一种双腔晶圆甩干机用移动门制造技术

本实用新型专利技术公开了一种双腔晶圆甩干机用移动门，包括甩干机主体、移动门主体和观察窗，所述甩干机主体上对称设有移动门主体，所述移动门主体上设有观察窗，所述移动门主体之间通过转杆连接，所述转杆中间固定套设有转动轮，所述甩干机主体外壁一侧中间安装有固定架，所述固定架顶部安装有驱动电机，所述驱动电机的输出端伸入到固定架内与驱动轴连接，所述驱动轴上固定套设有主动轮，所述甩干机主体上位于转动轮一侧通过固定轴安装有从动轮，且从动轮与转动轮和主动轮相互啮合，所述移动门主体的背面位于观察窗一侧设有螺杆，本实用新型专利技术，移动门打开方便，方便晶圆的放置和取出，能对移动门上的移动窗背面的残存水滴进行清理，方便观察。观察。观察。

【技术实现步骤摘要】
一种双腔晶圆甩干机用移动门


[0001]本技术涉及甩干机移动门
，具体为一种双腔晶圆甩干机用移动门。

技术介绍

[0002]晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，在半导体晶圆级先进制造工艺湿法清洗甩干工艺中，一般通过双腔晶圆甩干机对原料表面的水分进行脱水处理，需要通过移动门对甩干机内的甩干筒甩干作业的水进行防护，现有的双腔晶圆甩干机中的移动门打开或者关闭时需要操作人员手动将上下腔室的移动门打开，不方便晶圆的放置和取出，同时不能对移动门上的移动窗背面的残存水滴进行清理，影响观察，因此，设计一种双腔晶圆甩干机用移动门是很有必要的。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种双腔晶圆甩干机用移动门，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0004]为了解决上述技术问题，本技术提供如下技术方案：一种双腔晶圆甩干机用移动门，包括甩干机主体、移动门主体和观察窗，所述甩干机主体上对称设有移动门主体，所述移动门主体上设有观察窗，所述移动门主体之间通过转杆连接，所述转杆中间固定套设有转动轮，所述甩干机主体外壁一侧中间安装有固定架，所述固定架顶部安装有驱动电机，所述驱动电机的输出端伸入到固定架内与驱动轴连接，所述驱动轴上固定套设有主动轮，所述甩干机主体上位于转动轮一侧通过固定轴安装有从动轮，且从动轮与转动轮和主动轮相互啮合，所述移动门主体的背面位于观察窗一侧设有螺杆，所述螺杆一端与步进电机的输出端连接，所述螺杆另一端滑动套设有滑块，所述滑块通过连接块与擦板连接，通过驱动电机带动驱动轴转动，使得主动轮带动从动轮转动，进而通过转动轮带动转杆转动，对移动门主体的开合角度进行调整，进而方便晶圆的放置和取出，通过步进电机带动螺杆转动，使得滑块通过连接块带动擦板上下移动，方便将观察窗背面的残存水滴进行擦拭清理，方便观察。
[0005]在进一步的实施例中，所述连接块两端分别开设有与滑块和擦板相配合的连接槽，所述连接块两端均贯穿有锁紧销，且滑块和擦板上开设有与锁紧销相配合的销孔，通过连接槽的设置方便连接块与滑块和擦板的安装固定，锁紧销与销孔相配合，保证固定稳定的同时方便连接块和擦板的拆卸。
[0006]在进一步的实施例中，所述滑块上对称安装有夹块，所述夹块的内侧与连接块表面贴合，所述锁紧销贯穿两夹块，通过夹块和锁紧销相配合，对连接块进行固定，保证固定稳定。
[0007]在进一步的实施例中，所述移动门主体的背面位于观察窗另一侧安装有安装架，所述安装架内安装有旋转电机，所述旋转电机的输出端与扇叶连接，所述安装架一侧设有导流仓，所述导流仓上开设有若干个排风孔，通过旋转电机带动扇叶转动，进行吹风，通过
导流仓的排风孔吹出，对观察窗背面进行风干，加快水滴的蒸发。
[0008]在进一步的实施例中，所述导流仓内还安装有加热管，所述加热管两端均开设有卡槽，所述导流仓两端均安装有卡销，且卡槽一端固定在卡槽内，通过加热管内的加热丝工作产生热量，与风作用形成热风，进一步加快水滴的蒸发，卡销与卡槽相配合，方便加热管的安装固定。
[0009]在进一步的实施例中，所述移动门主体的背面一端开设有凹槽，所述凹槽内设有齿条，所述滑块一端通过转轴安装有限位齿轮，且限位齿轮与齿条相啮合，通过滑块上下移动带动限位齿轮在齿条上滚动，使得滑块移动稳定。
[0010]与现有技术相比，本技术所达到的有益效果是：
[0011]1.通过驱动电机带动驱动轴转动，与主动轮、从动轮、转动轮相配合，带动转杆转动，对移动门主体的开合角度进行调整，进而方便晶圆的放置和取出；
[0012]2.通过步进电机带动螺杆转动，使得滑块通过连接块带动擦板上下移动，方便将观察窗背面的残存水滴进行擦拭清理，方便观察，通过旋转电机带动扇叶转动，进行吹风，对观察窗背面进行风干，加热管内的加热丝工作产生热量，与风作用形成热风，进一步加快水滴的蒸发。
附图说明
[0013]图1是本技术的整体结构示意图；
[0014]图2是本技术的观察窗背面结构示意图；
[0015]附图标记为：甩干机主体1、移动门主体2、观察窗3、转杆4、转动轮5、固定架6、驱动电机7、驱动轴8、主动轮9、固定轴10、从动轮11、步进电机12、螺杆13、滑块14、连接块15、擦板16、夹块17、锁紧销18、安装架19、旋转电机20、扇叶21、导流仓22、加热管23、排风孔24。
具体实施方式
[0016]在下文的描述中，给出了大量具体的细节以便提供对本专利技术更为彻底的理解。然而，对于本领域技术人员而言显而易见的是，本专利技术可以无需一个或多个这些细节而得以实施。在其他的例子中，为了避免与本专利技术发生混淆，对于本领域公知的一些技术特征未进行描述。
[0017]请参阅图1
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2，本技术提供一种技术方案：一种双腔晶圆甩干机用移动门，包括甩干机主体1、移动门主体2、观察窗3、转杆4、转动轮5、固定架6、驱动电机7、驱动轴8、主动轮9、固定轴10、从动轮11、步进电机12、螺杆13、滑块14、连接块15、擦板16、夹块17、锁紧销18、安装架19、旋转电机20、扇叶21、导流仓22、加热管23和排风孔24，移动门主体2对称设置在甩干机主体1上且移动门主体2之间通过转杆4连接，观察窗3设置在移动门主体2上，转动轮5固定套设在转杆4中间，固定架6安装在甩干机主体1外壁一侧中间，驱动电机7安装在固定架6顶部，驱动轴8与驱动电机7伸入到固定架6内的输出端连接，主动轮9固定套设在驱动轴8上，从动轮11通过固定轴10安装在甩干机主体1上位于转动轮5一侧处，且从动轮11与转动轮5和主动轮9相互啮合，螺杆13设置在移动门主体2的背面位于观察窗3一侧处，步进电机12的输出端与螺杆13一端连接，滑块14滑动套设在螺杆13另一端，擦板16通过连接块15与滑块14连接，通过驱动电机7带动驱动轴8转动，使得主动轮9带动从动轮11转动，进而
通过转动轮5带动转杆4转动，对移动门主体2的开合角度进行调整，进而方便晶圆的放置和取出，通过步进电机12带动螺杆13转动，使得滑块14通过连接块15带动擦板16上下移动，方便将观察窗3背面的残存水滴进行擦拭清理，方便观察。
[0018]进一步的，连接块15两端分别开设有与滑块14和擦板16相配合的连接槽，连接块15两端均贯穿有锁紧销18，且滑块14和擦板16上开设有与锁紧销18相配合的销孔，通过连接槽的设置方便连接块15与滑块14和擦板16的安装固定，锁紧销18与销孔相配合，保证固定稳定的同时方便连接块15和擦板16的拆卸。
[0019]进一步的，滑块14上对称安装有夹块17，夹块17的内侧与连接块15表面贴合，锁紧销18贯穿两夹块17，通过夹块17和锁紧销18相配合，对连接块15进行固定，保证固定稳定。
[0020]进一步的，移动门主体2的背面位于观察窗3另一侧安装有安装架19，安装架19内安装有旋转电机20，旋转电机20的输出端与扇叶21连接，安装架19一侧设有导流仓本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种双腔晶圆甩干机用移动门，包括甩干机主体(1)、移动门主体(2)和观察窗(3)，其特征在于：所述甩干机主体(1)上对称设有移动门主体(2)，所述移动门主体(2)上设有观察窗(3)，所述移动门主体(2)之间通过转杆(4)连接，所述转杆(4)中间固定套设有转动轮(5)，所述甩干机主体(1)外壁一侧中间安装有固定架(6)，所述固定架(6)顶部安装有驱动电机(7)，所述驱动电机(7)的输出端伸入到固定架(6)内与驱动轴(8)连接，所述驱动轴(8)上固定套设有主动轮(9)，所述甩干机主体(1)上位于转动轮(5)一侧通过固定轴(10)安装有从动轮(11)，且从动轮(11)与转动轮(5)和主动轮(9)相互啮合，所述移动门主体(2)的背面位于观察窗(3)一侧设有螺杆(13)，所述螺杆(13)一端与步进电机(12)的输出端连接，所述螺杆(13)另一端滑动套设有滑块(14)，所述滑块(14)通过连接块(15)与擦板(16)连接。2.根据权利要求1所述的一种双腔晶圆甩干机用移动门，其特征在于：所述连接块(15)两端分别开设有与滑块(14)和擦板(16)相配合的连接槽，所述连接块(15)两端均贯穿有锁...

【专利技术属性】
技术研发人员：欧阳小泉，
申请(专利权)人：泉芯半导体科技无锡有限公司，
类型：新型
国别省市：