胶带粘结装置及胶带粘结方法制造方法及图纸

本发明专利技术的目的在于提供一种，能够将胶带部件良好地粘结于工件上，能够谋求工序的简单化、成本的削减及粘结强度的提高的胶带粘结装置及胶带粘结方法；是将胶带部件（１２）粘结于工件（１１）的胶带粘结装置（１０），设有：载置工件（１１）的伸缩薄板部件（２５），位于伸缩薄板部件（２５）顶面侧的真空室（５０），位于伸缩薄板部件（２５）底面侧的空气引入部（５１），载置伸缩薄板部件（２５）的载置部（２２ｂ），以防止相对于真空室（５０）空气导通的状态保持伸缩薄板部件（２５）的保持部件（２６），在工件（１１）顶部保持胶带部件（１２）的胶带保持手段（６６），将真空室（５０）的内部抽真空的第一吸引手段（３６），将空气引入部（５１）抽真空的第二吸引手段（３６），将空气引入空气引入部（５１）的空气引入手段（４１），以及将空气以加压状态引入真空室（５０）的内部的加压手段（３６）。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及的是使胶带部件粘结于工件的。
技术介绍
在半导体的制造工序中，存在在半导体片(以下，称为“晶片”)的表面形成电路图之后，将晶片背面研磨来谋求薄型化，从而对应所形成半导体晶片的小型化及薄型化的情况。另外，也存在使用药液实施化学腐蚀处理，从而进行谋求该晶片薄型化的制造工序的情况。在相关制造工序中，在晶片表面粘贴有粘着状的保护胶带(以下，称为“胶带部件”)。由此，防止了晶片表面被污染、或该晶片的表面受损而电路损坏的情况。作为使胶带部件粘结于这样的晶片表面的胶带粘结装置，有专利文献1所记载的装置。在该专利文献1所记载的胶带粘结装置中，从主体侧空间及上盖侧空间双方均为真空的状态，将上盖侧空间转换为大气压。由此，在上盖侧空间和主体侧空间之间产生压差，并通过该压差橡胶薄板向主体侧空间鼓起。而且，通过该鼓起，橡胶薄板按压胶带部件，并使胶带部件粘结于工件。另外，作为其他粘贴装置，有专利文献2所记载的装置。在该专利文献2所记载的装置中，利用第一真空室和第二真空室之间的压差，使平滑性高的底座中央部向胶带部件侧弯曲。与此同时，一边将中央部弯曲的底座按压在粘贴于晶片的胶带部件上，一边通过升降装置的驱动将晶片提升。通过这样地操作，一边将空气从胶带部件的中央侧向外方挤压，一边相对于晶片粘结胶带部件。专利文献1特开2003-7808号公报(参照0007段、图2～4) 专利文献2特开2000-349047号公报(参照说明书摘要、图1～5)
技术实现思路
专利技术所要解决的问题上述专利文献1所记载的构成，仅停留于构思阶段，其构成并不具体。因此，在欲根据此构成实际实施的情况下，会发生种种不良情况。例如，在专利文献1所记载的构成中，由于橡胶薄板位于顶部，因此为了除去该橡胶薄板因自重而发生的松驰，必须相当地提高设置橡胶薄板时的张力。因此，存在橡胶薄板的安装作业变得困难的课题。特别是，为了有效地进行胶带部件的粘结，在开始将胶带部件粘结于晶片的作业的初始位置上，通常与橡胶薄板接触的胶带部件和晶片之间的间隙小。在此间隙小的状态下，橡胶薄板发生松驰的话，存在从进行抽真空前的阶段胶带部件粘结于晶片，气泡进入该粘结面内的不良情况的发生。另外，在专利文献1所记载的构成中，设有多个顶紧螺钉，有必要使这些顶紧螺钉全部进行旋转，在需要使顶紧螺钉同时旋转时成为困难的作业。进而，在专利文献1所记载的构成中，必须以除去上盖的状态设置胶带部件和晶片。因此，需要额外的工时。另外，在专利文献2所记载的构成中，利用第一真空室和第二真空室之间的压差使玻璃板等的底座弯曲，相对于粘贴有晶片的胶带部件使底座进行粘结，同时，从该粘结状态进而将粘贴有晶片的胶带部件及底座提升。因此，设有两阶段的粘结工序，费事，成本上也不理想。另外，为了将晶片等提升，需要另设升降装置，因此构成变得复杂，该部分也需花费成本。本专利技术是基于上述情况而作成的，其目的在于提供一种，能够一边除去橡胶薄板的松驰一边将胶带部件良好地粘结于工件，同时，能够谋求工序的简略化、成本的削减以及粘结强度的提高的胶带粘结装置、及胶带粘结方法。解决课题的手段为了解决上述课题，本专利技术的胶带粘结装置是将胶带部件粘结于工件上的胶带粘结装置，设有在顶面载置工件的伸缩薄板部件；位于伸缩薄板部件的顶面侧，同时，通过该伸缩薄板部件被隔开的真空室；位于伸缩薄板部件的底面侧，同时，通过该伸缩薄板部件被隔开的空气引入部；位于作为伸缩薄板部件的底面侧、且不与空气引入部发生干扰的部位，同时，载置伸缩薄板部件的载置部；以防止相对于真空室空气导通的状态，保持伸缩薄板部件的保持部件；在载置于伸缩薄板部件上的工件顶部，保持胶带部件的胶带保持手段；将真空室的内部抽真空的第一吸引手段；将空气引入部抽真空的第二吸引手段；将空气引入空气引入部的空气引入手段；以及将空气以加压状态引入真空室内部的加压手段。通过形成这样的构成，工件被载置于伸缩薄板部件的顶面，在其顶部通过胶带保持手段保持有胶带部件。然后，在该状态下，使第一吸引手段及第二吸引手段工作，进行真空室及空气引入部的排气。其后，使空气引入手段工作，并将空气引入空气引入部的内部。于是，通过被维持真空状态的真空室和被引入空气的空气引入部之间的压差，以保持部件密封其边界部分的伸缩薄板部件向真空室内部膨胀。然后，通过该膨胀，伸缩薄板部件将工件提升，并通过该提升，工件与胶带部件接触。从该状态伸缩薄板部件进一步膨胀的话，工件进一步被提升。由此，能够良好地使胶带部件粘结于工件的整个面上。这样，通过将工件载置于伸缩薄板部件的顶面，并在该载置状态下使伸缩薄板部件膨胀，能够一边防止气泡进入一边将胶带部件粘结于工件上。在该粘结中，与使工件位于伸缩薄板部件底面的情况相比，能够除去伸缩薄板部件松驰的影响。因此，不再需要对伸缩薄板部件赋予大的张力，构成变得简单。另外，由于是利用伸缩薄板部件膨胀的构成，因此不需要使工件向胶带部件移动的特别构成。因此，能够以简单的构成使工件向胶带部件移动。另外，在胶带部件的粘结之后使加压手段工作，并将空气以加压状态引入真空室内部。于是，与工件粘结的胶带部件通过加压被按压于工件上。因此，能够提高胶带部件对工件的粘结性，能够防止胶带部件容易从工件剥离的情况。另外，其他专利技术在上述专利技术的基础上进而，设有控制第一吸引手段、第二吸引手段、空气引入手段以及加压手段工作的控制手段，同时，该控制手段使第一吸引手段及第二吸引手段工作，并进行真空室及空气引入部的抽真空；在抽真空之后，使空气引入手段工作并将空气引入空气引入部；通过该空气的引入，使伸缩薄板部件向真空室内部膨胀；通过伸缩薄板部件的膨胀，使工件向胶带部件提升并与胶带部件粘结；在胶带部件的粘结之后，使加压手段工作，并将空气以加压状态引入真空室内部。在这样构成的情况下，通过利用控制手段的工作控制，首先开始第一吸引手段及第二吸引手段的工作，从而进行抽真空。然后，在该抽真空之后，通过利用控制手段的工作控制，空气引入手段进行工作。由此，空气被引入空气引入部。然后，通过该空气的引入，能够使伸缩薄板部件向真空室的内部膨胀。伸缩薄板部件膨胀的话，工件被向胶带部件提升。由此，能够使工件粘结于胶带部件。另外，在胶带部件的粘结之后，使加压手段工作，能够使胶带部件相对于工件的粘结性提高。进而，其他专利技术在上述各专利技术的基础上进而，控制手段在进行真空室及空气引入部的抽真空时，首先使第二吸引手段工作，然后使第一吸引手段工作。在这样构成的情况下，通过第二吸引手段先进行工作，相对于真空室空气引入部的压力降低。因此，伸缩薄板部件被按压于载置部。这样进行的话，能够防止伸缩薄板部件先向真空室侧膨胀。因此，能够防止在空气引入手段工作并引入空气前的阶段工件和胶带部件被粘结，只有在为了不使气泡进入而进行抽真空之后，才能够使工件和胶带部件粘结。另外，其他专利技术在上述各专利技术的基础上进而，胶带粘结装置设有主体部、和相对于该主体部开关自如设置的盖体部；在将盖体部相对于主体部关闭的情况下，将密封闭塞盖体部和主体部之间的密封部件设置于该盖体部和主体部的边界部分上；同时，在盖体部的闭塞状态下，在该盖体部和伸缩薄板部件之间形成真空室。在这样构成的情况下，盖体部相对于主体部开关自如。这样的话，通过盖体部的开关，能够容易地进行工件和本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种胶带粘结装置，是将胶带部件粘结于工件上的胶带粘结装置，其特征在于，设有：在顶面载置上述工件的伸缩薄板部件；位于上述伸缩薄板部件的顶面侧，同时，通过该伸缩薄板部件被隔开的真空室；位于上述伸缩薄板部件的底面侧，同时， 通过该伸缩薄板部件被隔开的空气引入部；位于作为上述伸缩薄板部件的底面侧、且不与上述空气引入部发生干扰的部位，同时，载置上述伸缩薄板部件的载置部；以防止相对于上述真空室空气导通的状态，保持上述伸缩薄板部件的保持部件；在 载置于上述伸缩薄板部件上的上述工件顶部，保持上述胶带部件的胶带保持手段；将上述真空室的内部抽真空的第一吸引手段；将上述空气引入部抽真空的第二吸引手段；将空气引入上述空气引入部的空气引入手段；以及将空气以加压状 态引入上述真空室内部的加压手段。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：齐藤公一，铃木铁司，
申请(专利权)人：有限会社都波岐精工，
类型：发明
国别省市：JP[日本]