一种刻蚀终点检测装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种刻蚀终点检测装置，涉及刻蚀技术领域，针对现有的湿法蚀刻终点检测装置在使用时，由于一般多是通过测量刻蚀液的变化检测终点，导致对蚀刻设备密封性要求高，且检测数据误差大的问题，现提出如下方案，其包括承载板和滑动块，所述承载板的顶端开设有滑槽，所述承载板的底端安装有两个呈对称设置的支撑板，所述支撑板与承载板之间固定安装有压力传感器，所述承载板的顶端固定安装有两个呈对称设置的固定块，两个所述固定块之间固定安装有两个呈对称设置的滑动杆，两个所述固定块之间转动安装有螺纹杆。本实用新型专利技术结构新颖，不仅具有刻蚀终点检测功能，且具有对待刻蚀物件的悬空平稳夹持功能，适宜推广。适宜推广。适宜推广。

【技术实现步骤摘要】
一种刻蚀终点检测装置


[0001]本技术涉及刻蚀
，尤其涉及一种刻蚀终点检测装置。

技术介绍

[0002]在LCD显示器的生产制造过程中，经常涉及到采用湿刻工艺对基板表面的导电层进行刻蚀，得到具有特殊导电功能的电极。在湿刻工艺中需要较好的把握刻蚀时间，因为刻蚀时间过短可能会造成导电层残留过多，而刻蚀时间过长则可能会造成过刻甚至电极被刻断，因此，刻蚀时间控制的精确与否会直接关系到能否形成原始设计所要求的电极，刻蚀时间成为需要监控的一个重要参数。
[0003]针对现有的湿法蚀刻终点检测装置在使用时，由于一般多是通过测量刻蚀液的变化检测终点，导致对蚀刻设备密封性要求高，且检测数据误差大。因此，为了解决此类问题，我们提出一种刻蚀终点检测装置。

技术实现思路

[0004]本技术提出的一种刻蚀终点检测装置，解决了现有的湿法蚀刻终点检测装置在使用时，由于一般多是通过测量刻蚀液的变化检测终点，导致对蚀刻设备密封性要求高，且检测数据误差大的问题。
[0005]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：
[0006]一种刻蚀终点检测装置，包括承载板和滑动块，所述承载板的顶端开设有滑槽，所述承载板的底端固定安装有两个呈对称设置的支撑板，所述支撑板与承载板之间固定安装有压力传感器，所述承载板的顶端固定安装有两个呈对称设置的固定块，两个所述固定块之间固定安装有两个呈对称设置的滑动杆，两个所述固定块之间转动安装有螺纹杆，所述螺纹杆上设置有两段螺距相同且旋向相反的螺纹，所述承载板的顶端固定安装有伺服电机，所述伺服电机的输出轴与螺纹杆共同套接有联轴器；
[0007]两个所述滑动杆共同滑动套接有两个呈对称设置的滑动块，所述滑动块的底端固定安装有两个呈对称设置的固定杆，两个所述固定杆的底端共同固定安装有夹持块，所述夹持块的侧壁安装有缓冲夹持机构。
[0008]优选的，所述滑动块的截面呈梯形设置，所述滑动块与螺纹杆呈螺纹连接设置。
[0009]优选的，所述支撑板的顶端开设有凹槽，所述压力传感器与凹槽匹配，所述压力传感器的型号为LFC
‑
10。
[0010]优选的，所述缓冲夹持机构包括滑动柱、夹持板、固定板和复位弹簧，所述夹持块内滑动安装有两个呈对称设置的滑动柱，两个所述滑动柱的靠近固定块的端部共同固定安装有夹持板，两个所述滑动柱的远离夹持板的端部共同固定安装有固定板，所述夹持板与夹持块之间固定安装有复位弹簧。
[0011]优选的，所述滑动柱与夹持块呈贯穿设置。
[0012]优选的，所述复位弹簧与滑动柱呈套接设置。
[0013]本技术的有益效果为：
[0014]1、通过对缓冲夹持机构的安装，当两个夹持板接触待刻蚀物件上的无需刻蚀表面后停止移动，夹持块继续移动一定距离，复位弹簧受到挤压实现缓冲保护，具有对待刻蚀物件的悬空平稳夹持功能。
[0015]2、通过对支撑板与承载板的配合安装，支撑板与承载板之间的压力传感器能够对待承载板重量变化进行实时监检测，继而具有对待刻蚀物件的重量变化实时检测功能，具有刻蚀终点检测功能。
[0016]综上所述，本技术不仅具有刻蚀终点检测功能，且具有对待刻蚀物件的悬空平稳夹持功能，解决了现有的湿法蚀刻终点检测装置在使用时，由于一般多是通过测量刻蚀液的变化检测终点，导致对蚀刻设备密封性要求高，且检测数据误差大的问题，适宜推广。
附图说明
[0017]图1为本技术的结构示意图；
[0018]图2为本技术的压力传感器与支撑板的安装结构图；
[0019]图3为本技术的缓冲夹持机构的安装结构图。
[0020]图中标号：1、承载板；2、滑动块；3、滑槽；4、支撑板；5、压力传感器；6、固定块；7、滑动杆；8、螺纹杆；9、伺服电机；10、固定杆；11、夹持块；12、滑动柱；13、夹持板；14、固定板；15、复位弹簧。
具体实施方式
[0021]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。
[0022]参照图1和图2，一种刻蚀终点检测装置，包括承载板1和滑动块2，通过在承载板1的顶端开设滑槽3，实现固定杆10在承载板1内的滑动，通过在承载板1的底端固定安装两个呈对称设置的支撑板4，对检测装置起到支撑作用，通过在支撑板4与承载板1之间固定安装压力传感器5，且早支撑板4的顶端开设凹槽，使得压力传感器5与凹槽匹配，并且压力传感器5的型号为LFC
‑
10，实现对检测物件重量变化的实时监控，通过在承载板1的顶端固定安装两个呈对称设置的固定块6，且在两个固定块6之间固定安装两个呈对称设置的滑动杆7，对缓冲夹持机构具有支撑作用，通过在两个固定块6之间转动安装螺纹杆8，且在螺纹杆8上设置两段螺距相同且旋向相反的螺纹，配合在承载板1的顶端固定安装伺服电机9，并且使伺服电机9的输出轴与螺纹杆8共同套接联轴器，实现两个滑动块2的间距自动调节。
[0023]参照图1，通过在两个滑动杆7共同滑动套接两个呈对称设置的滑动块2，且使滑动块2的截面呈梯形设置，并且使滑动块2与螺纹杆8呈螺纹连接设置，使两个滑动块2的间距可调，通过在滑动块2的顶端固定安装两个呈对称设置的固定杆10，并且在两个固定杆10的底端共同固定安装夹持块11，具有对缓冲夹持机构的支撑功能。
[0024]参照图3，通过在夹持块11的侧壁安装缓冲夹持机构，实现对待检测物件的夹持固定，缓冲夹持机构包括滑动柱12、夹持板13、固定板14和复位弹簧15，通过早夹持块11内滑
动安装两个呈对称设置的滑动柱12，且使滑动柱12与夹持块11呈贯穿设置，实现滑动柱12在夹持块11内的滑动，通过在两个滑动柱12的靠近固定块6的端部共同固定安装夹持板13，对待夹持物件具有夹持功能，通过在两个滑动柱12的远离夹持板13的端部共同固定安装固定板14，具有机构防脱落功能，通过在夹持板13与夹持块11之间固定安装复位弹簧15，且使复位弹簧15与滑动柱12呈套接设置，具有夹持缓冲功能。
[0025]工作原理：该刻蚀终点检测装置在使用时，首先将支撑板4放置在刻蚀箱体的顶端，接着将待刻蚀物件放置在两个夹持块11之间，接着打开伺服电机9，螺纹杆8与伺服电机9的输出轴同步转动，带动滑动块2在滑动杆7上滑动，固定杆10与夹持块11同步滑动，夹持板13接触待刻蚀物件上的无需刻蚀表面后停止移动，夹持块11继续移动一定距离，挤压复位弹簧15，实现缓冲保护，完成悬空夹持，接着对物件进行刻蚀，物件的重量持续减小，承载板1与支撑板4之间的压力传感器5对重量变化进行实时检测，设定最大变化量为刻蚀终点，实现刻蚀终点检测。
[0026]以上所述，仅为本技术较佳的具体实施方式，但本技术的保护范围并不局限于此，任何熟悉本
的技术人员在本技术揭露的技术范围内，根据本技术的技术本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种刻蚀终点检测装置，包括承载板(1)和滑动块(2)，其特征在于，所述承载板(1)的顶端开设有滑槽(3)，所述承载板(1)的底端固定安装有两个呈对称设置的支撑板(4)，所述支撑板(4)与承载板(1)之间固定安装有压力传感器(5)，所述承载板(1)的顶端固定安装有两个呈对称设置的固定块(6)，两个所述固定块(6)之间固定安装有两个呈对称设置的滑动杆(7)，两个所述固定块(6)之间转动安装有螺纹杆(8)，所述螺纹杆(8)上设置有两段螺距相同且旋向相反的螺纹，所述承载板(1)的顶端固定安装有伺服电机(9)，所述伺服电机(9)的输出轴与螺纹杆(8)共同套接有联轴器；两个所述滑动杆(7)共同滑动套接有两个呈对称设置的滑动块(2)，所述滑动块(2)的底端固定安装有两个呈对称设置的固定杆(10)，两个所述固定杆(10)的底端共同固定安装有夹持块(11)，所述夹持块(11)的侧壁安装有缓冲夹持机构。2.根据权利要求1所述的一种刻蚀终点检测装置，其特征在于，所述滑动块(2)的截面呈梯形设置，...

【专利技术属性】
技术研发人员：雷胜，
申请(专利权)人：无锡圆诺电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：