本实用新型专利技术提出了一种晶圆蓝膜框架旋转定位装置，包括架体，还包括夹持定位机构和旋转接料机构，所述旋转接料机构与夹持定位机构均设置于所述架体上，所述夹持定位机构包括连接组件、左夹持组件以及右夹持组件，所述左夹持组件与右夹持组件分别连接于所述连接组件的两端，所述旋转接料机构位于所述左夹持组件与右夹持组件之间，所述旋转接料机构包括旋转组件与框架吸附组件，所述旋转组件用于控制所述框架吸附组件的旋转。通过将蓝膜框架的旋转定位工作从晶圆AOI设备中独立出来，使得晶圆蓝膜框架的旋转不需要在晶圆线阵检测设备中完成，因而能够解决检测平台的微抖动问题，从而能够进一步的提高AOI设备的工作效率。而能够进一步的提高AOI设备的工作效率。而能够进一步的提高AOI设备的工作效率。
【技术实现步骤摘要】
一种晶圆蓝膜框架旋转定位装置
[0001]本技术属于晶圆定位搬送
，具体涉及一种晶圆蓝膜框架旋转定位装置。
技术介绍
[0002]现有的8寸和12寸晶圆进行切割前需粘附在蓝膜框架上，粘附方向通常有横、竖两个方向，对于应用面阵相机做检测晶圆AOI设备来说，蓝膜框架可直接搬至X、Y轴检测平台，而应用线阵相机做检测的，则在检测平台上加一可旋转90
°
的θ伺服轴用于旋转蓝膜框架。
[0003]然而，应用线阵相机做检测的条件比较苛刻，对扫描运动的平顺性和平稳性有很高的要求。当检测对象到达5um以下时，旋转伺服轴在停止状态下的微抖动，对高分辨率的图像采集有很大影响，因而有90
°
旋转伺服轴的检测平台不能满足线阵相机的高分辨率图像采集工作。
[0004]有鉴于此，设计制造出一种能够克服晶圆蓝膜框架在晶圆线阵检测设备中的旋转存在微抖动的问题，且能够提高AOI设备工作效率就显得尤为重要。
技术实现思路
[0005]为了解决现有检测平台的微抖动问题、AOI设备工作效率低等问题，本申请提供一种晶圆蓝膜框架旋转定位装置，以解决晶圆蓝膜框架在晶圆线阵检测设备中旋转时存在的技术缺陷问题。
[0006]本技术提出了一种晶圆蓝膜框架旋转定位装置，包括架体，还包括夹持定位机构和旋转接料机构，所述旋转接料机构与夹持定位机构均设置于所述架体上，所述夹持定位机构包括连接组件、左夹持组件以及右夹持组件，所述左夹持组件与右夹持组件分别连接于所述连接组件的两端，所述旋转接料机构位于所述左夹持组件与右夹持组件之间，所述旋转接料机构包括旋转组件与框架吸附组件，所述旋转组件用于控制所述框架吸附组件的旋转。通过将蓝膜框架的旋转定位工作从晶圆AOI设备中独立出来，即先对晶圆蓝膜框架的进行旋转定位后再送入到晶圆线阵检测设备中检测，使得晶圆蓝膜框架的旋转不需要在晶圆线阵检测设备中完成，因而能够解决检测平台的微抖动问题，从而能够进一步的提高AOI设备的工作效率。
[0007]优选的，所述连接组件包括第一导轨、传动机构以及驱动件，所述左夹持组件与右夹持组件分别滑动连接于所述第一导轨的两端，所述左夹持组件与右夹持组件之间通过所述传动机构实现联动，所述驱动件用于调节所述左夹持组件与右夹持组件之间的间距。左夹持组件与右夹持组件通过传动机构实现联动，使得左夹持组件与右夹持组件能够在第一导轨上滑移，通过驱动件的动作，能够调节左夹持组件与右夹持组件之间的间距，以实现对晶圆蓝膜框架的夹持与定位，简单高效。
[0008]进一步优选的，所述旋转组件包括第二导轨、摆缸以及升降气缸，所述摆缸设置在所述架体上，所述第二导轨固定连接于所述摆缸的表面，所述升降气缸的输出轴与所述框
架吸附组件固定连接，所述升降气缸用于驱动所述框架吸附组件在所述第二导轨上滑移。框架吸附组件用于对晶圆蓝膜框架的吸附，摆缸与升降气缸之间通过第二导轨连接，当升降气缸动作时能够带动框架吸附组件以及晶圆蓝膜框架在摆缸的上表面升降，借助摆缸的动作，实现对框架吸附组件以及晶圆蓝膜框架角度的旋转。
[0009]进一步优选的，所述传动机构包括同步带以及两组同步带轮，两组所述同步带轮转动连接在所述架体上，所述同步带与所述同步带轮相互啮合，所述同步带的两端分别与所述左夹持组件以及右夹持组件固定连接。通过同步带与同步带轮之间的啮合关系，由于同步带的两端分别与左夹持组件以及右夹持组件固定连接，能够实现左夹持组件与右夹持组件之间的联动，方便了对框架吸附组件的夹紧与定位。
[0010]优选的，所述驱动件设置为笔形气缸，所述笔形气缸的活塞杆与所述左夹持组件固定连接。笔形气缸其具有结构紧凑，外观美观的特性，由于前后通过螺纹安装固定，能够有效的节省安装空间，能够保证对左夹持组件的驱动工作的稳定性好。
[0011]进一步优选的，所述摆缸设置为90
°
摆缸，所述90
°
摆缸固定于所述夹持定位机构的轴心处。90
°
摆缸的运行工作稳定，能够稳定的带动晶圆蓝膜框架旋转90
°
，完成对晶圆蓝膜框架的旋转工作，操作简单高效。
[0012]优选的，所述第一导轨设置为LM导轨，所述左夹持组件以及右夹持组件分别与位于所述LM导轨两端的连接块固定连接。LM导轨具有较高的灵敏度，且其动摩擦与静摩擦系数相差甚微，因而能够保证左夹持组件与右夹持组件之间运动平稳，确保对晶圆蓝膜框架的夹紧与定位的效果好。
[0013]优选的，所述框架吸附组件上设置有若干组吸盘，所述吸盘包括内吸盘与外吸盘，所述内吸盘与外吸盘距离所述框架吸附组件的距离不一致。内吸盘与外吸盘的设置，能够适用于对不同尺寸的晶圆蓝膜框架的吸附固定，提高了装置的适用性。
[0014]优选的，所述内吸盘与外吸盘均设置有四组。能够确保对晶圆蓝膜框架的吸附于固定的效果好。
[0015]与现有技术相比，本技术的有益成果在于：
[0016](1)通过将蓝膜框架的旋转定位工作从晶圆AOI设备中独立出来，使得晶圆蓝膜框架的旋转不需要在晶圆线阵检测设备中完成，因而能够解决检测平台的微抖动问题，从而能够进一步的提高AOI设备的工作效率。
[0017](2)通过驱动件的动作，能够调节左夹持组件与右夹持组件之间的间距，以实现对晶圆蓝膜框架的夹持与定位；当升降气缸动作时能够带动框架吸附组件以及晶圆蓝膜框架在摆缸的上表面升降，借助摆缸的动作，实现对框架吸附组件以及晶圆蓝膜框架角度的旋转。
附图说明
[0018]包括附图以提供对实施例的进一步理解并且附图被并入本说明书中并且构成本说明书的一部分。附图图示了实施例并且与描述一起用于解释本技术的原理。将容易认识到其它实施例和实施例的很多预期优点，因为通过引用以下详细描述，它们变得被更好地理解。附图的元件不一定是相互按照比例的。同样的附图标记指代对应的类似部件。
[0019]图1是根据本技术实施例的晶圆蓝膜框架旋转定位装置的正视图；
[0020]图2是根据本技术实施例的晶圆蓝膜框架旋转定位装置的爆炸图；
[0021]图3是根据本技术实施例的晶圆蓝膜框架旋转定位装置的仰视图；
[0022]图4是根据本技术实施例的框架吸附组件的结构示意图。
[0023]图中各编号的含义：1、架体；2、夹持定位机构；21、连接组件；211、第一导轨；212、传动机构；2121、同步带；2122、同步带轮；213、驱动件；22、左夹持组件；23、右夹持组件；3、光电传感器；4、旋转接料机构；41、旋转组件；411、第二导轨；412、摆缸；413、升降气缸；42、框架吸附组件；421、内吸盘；422、外吸盘。
具体实施方式
[0024]在以下详细描述中，参考附图，该附图形成详细描述的一部分，并且通过其中可实践本技术的说明性具体实施例来示出。对此，参考描述的图的取向来使用方向术语，例如“顶”、“底”、“左”、“右”、“上”、本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种晶圆蓝膜框架旋转定位装置，包括架体，其特征在于，还包括夹持定位机构和旋转接料机构，所述旋转接料机构与夹持定位机构均设置于所述架体上，所述夹持定位机构包括连接组件、左夹持组件以及右夹持组件，所述左夹持组件与右夹持组件分别连接于所述连接组件的两端，所述旋转接料机构位于所述左夹持组件与右夹持组件之间，所述旋转接料机构包括旋转组件与框架吸附组件，所述旋转组件用于控制所述框架吸附组件的旋转。2.根据权利要求1所述的晶圆蓝膜框架旋转定位装置，其特征在于，所述连接组件包括第一导轨、传动机构以及驱动件，所述左夹持组件与右夹持组件分别滑动连接于所述第一导轨的两端，所述左夹持组件与右夹持组件之间通过所述传动机构实现联动，所述驱动件用于调节所述左夹持组件与右夹持组件之间的间距。3.根据权利要求2所述的晶圆蓝膜框架旋转定位装置，其特征在于，所述旋转组件包括第二导轨、摆缸以及升降气缸，所述摆缸设置在所述架体上，所述第二导轨固定连接于所述摆缸的表面，所述升降气缸的输出轴与所述框架吸附组件固定连接，所述升降气缸用于驱动所述框架吸附组件在所述第二导轨上滑移。4.根据权利要求3所述的晶圆...
【专利技术属性】
技术研发人员：胡俊林，蔡章华，孙会民，
申请(专利权)人：厦门柯尔自动化设备有限公司，
类型：新型
国别省市：
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