一种密封结构及扫描电镜制造技术

本申请公开了一种密封结构及扫描电镜，涉及真空密封技术领域，用于对腔室上供物体进出的传送通道进行密封，腔室的腔室壁上，围绕传送通道的通道口设置有固定密封面；密封结构包括有活动地连接在腔室壁上的密封部件，密封部件设置有移动密封面，密封部件移动来打开或闭合传送通道，且闭合通道口时，移动密封面与固定密封面压抵贴合而密封通道口。本申请提供的密封结构，以在保证密封及隔离效果的基础上，解决现有技术中通道的开闭及密封操作不够简便快速而对真空环境造成较大破坏性的问题，同时，该结构适用于相邻两个腔室之间的密封隔离。离。离。

【技术实现步骤摘要】
一种密封结构及扫描电镜


[0001]本申请涉及真空密封
，特别涉及一种密封结构，还涉及具有上述密封结构的扫描电镜。

技术介绍

[0002]因功能及应用所需，多类设备上都涉及在密封隔离腔室内进行部分工作，尤其是对于始终需要在高真空环境中进行工作的设备而言，在真空隔断和真空密封方面具有较高的要求。如，扫描电镜是一种电子光学仪器，利用聚焦电子束在样品表面进行逐行扫描时激发出来的各种物理信号来调制成像。而电子束需要在高真空环境中进行工作，才能保证准确的扫描成像，保证工作性能。然而，每次样品的取放，即样品进出高真空环境，都会对腔室内的真空度造成破坏，且为保证工作过程中的真空环境，样品置入高真空环境后，需要快速密闭供样品进出腔室的通道口，来与外部环境形成隔离。从而，此类涉及高真空工作环境的设备上，对高真空腔室的通道口的密闭性有高要求，同时，由于传送通道需要频繁开闭来取放样品，故，对开闭及密封操作的简捷快速性也具有一定需求，以防止对腔室内部真空环境造成较长时间和较重程度的破坏。
[0003]传统技术中，通常是在通道口处安装闸板阀，阀孔与通道口连通来供物品进出，进行闭合及密封操作时，需要先将阀盖对正阀孔，进行对正盖合，而后需要进行旋拧或压紧等紧固操作，使阀盖密封阀孔。此传统的结构技术，不仅操作不够简便快速，导致取放样品时传送通道开放时间较长，对真空环境的破坏性较大，也容易因阀盖与阀孔的对正性不好而出现密封性较低的问题，另一方面，该通过阀门进行开闭及密封的结构不适用于相邻两个腔室之间导通及隔离的应用。
专利技术内容
[0004]有鉴于此，本申请提供了一种密封结构，以在保证密封及隔离效果的基础上，解决现有技术中通道的开闭及密封操作不够简便快速而对真空环境造成较大破坏性的问题，同时，该结构适用于相邻两个腔室之间的密封隔离。本申请还提供了具有上述密封结构的一种扫描电镜。
[0005]为了达到上述目的，本专利技术提供如下技术方案：
[0006]一种密封结构，用于对腔室上供物体进出的传送通道进行密封，所述腔室的腔室壁上，围绕所述传送通道的通道口设置有固定密封面；所述密封结构包括有活动地连接在所述腔室壁上的密封部件，所述密封部件设置有移动密封面，所述密封部件移动来打开或闭合所述传送通道，且闭合所述通道口时，所述移动密封面与所述固定密封面压抵贴合而密封所述通道口。
[0007]可选的，所述密封部件滑动式设置，在推拉作用下滑动位移而在打开位置与闭合位置间切换。
[0008]可选的，所述移动密封面及所述固定密封面与所述腔室壁之间均存在夹角，所述
密封部件的滑移方向与所述腔室壁的延伸方向相平行。
[0009]可选的，所述移动密封面与所述固定密封面之间设置有沿所述通道口的周向环绕而设的密封环，当所述移动密封面封堵所述传送通道时，所述密封环被挤压并密封所述通道口。
[0010]可选的，还包括有与所述固定密封面相对且间隔设置的约束面，所述密封部件封堵所述传送通道时，嵌入所述固定密封面与所述约束面之间，以使所述移动密封面与所述固定密封面相压抵。
[0011]可选的，还包括有隔离件，密封连接在所述腔室壁上，所述固定密封面形成在所述隔离件上，所述隔离件上沿厚度方向设置的通孔在所述固定密封面形成所述通道口，并与所述腔室的传送通道连通。
[0012]可选的，所述密封部件及供所述密封部件滑动的导向滑槽均设置或连接在所述隔离件上。
[0013]可选的，所述导向滑槽设置有分列在所述通道口的两侧，所述密封部件包括两侧分别可滑动地嵌入所述导向滑槽的密封板，所述密封板的相对且靠近所述固定密封面的板面形成所述移动密封面，所述导向滑槽的一段槽壁形成所述约束面。
[0014]可选的，所述密封部件上设置有推动把手。
[0015]本专利技术还提供了一种扫描电镜，包括腔室和密封结构，所述腔室为如上所述的腔室，所述密封结构为如上所述的密封结构。
[0016]本申请提供的技术方案中，密封结构在腔室壁上围绕通道口设置固定密封面，并设置相对于固定密封面可活动的密封部件，密封部件上设有移动密封面，随着位移，移动密封面离开或贴合固定密封面可以打开或闭合通道，实现开闭操作，同时，在闭合传送通道的位置上，移动密封面与固定密封面压抵贴合，可以对通道口进行有效密封；且移动密封面形成在活动设置的密封部件上，密封部件位移即可实现传送通道导通或闭合密封的状态切换，无需额外的压紧或旋拧等操作，执行动作简捷快速高效，能有效降低对室内环境的破坏程度，利于后续腔室内快速高效恢复所需的工况，提高工作效率；另一方面而言，移动密封部件即可完成开闭操作，对操作空间与操作方向的限制性降低，使得该密封结构完全可以应用在相邻两个腔室之间的密封隔离上，具备简便的完成导通或快速密封隔离相邻两个特定气压环境的功能。
[0017]本申请还提供了一种优选方案，密封部件滑动式设置，在推拉作用下滑动位移而在打开位置与闭合位置间切换，如此设置，不仅所需的操作简捷，易于进行，且开闭动作执行顺畅，更有利于在简捷的执行动作中实现有效密封，提高腔室高真空获得的作业效率。
附图说明
[0018]为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图获得其他的附图。
[0019]图1为本专利技术实施例中密封结构的应用示意图；
[0020]图2为图1的剖面结构示意图；
[0021]图3为本专利技术实施例中密封部件与腔室+的拆分示意图；
[0022]图4为本专利技术实施例中密封结构的示意图；
[0023]图5为本专利技术实施例中密封结构第一角度的拆分示意图；
[0024]图6为本专利技术实施例中密封结构第二角度的拆分示意图。
[0025]在图1
‑
图6中：
[0026]1‑
腔室，11
‑
腔室壁，2
‑
传送通道，21
‑
通道口，3
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密封部件，31
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密封板，311
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移动密封面，32
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密封环，33
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推动把手，4
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隔离件，41
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倾斜凸起，411
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固定密封面，42
‑
第二密封件，5
‑
导向块，51
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导向滑槽，511
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约束面。
具体实施方式
[0027]本申请提供了一种密封结构，以在保证密封及隔离效果的基础上，解决现有技术中通道的开闭及密封操作不够简便快速而对真空环境造成较大破坏性的问题，同时，该结构适用于相邻两个腔室之间的密封隔离。本申请还提供了具有上述密封结构的一种扫描电镜。
[0028]下面将结合本申请本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种密封结构，用于对腔室(1)上供物体进出的传送通道(2)进行密封，其特征在于，所述腔室(1)的腔室壁(11)上，围绕所述传送通道(2)的通道口(21)设置有固定密封面(411)；所述密封结构包括有活动地连接在所述腔室壁(11)上的密封部件(3)，所述密封部件(3)设置有移动密封面(311)，所述密封部件(3)移动来打开或闭合所述传送通道(2)，且闭合所述通道口(21)时，所述移动密封面(311)与所述固定密封面(411)压抵贴合而密封所述通道口(21)。2.根据权利要求1所述的密封结构，其特征在于，所述密封部件(3)滑动式设置，在推拉作用下滑动位移而在打开位置与闭合位置间切换。3.根据权利要求1或2所述的密封结构，其特征在于，所述移动密封面(311)及所述固定密封面(411)与所述腔室壁(11)之间均存在夹角，所述密封部件(3)的滑移方向与所述腔室壁(11)的延伸方向相平行。4.根据权利要求3所述的密封结构，其特征在于，所述移动密封面(311)与所述固定密封面(411)之间设置有沿所述通道口(21)的周向环绕而设的密封环(32)，当所述移动密封面(311)封堵所述传送通道(2)时，所述密封环(32)被挤压并密封所述通道口(21)。5.根据权利要求4所述的密封结构，其特征在于，还包括有与所述固定密封面(411)相对且间隔设置的约束面(511)，所述密封部件(3)封堵所述传送通道...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘其武，
申请(专利权)人：北京中科科仪股份有限公司，
类型：发明
国别省市：