下载一种晶圆蓝膜框架旋转定位装置的技术资料

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本实用新型提出了一种晶圆蓝膜框架旋转定位装置,包括架体,还包括夹持定位机构和旋转接料机构,所述旋转接料机构与夹持定位机构均设置于所述架体上,所述夹持定位机构包括连接组件、左夹持组件以及右夹持组件,所述左夹持组件与右夹持组件分别连接于所述连接...
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