改良型晶圆刮刀成膜法制程工艺涂布机制造技术

本实用新型专利技术提供了一种改良型晶圆刮刀成膜法制程工艺涂布机。其构造为：在漏斗的上端口处固定连接有陶瓷罐，在漏斗的上端口处、位于漏斗与陶瓷罐之间的位置固定连接有筛网，在漏斗的变径部下端固定连接有滤网，在漏斗的上端口内壁上固定连接有若干固定杆；筛网包括同心环，折角连接杆，挂环，所述同心环有若干个，在若干同心环之间固定连接有折角连接杆，在位于最外圈的同心环上固定连接有若干挂环；挂环挂接在固定杆上。本实用新型专利技术在漏斗的上端口处增设了由金属丝构成的筛网，使球石得以架高，使得DB胶可以快速与球石分开，直接通过漏斗进入玻璃瓶，倒胶结束后球石上完全干净，无DB胶残留。新滤网间隙大，DB胶通过较顺畅。DB胶通过较顺畅。DB胶通过较顺畅。

【技术实现步骤摘要】
改良型晶圆刮刀成膜法制程工艺涂布机


[0001]本技术涉及晶圆制造
，具体涉及一种改良型晶圆刮刀成膜法制程工艺涂布机。

技术介绍

[0002]在晶圆制造工艺中，涂布是必要的技术环节，目前这一过程主要是利用涂布机实现的，涂布机将DB胶均匀涂布到材料表面，以满足工艺要求。现有技术中， DB胶倒胶单个陶瓷罐耗用时间较长：最少用时2～3小时，部分黏度较大的DB 胶，整罐倒胶时间为3～4小时。如图3所示，DB胶倒胶后，球石上的DB胶残留较多。倒胶时，滤网的孔隙较小，DB胶容易从陶瓷罐与漏斗的边缘漏出，造成物料的浪费。

技术实现思路

[0003]本技术旨在针对现有技术的技术缺陷，提供一种改良型晶圆刮刀成膜法制程工艺涂布机，以解决目前，DB胶倒胶耗时较长的技术问题。
[0004]本技术要解决的另一技术问题是，DB胶倒胶后，球石上的DB胶残留较多。
[0005]本技术要解决的再一技术问题是，由于滤网的孔隙较小，因此DB胶容易从陶瓷罐与漏斗的边缘漏出，造成物料的浪费。
[0006]为实现以上技术目的，本技术采用以下技术方案：
[0007]改良型晶圆刮刀成膜法制程工艺涂布机，包括漏斗，陶瓷罐，滤网，筛网，固定杆，其中，在漏斗的上端口处固定连接有陶瓷罐，在漏斗的上端口处、位于漏斗与陶瓷罐之间的位置固定连接有筛网，在漏斗的变径部下端固定连接有滤网，在漏斗的上端口内壁上固定连接有若干固定杆；筛网包括同心环，折角连接杆，挂环，所述同心环有若干个，在若干同心环之间固定连接有折角连接杆，在位于最外圈的同心环上固定连接有若干挂环；挂环挂接在固定杆上。
[0008]作为优选，筛网为金属材质。
[0009]作为优选，筛网为表面具有镍镀层的铁丝。
[0010]本技术提供了一种改良型晶圆刮刀成膜法制程工艺涂布机。该技术方案在漏斗的上端口处增设了由金属丝构成的筛网，通过增设筛网，使球石得以架高，使得DB胶可以快速与球石分开，直接通过漏斗进入玻璃瓶，倒胶结束后球石上完全干净，无DB胶残留。新滤网间隙大，DB胶通过较顺畅。
[0011]应用本技术，倒胶用时减少，倒胶胶量增加，由1000克/罐增加至1050 克/罐。球石、陶瓷罐、滤网、漏斗等治具倒胶完毕后较之前更清洁，方便后期的治具清洗。无锈蚀杂质产生，保证安全可靠。
附图说明
[0012]图1是本技术的结构示意图；
[0013]图2是当卸除陶瓷罐后，本技术的俯视图；
[0014]图3是常规倒胶模式的状态图；
[0015]图中：
[0016]1、漏斗
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2、陶瓷罐
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3、滤网
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4、筛网
[0017]5、固定杆
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6、同心环
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7、折角连接杆
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8、挂环。
具体实施方式
[0018]以下将对本技术的具体实施方式进行详细描述。为了避免过多不必要的细节，在以下实施例中对属于公知的结构或功能将不进行详细描述。以下实施例中所使用的近似性语言可用于定量表述，表明在不改变基本功能的情况下可允许数量有一定的变动。除有定义外，以下实施例中所用的技术和科学术语具有与本技术所属领域技术人员普遍理解的相同含义。
[0019]实施例1
[0020]改良型晶圆刮刀成膜法制程工艺涂布机，如图1、图2所示，包括漏斗1，陶瓷罐2，滤网3，筛网4，固定杆5，其中，在漏斗1的上端口处固定连接有陶瓷罐2，在漏斗1的上端口处、位于漏斗1与陶瓷罐2之间的位置固定连接有筛网4，在漏斗1的变径部下端固定连接有滤网3，在漏斗1的上端口内壁上固定连接有若干固定杆5；筛网4包括同心环6，折角连接杆7，挂环8，所述同心环 6有若干个，在若干同心环6之间固定连接有折角连接杆7，在位于最外圈的同心环6上固定连接有若干挂环8；挂环8挂接在固定杆5上。
[0021]实施例2
[0022]改良型晶圆刮刀成膜法制程工艺涂布机，如图1、图2所示，包括漏斗1，陶瓷罐2，滤网3，筛网4，固定杆5，其中，在漏斗1的上端口处固定连接有陶瓷罐2，在漏斗1的上端口处、位于漏斗1与陶瓷罐2之间的位置固定连接有筛网4，在漏斗1的变径部下端固定连接有滤网3，在漏斗1的上端口内壁上固定连接有若干固定杆5；筛网4包括同心环6，折角连接杆7，挂环8，所述同心环 6有若干个，在若干同心环6之间固定连接有折角连接杆7，在位于最外圈的同心环6上固定连接有若干挂环8；挂环8挂接在固定杆5上。其中，筛网4为金属材质。筛网4为表面具有镍镀层的铁丝。
[0023]以上对本技术的实施例进行了详细说明，但所述内容仅为本技术的较佳实施例，并不用以限制本技术。凡在本技术的申请范围内所做的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.改良型晶圆刮刀成膜法制程工艺涂布机，其特征在于包括漏斗(1)，陶瓷罐(2)，滤网(3)，筛网(4)，固定杆(5)，其中，在漏斗(1)的上端口处固定连接有陶瓷罐(2)，在漏斗(1)的上端口处、位于漏斗(1)与陶瓷罐(2)之间的位置固定连接有筛网(4)，在漏斗(1)的变径部下端固定连接有滤网(3)，在漏斗(1)的上端口内壁上固定连接有若干固定杆(5)；筛网(4)包括同心环(6)，折角连接杆(...

【专利技术属性】
技术研发人员：方廷宇，游礼仲，许忠信，王永震，袁斌，
申请(专利权)人：山东强茂电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：