镜头(6)上还安装有所述同轴光源(7)，同轴光源(7)的中心轴线垂直于同轴镜头(6)的中心轴线，将光学元件(4)置于所述背照光源散射板(3)和所述环形光源(5)之间，通过所述三光源显微系统装置对光学元件(4)的表面缺陷进行定位和识别。2.根据权利要求1所述的用于表面微缺陷定位与识别的三光源显微系统装置，其特征在于，还包括：背照光源安装架(2)，所述背照光源安装架(2)置于水平面上，所述背照光源(1)和所述背照光源散射板(3)均安装在所述背照光源安装架(2)上。3.根据权利要求2所述的用于表面微缺陷定位与识别的三光源显微系统装置，其特征在于，还包括：明场镜头安装支架，所述明场镜头安装支架置于所述水平面上，所述环形光源(5)、所述同轴镜头(6)和所述CCD相机(8)均安装在所述明场镜头安装支架上。4.根据权利要求3所述的用于表面微缺陷...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵林杰，陈明君，林志宇，尹朝阳，程健，袁晓东，郑万国，廖威，王海军，张传超，
申请(专利权)人：哈尔滨工业大学，
类型：发明
国别省市：