【技术实现步骤摘要】
本技术关于一种标准机械接口晶片盒的盒门,尤其关于一种具防分 离结构的标准机械接口晶片盒的盒门。
技术介绍
晶片从生产制造到运送,都需在密闭无尘的条件下进行。在标准机械接口 (Standard Mechanical Interface, SMIF)的晶片厂中,晶片盒扮演着晶片 储存及传送功能,同时提供晶片的高洁净置放环境,以确保制造工艺中的晶 片不受外在环境的微粒污染。标准机械接口晶片盒必须与盒门(Pod Door)配合使用,盒门相当于底座, 且必须能与晶片盒卡扣及脱离,以运送晶片及装载晶片。传统的盒门与晶片盒的卡扣方式,是将盒门的销顶推出来卡扣住晶片盒 的凹槽,盒门的销在一般状况下是恒縮入盒门以内,以避免晶片盒碰撞毁损 此销。然而,这种使销恒縮入盒门的设计,无法确保盒门与晶片盒的确实卡 扣状态,反而容易使晶片盒在运送过程中掉落,使得很多容置于其中的晶片 受到毁损,损失成本更高。
技术实现思路
因此,本技术的一个目的是提供一种具防分离结构的标准机械接口 晶片盒的盒门,其为一种标准机械接口晶片盒的盒门,能防止晶片盒与盒门 分离而达到保护晶片盒内的晶片的效果。为达上述目的,本 ...
【技术保护点】
一种具防分离结构的标准机械接口晶片盒的盒门,用以卡扣一晶片盒,其特征在于,该盒门包含:一底座;一卡扣部,其安装于该底座上,并能相对于该底座移动而伸出该底座的一侧面的一开口或缩入该底座的该侧面的该开口,该卡扣部用以卡扣该晶片盒的一卡扣结构;及一预压机构,其安装于该底座上,并连接至该卡扣部,以提供一预定压力给该卡扣部,使该卡扣部伸出该底座的该侧面的该开口。
【技术特征摘要】
1.一种具防分离结构的标准机械接口晶片盒的盒门,用以卡扣一晶片盒,其特征在于,该盒门包含一底座;一卡扣部,其安装于该底座上,并能相对于该底座移动而伸出该底座的一侧面的一开口或缩入该底座的该侧面的该开口,该卡扣部用以卡扣该晶片盒的一卡扣结构;及一预压机构,其安装于该底座上,并连接至该卡扣部,以提供一预定压力给该卡扣部,使该卡扣部伸出该底座的该侧面的该开口。2. 如权利要求1所述的具防分离结构的标准机械接口晶片盒的盒门, 其特征在于,该预压机构为一压縮弹簧、 一拉伸弹簧或一扭簧。3. 如权利要求1所述的具防分离结构的标准机械接口晶片盒的盒门, 其特征在于,更包含一凸轮,其可转动地安装于该底座上,并与该卡扣部接触,该凸轮能被 转动来施以一抵抗力给该卡扣部,来使该卡扣部縮入该底座的该侧面的该开 口中。4. 如权利要求3所述的具防分离结构的标准机械接口晶片盒的盒门, 其特征在于,更包含一锁固机构,其安装于该底座上,该锁固机构产生锁定作用以将该卡扣 部锁固成伸出该底座的该侧面的该开口外。5. 如权利要求4所述的具防分离结构的...
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