【技术实现步骤摘要】
一种双腔晶圆甩干机用密封机构
[0001]本技术涉及双腔晶圆甩干机密封
，具体为一种双腔晶圆甩干机用密封机构。
技术介绍
[0002]晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，在半导体晶圆级先进制造工艺湿法清洗甩干工艺中，一般通过双腔晶圆甩干机对原料表面的水分进行脱水处理，需要双腔晶圆甩干机腔室进行密封，现有技术一般通过密封门进行密封，脱水时水滴容易从密封门边缘处渗出，通过水滴容易沾附在密封门上，因此，设计一种双腔晶圆甩干机用密封机构是很有必要的。
技术实现思路
[0003]本技术的目的在于提供一种双腔晶圆甩干机用密封机构，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0004]为了解决上述技术问题，本技术提供如下技术方案：一种双腔晶圆甩干机用密封机构，包括机体和密封门，所述机体的表面一侧对称通过合页铰接有密封门，所述密封门的一侧对应两端均开设有安装槽，所述安装槽内通过轴承座安装有双向丝杆，所述双向丝杆中间设有DD马达，所述双向丝杆的两端均滑动套设有滑块，所述滑块表面通过固定螺栓安装有连接柱，所述连接柱一端通过连...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种双腔晶圆甩干机用密封机构，包括机体(1)和密封门(2)，其特征在于：所述机体(1)的表面一侧对称通过合页铰接有密封门(2)，所述密封门(2)的一侧对应两端均开设有安装槽(3)，所述安装槽(3)内通过轴承座安装有双向丝杆(5)，所述双向丝杆(5)中间设有DD马达(4)，所述双向丝杆(5)的两端均滑动套设有滑块(6)，所述滑块(6)表面通过固定螺栓(10)安装有连接柱(7)，所述连接柱(7)一端通过连接块(11)与密封板(12)连接，所述密封板(12)内设有若干个加热丝(15)。2.根据权利要求1所述的一种双腔晶圆甩干机用密封机构，其特征在于：所述密封门(2)上位于安装槽(3)一侧固定有滑杆(9)，所述连接柱(7)另一端固定有套环(8)，且套环(8)滑动套设在滑杆(9)上。3.根据权利要求1所述的一种双腔晶圆甩干机用密封机构，其特征在于：所述密封板(12)一侧一端安装有卡块(14)，所述密封...
【专利技术属性】
技术研发人员：欧阳小泉，
申请(专利权)人：泉芯半导体科技无锡有限公司，
类型：新型
国别省市：
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