一种双腔晶圆甩干机用洗刷机构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种双腔晶圆甩干机用洗刷机构，包括机体、安装架和筒体，所述机体内部通过安装架安装有筒体，所述筒体上设有水箱，所述机体外壁设有步进电机，所述步进电机的输出端伸入到筒体内与螺纹喷水管连接，所述螺纹喷水管内设有输水管，所述水箱通过导水管与输水管一端连接，且导水管上设有导水泵，所述螺纹喷水管两端均套设有清洁组件，本实用新型专利技术，水箱内的清水通过导水泵与导水管相配合，输送至输水管内，并通过螺纹喷水管喷出，对晶圆进行清洗，通过步进电机带动螺纹喷水管转动，使得两端的清洁组件对晶圆进行清洁，洗刷方便，洗刷效果好。洗刷效果好。洗刷效果好。

【技术实现步骤摘要】
一种双腔晶圆甩干机用洗刷机构


[0001]本技术涉及双腔晶圆甩干机洗刷
，具体为一种双腔晶圆甩干机用洗刷机构。

技术介绍

[0002]晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，在晶圆的加工过程中，需要对晶圆进行湿法清洗，去除表面的杂质，双腔晶圆甩干机对原料表面的水分进行脱水处理，现有的双腔晶圆甩干机洗刷机构对晶圆的洗刷不方便，洗刷效果不好，因此，设计一种双腔晶圆甩干机用洗刷机构是很有必要的。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种双腔晶圆甩干机用洗刷机构，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0004]为了解决上述技术问题，本技术提供如下技术方案：一种双腔晶圆甩干机用洗刷机构，包括机体、安装架和筒体，所述机体内部通过安装架安装有筒体，所述筒体上设有水箱，所述机体外壁设有步进电机，所述步进电机的输出端伸入到筒体内与螺纹喷水管连接，所述螺纹喷水管内设有输水管，所述水箱通过导水管与输水管一端连接，且导水管上设有导水泵，所述螺纹喷水管两端均套设有清洁组件，水箱内的清水通过导水泵与导水管相配合，输送至输水管内，并通过螺纹喷水管喷出，对晶圆进行清洗，通过步进电机带动螺纹喷水管转动，使得两端的清洁组件对晶圆进行清洁，洗刷方便，洗刷效果好。
[0005]在进一步的实施例中，所述螺纹喷水管表面两端分别开设有旋向相反的螺纹，所述输水管和螺纹喷水管上均等间距开设有喷水孔，所述导水管与输水管一端连接处与螺纹喷水管一端之间设有密封环，旋向相反螺纹的设置使得螺纹喷水管转动时带动两清洁组件相互靠近或远离，方便对筒体内晶圆的清洁，喷水孔的设置方便喷水清洗，密封环的设置保证密封效果。
[0006]在进一步的实施例中，所述清洁组件包括套设在螺纹喷水管上的移动块，所述移动块上开设有环形安装槽，所述环形安装槽上安装有固定环，所述固定环内表面等角度安装有锯齿，所述移动块一端安装有驱动电机，所述驱动电机的输出端通过转轴与驱动齿轮连接，且驱动齿轮与锯齿相配合，所述固定环上等角度安装有清洁刷，驱动电机通过转轴带动驱动齿轮转动，通过驱动齿轮与锯齿相配合，使得固定环转动，带动清洁刷对晶圆进行清洁。
[0007]在进一步的实施例中，所述移动块上位于环形安装槽两侧均对称安装有限位杆，所述固定环上开设有限位槽，且限位杆一端位于限位槽内，通过固定环转动时使得限位杆在限位槽内转动，对固定环起到限位作用，保证固定环转动稳定。
[0008]在进一步的实施例中，所述固定环上等角度开设有固定槽，所述清洁刷一端设有凸块，所述凸块外表面开设有与固定槽内表面开设的内螺纹相配合的外螺纹，通过内螺纹
与外螺纹相配合，方便将清洁刷一端的凸块螺纹连接在固定环上的固定槽内，方便清洁刷的安装拆卸。
[0009]在进一步的实施例中，所述筒体内部中间固定有定位架，所述螺纹喷水管通过固定座安装在定位架上，通过定位架对螺纹喷水管固定稳定。
[0010]与现有技术相比，本技术所达到的有益效果是：
[0011]1.水箱内的清水通过螺纹喷水管喷出，对晶圆进行清洗，通过步进电机带动螺纹喷水管转动，使得两端的移动块相互靠近或远离，驱动电机通过转轴带动驱动齿轮转动，通过驱动齿轮与锯齿相配合，使得固定环转动，带动清洁刷对晶圆进行清洁，对晶圆进行清洁，洗刷方便，洗刷效果好；
[0012]2.固定环转动时使得限位杆在限位槽内转动，对固定环起到限位作用，保证固定环转动稳定；定位架对螺纹喷水管固定稳定。
附图说明
[0013]图1是本技术的整体结构示意图；
[0014]图2是图1中的A区域结构示意图；
[0015]图3是本技术的固定环结构示意图；
[0016]附图标记为：机体1、安装架2、筒体3、水箱4、导水泵5、导水管6、定位架7、输水管8、步进电机9、螺纹喷水管10、喷水孔11、移动块12、环形安装槽13、固定环14、驱动电机15、转轴16、限位杆17、驱动齿轮18、锯齿19、限位槽20、清洁刷21、固定槽22。
具体实施方式
[0017]在下文的描述中，给出了大量具体的细节以便提供对本专利技术更为彻底的理解。然而，对于本领域技术人员而言显而易见的是，本专利技术可以无需一个或多个这些细节而得以实施。在其他的例子中，为了避免与本专利技术发生混淆，对于本领域公知的一些技术特征未进行描述。
[0018]请参阅图1
‑
3，本技术提供一种技术方案：一种双腔晶圆甩干机用洗刷机构，包括机体1、安装架2、筒体3、水箱4、导水泵5、导水管6、定位架7、输水管8、步进电机9、螺纹喷水管10、喷水孔11、移动块12、环形安装槽13、固定环14、驱动电机15、转轴16、限位杆17、驱动齿轮18、锯齿19、限位槽20、清洁刷21和固定槽22，筒体3通过安装架2安装在机体1内部，水箱4设置在筒体3上，步进电机9设置在机体1外壁，螺纹喷水管10与步进电机9伸入到筒体3内的输出端连接，输水管8设置在螺纹喷水管10内，输水管8一端通过导水管6与水箱4，导水泵5设置在导水管6上，清洁组件套设在螺纹喷水管10两端，水箱4内的清水通过导水泵5与导水管6相配合，输送至输水管8内，并通过螺纹喷水管10喷出，对晶圆进行清洗，通过步进电机9带动螺纹喷水管10转动，使得两端的清洁组件对晶圆进行清洁，洗刷方便，洗刷效果好。
[0019]进一步的，螺纹喷水管10表面两端分别开设有旋向相反的螺纹，输水管8和螺纹喷水管10上均等间距开设有喷水孔11，导水管6与输水管8一端连接处与螺纹喷水管10一端之间设有密封环，旋向相反螺纹的设置使得螺纹喷水管10转动时带动两清洁组件相互靠近或远离，方便对筒体3内晶圆的清洁，喷水孔11的设置方便喷水清洗，密封环的设置保证密封
效果。
[0020]进一步的，清洁组件包括套设在螺纹喷水管10上的移动块12，移动块12上开设有环形安装槽13，环形安装槽13上安装有固定环14，固定环14内表面等角度安装有锯齿19，移动块12一端安装有驱动电机15，驱动电机15的输出端通过转轴16与驱动齿轮18连接，且驱动齿轮18与锯齿19相配合，固定环14上等角度安装有清洁刷21，驱动电机15通过转轴16带动驱动齿轮18转动，通过驱动齿轮18与锯齿19相配合，使得固定环14转动，带动清洁刷21对晶圆进行清洁。
[0021]进一步的，移动块12上位于环形安装槽13两侧均对称安装有限位杆17，固定环14上开设有限位槽20，且限位杆17一端位于限位槽20内，通过固定环14转动时使得限位杆17在限位槽20内转动，对固定环14起到限位作用，保证固定环14转动稳定。
[0022]进一步的，固定环14上等角度开设有固定槽22，清洁刷21一端设有凸块，凸块外表面开设有与固定槽22内表面开设的内螺纹相配合的外螺纹，通过内螺纹与外螺纹相配合，方便将清洁刷21一端的凸块螺纹连接在固定环14上的固定槽22内，方便清洁刷21的安装拆卸。
[0023]进一步的，筒体3内部中间固定有本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种双腔晶圆甩干机用洗刷机构，包括机体(1)、安装架(2)和筒体(3)，其特征在于：所述机体(1)内部通过安装架(2)安装有筒体(3)，所述筒体(3)上设有水箱(4)，所述机体(1)外壁设有步进电机(9)，所述步进电机(9)的输出端伸入到筒体(3)内与螺纹喷水管(10)连接，所述螺纹喷水管(10)内设有输水管(8)，所述水箱(4)通过导水管(6)与输水管(8)一端连接，且导水管(6)上设有导水泵(5)，所述螺纹喷水管(10)两端均套设有清洁组件。2.根据权利要求1所述的一种双腔晶圆甩干机用洗刷机构，其特征在于：所述螺纹喷水管(10)表面两端分别开设有旋向相反的螺纹，所述输水管(8)和螺纹喷水管(10)上均等间距开设有喷水孔(11)，所述导水管(6)与输水管(8)一端连接处与螺纹喷水管(10)一端之间设有密封环。3.根据权利要求1所述的一种双腔晶圆甩干机用洗刷机构，其特征在于：所述清洁组件包括套设在螺纹喷水管(10)上的移动块(12)，所述移动块(12)上开设有环形安装槽(13)，所述环形...

【专利技术属性】
技术研发人员：欧阳小泉，
申请(专利权)人：泉芯半导体科技无锡有限公司，
类型：新型
国别省市：