一种双腔晶圆甩干机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种双腔晶圆甩干机，包括机体、防护门、甩干筒体和安装架，所述机体上对称安装有防护门，所述机体的内部位于防护门一侧设有甩干筒体，所述甩干筒体上安装有安装架，所述安装架内安装有转轴，所述转轴中间设有DD马达，所述转轴两端均固定套设有第一锥齿轮，所述甩干筒体外壁两侧均设有侧固定架，所述侧固定架内安装有螺杆，所述螺杆一端穿过侧固定架与第二锥齿轮连接，且第二锥齿轮与第一锥齿轮相互啮合，所述螺杆上滑动套设有滑块，所述滑块一端安装有连接杆，且连接杆一端伸入到甩干筒体内与推料网板连接，所述机体的底部设有底座，本实用新型专利技术，方便取料，方便水分的收集。集。集。

【技术实现步骤摘要】
一种双腔晶圆甩干机


[0001]本技术涉及晶圆甩干
，具体为一种双腔晶圆甩干机。

技术介绍

[0002]晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，在晶圆的加工过程中，需要对晶圆进行湿法清洗，去除表面的杂质，在清洗后需要对晶圆进行甩干处理，双腔晶圆甩干机对晶圆进行甩干作业，现有的双腔晶圆甩干机在甩干结束后，需要操作人员伸入到甩干筒内将晶圆取出，取料不方便，影响晶圆的后续加工，因此，设计一种双腔晶圆甩干机是很有必要的。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种双腔晶圆甩干机，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0004]为了解决上述技术问题，本技术提供如下技术方案：一种双腔晶圆甩干机，包括机体、防护门、甩干筒体和安装架，所述机体上对称安装有防护门，所述机体的内部位于防护门一侧设有甩干筒体，所述甩干筒体上安装有安装架，所述安装架内安装有转轴，所述转轴中间设有DD马达，所述转轴两端均固定套设有第一锥齿轮，所述甩干筒体外壁两侧均设有侧固定架，所述侧固定架内安装有螺杆，所述螺杆一端穿过侧固定架与第二锥齿轮连接，且第二锥齿轮与第一锥齿轮相互啮合，所述螺杆上滑动套设有滑块，所述滑块一端安装有连接杆，且连接杆一端伸入到甩干筒体内与推料网板连接，所述机体的底部设有底座，通过DD马达带动转轴转动，使得第一锥齿轮带动第二锥齿轮转动，进而带动螺杆转动，使得滑块上下移动，进一步通过连接杆带动推料网板移动，方便将甩干筒体内的晶圆推出，方便取料。
[0005]在进一步的实施例中，所述侧固定架内壁两侧均开设有滑槽，所述滑块两端均与滑槽相配合，所述侧固定架和甩干筒体上均开设有与连接杆相配合的移动孔，通过开设的滑槽对滑块进行限位，使得滑块上下移动稳定，移动孔的设置方便通过连接杆带动推料网板移动。
[0006]在进一步的实施例中，所述底座上设有收集屉，所述收集屉的表面一侧对称设有刻度线，所述收集屉的表面中间安装有拉手，通过收集屉方便对甩干作业的水分进行收集，刻度线的设置方便对收集屉内收集的水量进行观察，便于操作人员及时处理，拉手的设置方便将收集屉移出。
[0007]在进一步的实施例中，所述收集屉的内部安装有过滤网，所述收集屉的内壁开设有与过滤网两端相配合的移动槽，通过过滤网的设置方便对甩干作业水中的杂质进行过滤，移动槽的设置方便过滤网的安装拆卸。
[0008]在进一步的实施例中，所述收集屉的外壁两侧均安装有凸块，所述底座上开设有与凸块相配合的凹槽，通过凸块与凹槽相配合，使得收集屉移出稳定。
[0009]在进一步的实施例中，所述底座的底部四角均安装有支撑件，所述支撑件包括通
过螺栓固定在底座底部四角的固定板，所述固定板的底部固定有支撑套管，所述支撑套管的底部内卡合连接有支撑脚，所述支撑脚上套设有缓冲弹簧，所述支撑脚的底部胶接有缓冲垫，通过支撑件进行支撑，受到震动影响时，支撑套管向支撑脚移动，使得缓冲弹簧压缩变形，对震动进行缓冲，配合缓冲垫，保证整体稳定。
[0010]在进一步的实施例中，所述机体的内部位于甩干筒体筒口处通过驱动电机安装有双向丝杆，所述双向丝杆的两端均滑动套设有移动块，所述移动块通过连接架与封板连接，所述封板与甩干筒体筒口相配合，通过驱动电机带动双向丝杆转动，使得两移动块通过连接架带动封板移动，对甩干筒体筒口进行阻挡，防止甩干作业时晶圆甩出甩干筒体。
[0011]与现有技术相比，本技术所达到的有益效果是：
[0012]1.通过DD马达带动转轴转动，使得第一锥齿轮带动第二锥齿轮转动，进而带动螺杆转动，使得滑块上下移动，进一步通过连接杆带动推料网板移动，方便将甩干筒体内的晶圆推出，方便取料；
[0013]2.通过驱动电机带动双向丝杆转动，使得两移动块通过连接架带动封板移动，对甩干筒体筒口进行阻挡，防止甩干作业时晶圆甩出甩干筒体；
[0014]3.通过收集屉方便对甩干作业的水分进行收集，刻度线的设置方便对收集屉内收集的水量进行观察，便于操作人员及时处理，拉手的设置方便将收集屉移出，过滤网的设置方便对甩干作业水中的杂质进行过滤；
[0015]4.通过支撑件进行支撑，受到震动影响时，支撑套管向支撑脚移动，使得缓冲弹簧压缩变形，对震动进行缓冲，配合缓冲垫，保证整体稳定。
附图说明
[0016]图1是本技术的整体结构示意图；
[0017]图2是本技术的甩干筒体结构示意图；
[0018]图3是本技术的收集屉结构示意图；
[0019]附图标记为：机体1、防护门2、甩干筒体3、安装架4、侧固定架5、螺杆6、滑块7、连接杆8、推料网板9、DD马达10、转轴11、第一锥齿轮12、第二锥齿轮13、双向丝杆14、移动块15、连接架16、封板17、底座18、支撑件19、收集屉20、刻度线21、过滤网22、凸块23、凹槽24。
具体实施方式
[0020]在下文的描述中，给出了大量具体的细节以便提供对本专利技术更为彻底的理解。然而，对于本领域技术人员而言显而易见的是，本专利技术可以无需一个或多个这些细节而得以实施。在其他的例子中，为了避免与本专利技术发生混淆，对于本领域公知的一些技术特征未进行描述。
[0021]请参阅图1
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3，本技术提供一种技术方案：一种双腔晶圆甩干机，包括机体1、防护门2、甩干筒体3、安装架4、侧固定架5、螺杆6、滑块7、连接杆8、推料网板9、DD马达10、转轴11、第一锥齿轮12、第二锥齿轮13、双向丝杆14、移动块15、连接架16、封板17、底座18、支撑件19、收集屉20、刻度线21、过滤网22、凸块23和凹槽24，防护门2对称安装在机体1上，甩干筒体3设置在机体1的内部位于防护门2一侧处，安装架4安装在甩干筒体3上，转轴11安装在安装架4内，DD马达10设置在转轴11中间，第一锥齿轮12固定套设在转轴11两端，侧固定
架5设置在甩干筒体3外壁两侧，螺杆6安装在侧固定架5内，第二锥齿轮13与螺杆6穿过侧固定架5的一端连接，且第二锥齿轮13与第一锥齿轮12相互啮合，滑块7滑动套设在螺杆6上，连接杆8安装在滑块7一端，推料网板9与连接杆8伸入到甩干筒体3内的一端连接，底座18设置在机体1的底部，通过DD马达10带动转轴11转动，使得第一锥齿轮12带动第二锥齿轮13转动，进而带动螺杆6转动，使得滑块7上下移动，进一步通过连接杆8带动推料网板9移动，方便将甩干筒体3内的晶圆推出，方便取料。
[0022]进一步的，侧固定架5内壁两侧均开设有滑槽，滑块7两端均与滑槽相配合，侧固定架5和甩干筒体3上均开设有与连接杆8相配合的移动孔，通过开设的滑槽对滑块7进行限位，使得滑块7上下移动稳定，移动孔的设置方便通过连接杆8带动推料网板9移动。
[0023]进一步的，底座18上设有收集屉20，收集屉20的表面一侧对称设有刻度线21，收集屉20的表面中间安装有拉手，通过收集屉20方便对甩干作业的水分进行收集，刻度线21的设置方便对收集屉20内收集的水本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种双腔晶圆甩干机，包括机体（1）、防护门（2）、甩干筒体（3）和安装架（4），其特征在于：所述机体（1）上对称安装有防护门（2），所述机体（1）的内部位于防护门（2）一侧设有甩干筒体（3），所述甩干筒体（3）上安装有安装架（4），所述安装架（4）内安装有转轴（11），所述转轴（11）中间设有DD马达（10），所述转轴（11）两端均固定套设有第一锥齿轮（12），所述甩干筒体（3）外壁两侧均设有侧固定架（5），所述侧固定架（5）内安装有螺杆（6），所述螺杆（6）一端穿过侧固定架（5）与第二锥齿轮（13）连接，且第二锥齿轮（13）与第一锥齿轮（12）相互啮合，所述螺杆（6）上滑动套设有滑块（7），所述滑块（7）一端安装有连接杆（8），且连接杆（8）一端伸入到甩干筒体（3）内与推料网板（9）连接，所述机体（1）的底部设有底座（18）。2.根据权利要求1所述的一种双腔晶圆甩干机，其特征在于：所述侧固定架（5）内壁两侧均开设有滑槽，所述滑块（7）两端均与滑槽相配合，所述侧固定架（5）和甩干筒体（3）上均开设有与连接杆（8）相配合的移动孔。3.根据权利要求1所述的一种双腔晶圆甩干机，其特征在于：所述底座（18）上设有收集屉（2...

【专利技术属性】
技术研发人员：欧阳小泉，
申请(专利权)人：泉芯半导体科技无锡有限公司，
类型：新型
国别省市：