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本发明公开了一种用于表面微缺陷定位与识别的三光源显微系统装置，解决了目前的检测方法无法一次获得在不同光源照射条件下的微缺陷图像，缺陷检测准确率低，可检测缺陷的尺寸范围小，光源安装占用空间大，采集的缺陷图像较为单一，难以准确、高效地识别表面微...
该专利属于哈尔滨工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过哈尔滨工业大学授权不得商用。

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