一种耐腐蚀镍基粉末制备梯度陶瓷炉管涂层的方法技术

本发明专利技术公开了一种耐腐蚀镍基粉末制备梯度陶瓷炉管涂层的方法，包含新的耐腐蚀镍基粉末组成配比，和炉管制备涂层步骤：步骤一、选择规格、尺寸符合要求的炉管；步骤二、基面处理，钢管内表面采用喷射除锈和清洗除污，清洗除污用到清洁剂和磨砂颗粒；步骤三、在炉管上采用激光器熔覆所述镍基合金粉末，进出炉管往返一次实现双层激光熔覆，单次完成激光熔覆厚度范围为1.0

【技术实现步骤摘要】
一种耐腐蚀镍基粉末制备梯度陶瓷炉管涂层的方法


[0001]本专利技术涉及梯度陶瓷
，尤其涉及一种耐腐蚀镍基粉末制备梯度陶瓷炉管涂层的方法。

技术介绍

[0002]扩散炉是半导体生产线前工序的重要工艺设备之一，用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺。经扩散炉产生的半导体制程气体具体高温和腐蚀性的特点，一般的管材很难达到工艺要求，如果管材受高温发生变形或受工艺废气腐蚀发生渗漏会造成严重的事故，造成重大的经济损失。
[0003]激光熔覆技术自诞生以来，总的来讲未能使其得以真正推广应用。这主要因为激光熔覆中存在的最为棘手的问题是熔覆层的裂纹与开裂，并在很大程度上限制了这一技术的应用范围。激光熔覆裂纹产生的主要原因是由于激光熔覆材料和基材材料在物理性能上存在差异，加之高能密度激光束的快速加热和急冷作用，使熔覆层中产生极人的热应力。通常情况下，激光熔覆层的热应力为拉应力，当局部拉应力超过涂层材料的强度极限时，就会产生裂纹，由子激光熔覆层的枝晶界、气孔、夹杂处强度较低且易子产生应力集本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种耐腐蚀镍基粉末制备梯度陶瓷炉管涂层的方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤一、选择规格、尺寸符合要求的炉管；步骤二、基面处理，钢管内表面采用喷射除锈和清洗除污，去除内表面油脂、污垢、氧化皮和铁屑，最后烘干，其中清洗除污所用清洗剂由乙醇15％、三乙醇6％、油酸10％、甘油单硬脂酸酯15％和水54％组成，同时在所述清洗剂中加入少量磨砂颗粒；步骤三、在炉管上采用激光器熔覆所述镍基合金粉末，单次进炉管实现单层激光熔覆，单次完成激光熔覆厚度范围为1.0
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1.2mm的镍基耐腐蚀炉管涂层；步骤四：冷却5
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10min，对路管内碎渣进行鼓风清理；步骤五：二次激光器熔覆所述镍基合金粉末，形成双层镍基耐腐蚀炉管涂层激光熔覆厚度范围为2.0
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2.4mm；步骤六：冷却5min后对路管内镍基耐腐蚀炉管涂层进行打磨，进一步提升平整度降低流体阻力；步骤七：清理炉管内残渣，制成成品。2.根据权利要求1所述的一种耐腐蚀镍基粉末制备梯度陶瓷炉管涂层的方法，其特征在于，步骤二中，炉管内壁喷射除锈的除锈等级达到GB/T 8923要求的Sa2.5级，内表面锚纹深度范围应在30
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40um。3.根据权利要求1所述的一种耐腐蚀镍基粉末制备梯度陶瓷炉管涂层的方法，其特征在于，步骤二中，在所述喷射除锈喷射除锈后进行清洗除污，所述磨砂颗粒成分为SiC，粒径处于30
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40um。4.根据权利要求1所述的一种耐腐蚀镍基粉末制备梯度陶瓷炉管涂层的方法，其特征在于，所述的镍基耐腐蚀炉管涂层耐腐蚀涂层硬度范围为HRC60
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70，在1200℃、HCl、HS强腐蚀性气体中腐蚀速率≤0.008mm
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a
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1，耐腐蚀性达到5级。5.根据权利要求1所述的一种耐腐蚀镍基粉末制备梯...

【专利技术属性】
技术研发人员：邰召山，
申请(专利权)人：兆山科技北京有限公司，
类型：发明
国别省市：