本申请公开了一种RF屏蔽全金属闸板阀，包括：缸体、缸体固定连接的阀体以及设置在阀体内部的定位框架，缸体内设置有活塞与顶杆；定位框架上设置有第一移动模块和第二移动模块，第一移动模块和第二移动模块与顶杆固定连接，第一移动模块和第二移动模块中的一个设置有密封组件，另一个设置有屏蔽组件；活塞通过顶杆带动第一移动模块和第二移动模块在阀体内往复移动；缸体上设置有真空通道，定位框架位于阀体的第一下限位且第一移动模块处于定位框架上的第二下限位时，第一移动模块的轴线与真空通道的轴线位置对应；定位框架位于阀体的第一上限位且第二移动模块处于定位框架的第三上限位时，第二移动模块的轴线与真空通道的轴线位置对应。轴线位置对应。轴线位置对应。
【技术实现步骤摘要】
一种RF屏蔽全金属闸板阀
[0001]本申请一般涉及控制阀
，具体涉及一种RF屏蔽全金属闸板阀。
技术介绍
[0002]闸板阀是真空系统中必不可少的一种阀门，在航天、加速器、光源、电子、半导体、真空系统、能源、机械以及相关科研超高真空系统中有着广泛的应用。
[0003]目前市面上比较常用的闸板阀是使用橡胶密封，由于橡胶本身的放气率较大，使用过程中还会影响系统的极限真空；且橡胶比较容易老化，尤其是加速器等带有一定辐射剂量的使用环境中老化速度会更快，造成密封性能变差、使用寿命缩短等影响系统正常运行的情况出现；因此，橡胶本身材质的原因，使用橡胶作为密封材料的闸板阀作为真空系统区段阀的真空系统很难达到超高真空的要求。
[0004]另外，现有闸板阀上未设置RF(Radio Frequency)屏蔽装置，在加速器真空环境中使用，当束流通过该位置时也会产生较大的阻抗以及高次模，影响束流的稳定性、增加损耗进而影响束流的寿命。
技术实现思路
[0005]鉴于现有技术中的上述缺陷或不足，期望提供一种RF屏蔽全金属闸板阀，可以满足超高真空密封效果，具备RF屏蔽功能，能够适应高低温等环境、寿命高等特点。
[0006]本申请提供了一种RF屏蔽全金属闸板阀，包括：缸体、所述缸体固定连接的阀体以及设置在所述阀体内部的定位框架，其中，
[0007]所述缸体内设置有活塞以及与所述活塞连接的顶杆，所述顶杆自所述缸体延伸至所述阀体内；
[0008]所述定位框架上设置有第一移动模块和第二移动模块，所述第一移动模块和所述第二移动模块与所述顶杆固定连接，所述第一移动模块和所述第二移动模块中的一个设置有密封组件，另一个设置有屏蔽组件；
[0009]所述活塞在所述缸体内往复移动，通过所述顶杆带动所述第一移动模块和所述第二移动模块在所述阀体内往复移动；
[0010]所述缸体上设置有真空通道，所述定位框架位于阀体的第一下限位且所述第一移动模块处于所述定位框架上的第二下限位时，所述第一移动模块的轴线与所述真空通道的轴线位置对应；所述定位框架位于阀体的第一上限位且所述第二移动模块处于所述定位框架的第三上限位时，所述第二移动模块的轴线与所述真空通道的轴线位置对应。
[0011]可选地，所述定位框架上通过定位板将所述定位框架划分为第一容纳腔和第二容纳腔，所述第一移动模块设置在所述第一容纳腔内，所述第二移动模块设置在所述第二容纳腔内；所述定位板在位于所述第一容纳腔内的上端面为所述第一移动模块的第二下限位，所述定位板在位于所述第二容纳腔内的下端面为所述第二移动模块的第三上限位。
[0012]可选地，所述第一移动模块包括第一安装板、第二安装板和第一中心连杆，其中，
[0013]所述第一中心连杆与所述顶杆固定连接，所述第一安装板和所述第二安装板通过多个第一连杆机构与所述第一中心连杆连接；
[0014]所述第一连杆机构包括与所述第一中心连杆铰接的第一连杆，所述第一连杆通过第一连杆安装座固定在所述第一安装板或者第二安装板上，所述第一连杆安装座上设置有用于限制所述第一连杆转动的第一限位面。
[0015]可选地，所述第一连杆用于在所述第一中心连杆向下运动时，带动所述第一安装板和所述第二安装板向下运动；所述第一连杆还用于在所述第一安装板和所述第二安装板到达所述第二下限位时，在所述第一中心连杆继续向下运动时，所述第一连杆驱动所述第一安装板和所述第二安装板沿垂直于所述第一中心连杆的方向运动直到所述第一连杆到达所述第一限位面。
[0016]可选地，所述密封组件包括密封环，所述密封环通过安装座安装在所述第一安装板上；所述安装座与所述第一安装板之间设置有弹性件，所述弹性件的一端与所述第一安装板配合，所述弹性件的另一端与所述安装座配合；所述第一安装板上还设置有用于调节所述弹性件压缩长度的调节件。
[0017]可选地，所述第二移动模块包括第三安装板、第四安装板和第二中心连杆，其中，
[0018]所述第二中心连杆与所述第一中心连杆固定连接，所述第三安装板和所述第四安装板通过多个第三连杆机构与所述第二中心连杆连接；
[0019]所述第三连杆机构包括与所述第二中心连杆铰接的第三连杆，所述第三连杆通过第三连杆安装座固定在所述第三安装板或者第四安装板上，所述第三连杆安装座上设置有用于限制所述第三连杆转动的第二限位面。
[0020]可选地，所述屏蔽组件包括柔性屏蔽环，所述柔性屏蔽环用于在与所述真空通道的轴线对应时呈展开状态，以及在与所述真空通道的轴线非对应时呈压缩状态。
[0021]可选地，所述定位框架上设置有用于对所述第一移动模块和所述第二移动模块移动进行导向的导向柱；所述第一移动模块上设置有与所述导向柱配合的第一导向机构，所述第一导向机构通过第一弹性组件固定安装在所述第一安装板和所述第二安装板上；所述第二移动模块上设置有与所述导向柱配合的第二导向机构，所述第二导向机构通过第二弹性组件固定安装在所述第三安装板和所述第四安装板上。
[0022]可选地，所述缸体与所述阀体在连接位置设置有真空连接组件，所述真空连接组件包括套设在所述顶杆上的波纹管，所述波纹管的一端固定在套肩上，另一端固定在安装肩上；其中，所述套肩设置在所述缸体与所述阀体的安装面上并通过所述缸体与所述阀体压紧，所述安装肩与所述顶杆固定安装。
[0023]可选地，还包括端盖，所述端盖包括用于设置在所述阀体内部形成所述阀体的第一上限位的定位面以及与所述阀体端面和所述缸体端面配合的法兰。
[0024]本申请的实施例提供的技术方案可以包括以下有益效果：
[0025]本申请实施例提供的RF屏蔽全金属闸板阀通过往复运动实现RF屏蔽全金属闸板阀的超高真空密封模式与RF屏蔽模式的切换，为真空系统束流运行提供超高真空与稳定的RF屏蔽环境，提高束流的稳定性与寿命。
附图说明
[0026]通过阅读参照以下附图所作的对非限制性实施例所作的详细描述，本申请的其它特征、目的和优点将会变得更明显：
[0027]图1为本申请的实施例提供的一种RF屏蔽全金属闸板阀的结构示意图；
[0028]图2为本申请的实施例提供的一种RF屏蔽全金属闸板阀的另一状态的结构示意图；
[0029]图3为本申请的实施例提供的一种真空连接组件的结构示意图；
[0030]图4为本申请的实施例提供的一种端盖的结构示意图；
[0031]图5为本申请的实施例提供的一种定位框架的结构示意图；
[0032]图6为本申请的实施例提供的一种密封模块的结构示意图；
[0033]图7为本申请的实施例提供的一种第一安装板的结构示意图；
[0034]图8为本申请的实施例提供的一种第二安装板的结构示意图；
[0035]图9为本申请的实施例提供的一种密封模块的展开状态示意图；
[0036]图10为本申请的实施例提供的一种密封模块的压缩状态示意图；
[0037]图11为本申请的实本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种RF屏蔽全金属闸板阀，其特征在于，包括：缸体、所述缸体固定连接的阀体以及设置在所述阀体内部的定位框架，其中，所述缸体内设置有活塞以及与所述活塞连接的顶杆，所述顶杆自所述缸体延伸至所述阀体内；所述定位框架上设置有第一移动模块和第二移动模块，所述第一移动模块和所述第二移动模块与所述顶杆固定连接，所述第一移动模块和所述第二移动模块中的一个设置有密封组件，另一个设置有屏蔽组件；所述活塞在所述缸体内往复移动，通过所述顶杆带动所述第一移动模块和所述第二移动模块在所述阀体内往复移动；所述缸体上设置有真空通道，所述定位框架位于阀体的第一下限位且所述第一移动模块处于所述定位框架上的第二下限位时，所述第一移动模块的轴线与所述真空通道的轴线位置对应；所述定位框架位于阀体的第一上限位且所述第二移动模块处于所述定位框架的第三上限位时，所述第二移动模块的轴线与所述真空通道的轴线位置对应。2.根据权利要求1所述的RF屏蔽全金属闸板阀，其特征在于，所述定位框架上通过定位板将所述定位框架划分为第一容纳腔和第二容纳腔，所述第一移动模块设置在所述第一容纳腔内，所述第二移动模块设置在所述第二容纳腔内；所述定位板在位于所述第一容纳腔内的上端面为所述第一移动模块的第二下限位，所述定位板在位于所述第二容纳腔内的下端面为所述第二移动模块的第三上限位。3.根据权利要求2所述的RF屏蔽全金属闸板阀，其特征在于，所述第一移动模块包括第一安装板、第二安装板和第一中心连杆，其中，所述第一中心连杆与所述顶杆固定连接，所述第一安装板和所述第二安装板通过多个第一连杆机构与所述第一中心连杆连接；所述第一连杆机构包括与所述第一中心连杆铰接的第一连杆，所述第一连杆通过第一连杆安装座固定在所述第一安装板或者第二安装板上，所述第一连杆安装座上设置有用于限制所述第一连杆转动的第一限位面。4.根据权利要求3所述的RF屏蔽全金属闸板阀，其特征在于，所述第一连杆用于在所述第一中心连杆向下运动时，带动所述第一安装板和所述第二安装板向下运动；所述第一连杆还用于在所述第一安装板和所述第二安装板到达所述第二下限位时，在所述第一中心连杆继续向下运动时，所述第一连杆驱动所述第一安装板和所述第二安装板沿垂直于所述第一中心连杆的方向运动...
【专利技术属性】
技术研发人员：王徐建，董海义，何平，宋洪，马永胜，
申请(专利权)人：中国科学院高能物理研究所，
类型：发明
国别省市：
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