一种剥离光阻的装置及其控制方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种剥离光阻的装置，包括有效成分添加装置、补给监控装置、若干个剥离槽和若干个存储槽，若干个剥离槽分别连通有存储槽，若干个存储槽之间互相连接；存储槽至少包括第一存储槽和第N存储槽，第一存储槽上设置有出液管，第N剥离槽上设置有进液管；有效成分添加装置和第一存储槽通过管道连接，管道上设置有开关阀；补给监控装置分别和第一存储槽、有效成分添加装置连接，补给监控装置与有效成分添加装置通信连接；补给监控装置通过进液管对第N存储槽添加剥离液新液，补给监控装置通过出液管排放第一存储槽中的剥离液废液，补给监控装置控制若干个存储槽之间的连通状态。本发明专利技术还涉及一种控制上述剥离光阻的装置的方法。法。法。

【技术实现步骤摘要】
一种剥离光阻的装置及其控制方法


[0001]本专利技术涉及显示
，特别涉及一种剥离光阻的装置及其控制方法。

技术介绍

[0002]薄膜晶体管液晶显示器(Thin Film Transistor Liquid Crystal Display，TFT
‑
LCD)可视为两片玻璃基板中间夹着一层液晶，上层玻璃基板(CF基板)上设置有彩色滤光片、下层玻璃基板(TFT基板)上设置有薄膜晶体管。当电流通过薄膜晶体管时，产生电场变化，电场的变化引起液晶分子偏转，从而来改变光线的偏极性，而实现预期的显示画面。
[0003]在TFT
‑
LCD的TFT基板的制程工艺中需要多道制程工艺，其中每一道制程工艺都会涉及到光阻的剥离，而剥离液(Stripper)被大量广泛的应用在图案形成后的剥离工序。现有的水系剥离液基本组成包括有机胺、有机溶剂、添加剂、水。现有剥离光阻的方式是将光阻融入到剥离药液中，有机胺类物质可将光阻的大分子切断为小分子，有机溶剂类物质与光阻发生渗透，使光阻软化、膨胀溶解，然后剥离光阻。由于是将光阻融入到剥离药液中实现对光阻的剥离，剥离光阻后剥离药液中光阻的浓度会逐渐增加，使得剥离药液的剥离能力逐渐下降。
[0004]剥离液在TFT基板的制程工艺中的消耗量比较大，并且剥离液的生产成本较高。水系剥离液在剥离的反应过程中，水分会逐渐降低，降低到一定程度时需要将剥离槽(即装有剥离液的槽体)内的剥离液废液排掉更换新的剥离液，排放的废液中含有较高浓度的有机类物质(包括有机胺、有机溶剂)，剥离液的没有得到充分的利用。

技术实现思路

[0005]针对现有技术中存在的技术问题，本专利技术提供一种剥离光阻的装置以及该装置的控制方法，该剥离光阻的装置能实现减少排放的剥离液废液中的有效成分，从而减少剥离液的更新频度，因此能显著提高剥离液的利用率。
[0006]本专利技术提供一种剥离光阻的装置，包括有效成分添加装置、补给监控装置、若干个剥离槽和若干个存储槽，剥离槽和存储槽的数量相同，若干个剥离槽分别连通有存储槽，若干个存储槽之间互相连接。
[0007]剥离槽为装有剥离液的槽体，TFT基板放入剥离槽内的剥离液中进行剥离光阻，并且TFT基板依次放入不同的剥离槽中进行剥离光阻，因此根据TFT基板的放入剥离槽的顺序，将若干个剥离槽分别标记为“第一剥离槽”、“第二剥离槽”、“第三剥离槽
”…“
第N(N为不小于2的正整数)剥离槽”，即TFT基板先放入第一剥离槽的剥离液中，然后再放入第二剥离槽的剥离液中，然后再放入第三剥离槽的剥离液中
…
最后放入第N剥离槽的剥离液中，该过程为单向线性的。
[0008]同时，也将第一剥离槽连通的存储槽标记为第一存储槽，第二剥离槽连通的存储槽标记为第二存储槽，第三剥离槽连通的存储槽标记为第三存储槽
…
第N剥离槽连通的存储槽标记为第N存储槽。并且，第一存储槽上设置有出液管，第N剥离槽上设置有进液管，出
液管用于排出剥离液废液，进液管用于引入剥离液新液。
[0009]若干个剥离槽中的剥离液的初始参数状态(包括组分、各组分含量、剥离液的温度、剥离液的体积等)相同。TFT基板在进行剥离光阻的过程中，各剥离槽中的剥离液的有机类物质(包括有机胺、有机溶剂)的消耗速度由第一剥离槽至第N剥离槽逐渐降低，各剥离槽中的剥离液的光阻浓度由第N剥离槽至第一剥离槽逐渐增加。若干个存储槽内均存储有剥离液，并且存储槽内存储的剥离液的状态参数与该存储槽所连通的剥离槽中的剥离液的状态参数相同。因此通过监控存储槽内的剥离液的状态参数可以得到与其连通的剥离槽中的剥离液的状态参数，同时通过改变存储槽内的剥离液的状态参数可以相应的同步改变与其连通的剥离槽中的剥离液的状态参数。
[0010]有效成分添加装置和第一存储槽通过管道连接，管道上设置有控制管道连通或断开的开关阀。在一实施例中，开关阀为电磁阀。有效成分添加装置用于补充去离子水至所述第一剥离槽中的所述剥离液中，用以实时调节添加至所述第一剥离槽中的所述剥离液的水浓度。
[0011]补给监控装置分别和第一存储槽、有效成分添加装置连接。补给监控装置与有效成分添加装置通信连接。补给监控装置用于对第一存储槽中的剥离液进行浓度监控，同时补给监控装置还实现以下控制：1.通过进液管对所述第N存储槽添加剥离液新液；2.通过出液管排放第一存储槽中的剥离液废液；3.控制有效成分添加装置向第一存储槽添加去离子水；4.控制存储槽之间的连通状态。
[0012]另一方面，本专利技术还提供一种控制上述剥离光阻的装置的方法，包括如下步骤：
[0013]步骤S1，补给监控装置监测第一存储槽中的剥离液的状态参数，包括水浓度、光阻浓度；
[0014]步骤S2，当第一存储槽中的剥离液的水浓度低于预设值时，补给监控装置发送相应信号给有效成分添加装置，有效成分添加装置接受信号后执行以下动作：1.打开开关阀并开始向第一存储槽添加去离子水；2.达到设定的补水时间后关闭开关阀，停止补水；
[0015]步骤S3，重复步骤S1
‑
S2直至第一存储槽中的剥离液的水浓度不小于预设值；
[0016]步骤S4，随着补水次数增多和剥离光阻工序的进行，第一存储槽中的剥离液的光阻浓度和水浓度逐渐升高，第一存储槽中的剥离液中的有机类物质(包括有机胺、有机溶剂)浓度逐渐降低，当第一存储槽中的剥离液的光阻浓度和水浓度达到平衡条件(即光阻浓度达设定的上限值)时，将补给监控装置调整为监测第一存储槽中的剥离液的光阻浓度；
[0017]步骤S5，当补给监控装置监测到第一存储槽中的剥离液的光阻浓度浓度高于设定的上限值时，补给监控装置会同时执行以下动作：1.控制若干存储槽之间连通；2.通过进液管对所述第N存储槽添加剥离液新液；3.通过出液管排放第一存储槽中的剥离液废液，此时第一存储槽至第N存储槽之间的剥离液的组分浓度(包括水浓度、光阻浓度)达到动态平衡，即第一剥离槽至第N剥离槽之间的剥离液的组分浓度(包括水浓度、光阻浓度)达到动态平衡；
[0018]步骤S6，补给监控装置监测到第一存储槽中的剥离液的光阻浓度降低直至不大于设定的下限值时，补给监控装置会同时执行以下动作：1.控制若干存储槽之间断开连通；2.停止通过进液管对所述第N存储槽添加剥离液新液；3.停止通过出液管排放第一存储槽中的剥离液废液，此时第一存储槽中的剥离液不影响剥离效果，第一存储槽中的剥离液得到
充分使用；
[0019]步骤S7，重复步骤S1
‑
S6。
[0020]相比于现有技术，本专利技术提供的技术方案至少存在以下有益效果：
[0021]1.提高剥离液的使用效率，降低生产成本；
[0022]2.优化剥离液管理模式，剥离液的更新次数明显减少，消耗量明显降低。
[0023]下面结合具体实施例进行说明
附图说明
[0024]附图对本专利技术作进一步说明，但附图中的实施例不构本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种剥离光阻的装置，其特征在于：包括有效成分添加装置、补给监控装置、若干个剥离槽和若干个存储槽，所述剥离槽和所述存储槽的数量相同，若干个所述剥离槽分别连通有所述存储槽，若干个所述存储槽之间互相连接；所述存储槽至少包括第一存储槽和第N存储槽，N为不小于2的正整数，所述第一存储槽上设置有出液管，所述第N剥离槽上设置有进液管；所述有效成分添加装置和所述第一存储槽通过管道连接，所述管道上设置有开关阀；所述补给监控装置分别和所述第一存储槽、所述有效成分添加装置连接，所述补给监控装置与所述有效成分添加装置通信连接；所述补给监控装置通过所述进液管对所述第N存储槽添加剥离液新液，所述补给监控装置通过所述出液管排放所述第一存储槽中的剥离液废液，所述补给监控装置控制若干个所述存储槽之间的连通状态。2.根据权利要求1所述的剥离光阻的装置，其特征在于：所述开关阀为电磁阀。3.根据权利要求1所述的剥离光阻的装置，其特征在于：所述剥离槽和所述存储槽的数量均为四个。4.一种控制权利要1
‑
3任一权利要求所述的剥离光阻的装置的方法，包括如下步骤：步骤S1，所述补给监控装置监测所述第一存储槽中的剥离液的状态参数，包括水浓度、光阻浓度；步骤...

【专利技术属性】
技术研发人员：张桂林，张依腾，何海山，李伟界，
申请(专利权)人：信利惠州智能显示有限公司，
类型：发明
国别省市：